JSM-7800F กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดสนาม Schottky

คุณสมบัติ

เลนส์ Super Hybrid (SHL) ที่พัฒนาขึ้นใหม่ถูกนำมาใช้เพื่อให้ได้ SEM ความละเอียดสูงรุ่นต่อไป โดยไม่สูญเสียความสามารถในการทำงาน การนำปืนอิเล็กตรอนชนิด Schottky มาใช้ทำให้การวิเคราะห์มีความเสถียรด้วยกระแสโพรบขนาดใหญ่

การสังเกตความละเอียดสูงโดยใช้เลนส์ Super Hybrid (SHL)

เลนส์ใกล้วัตถุเป็นแบบ Super Hybrid Lens (SHL) ซึ่งประกอบด้วยสนามแม่เหล็กไฟฟ้าสถิตซ้อนทับกับสนามไฟฟ้าสถิต การลดความคลาดเคลื่อนของสีและทรงกลมช่วยเพิ่มความละเอียด โดยเฉพาะที่แรงดันไฟฟ้าที่เร่งต่ำ SHL ไม่ใช้สนามแม่เหล็กที่มีอิทธิพลต่อชิ้นงาน ดังนั้นการสังเกตวัสดุแม่เหล็กและการวิเคราะห์ EBSD สามารถทำได้โดยไม่ยาก

การเลือกพลังงานที่แรงดันเร่งต่ำ

ตัวกรองพลังงานติดตั้งอยู่ใต้ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนส่วนบน (UED) โดยตรง ดังนั้นจึงสามารถเลือกพลังงานได้ สามารถเลือกอิเล็กตรอนทุติยภูมิและอิเล็กตรอนที่กระจายกลับได้อย่างแม่นยำ แม้ในแรงดันไฟฟ้าที่เร่งต่ำ ทำให้สามารถสังเกตองค์ประกอบของพื้นผิวด้านบนของชิ้นงานทดสอบได้โดยใช้ภาพอิเล็กตรอนที่กระจายกลับที่แรงดันไฟฟ้าที่เร่งต่ำ

การถ่ายภาพพื้นผิวด้านบนโดยใช้ Gentle Beam

ด้วยการใช้แรงดันไบอัสกับชิ้นงาน (GB) ความเร็วของอิเล็กตรอนที่ตกกระทบจะลดลงและความเร็วของอิเล็กตรอนที่ปล่อยออกมาจะเพิ่มขึ้น ซึ่งช่วยให้ได้ภาพความละเอียดสูงที่มีอัตราส่วนสัญญาณต่อสัญญาณรบกวนที่ดี แม้ว่าจะมีพลังงานการเปิดรับแสงของชิ้นงานทดสอบต่ำก็ตาม หากใช้โหมด GB ซึ่งอนุญาตให้ใช้แรงดันไบแอสที่สูงขึ้น การสังเกตที่มีความละเอียดสูงสามารถทำได้แม้ที่พลังงานการสัมผัสชิ้นงานเพียงไม่กี่สิบ eV

การได้มาซึ่งข้อมูลทั้งหมดโดยใช้ตัวตรวจจับหลายตัว

JSM-7800F ประกอบด้วยตัวตรวจจับ 4 ประเภท ได้แก่ ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนบน (UED) ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิบน (USD) ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจายกลับ (BED) และตัวตรวจจับอิเล็กตรอนล่าง (LED) สำหรับ UED ปริมาณอิเล็กตรอนทุติยภูมิและการกระจายกลับของอิเล็กตรอนสามารถเปลี่ยนแปลงได้ตามแรงดันของตัวกรอง ทำให้สามารถเลือกพลังงานอิเล็กตรอนได้ USD ตรวจพบอิเล็กตรอนพลังงานต่ำที่กระเด็นออกจากตัวกรอง ด้วย BED คุณสามารถสังเกตคอนทราสต์ของแชนเนลได้อย่างชัดเจนโดยการตรวจจับอิเล็กตรอนที่กระจายกลับมุมต่ำ LED ช่วยให้ได้ภาพที่มีลักษณะเป็น 3 มิติ รวมถึงข้อมูลความหยาบของพื้นผิวจากเอฟเฟกต์การส่องสว่าง

ตัวอย่างการใช้งาน

การสังเกตที่แรงดันความเร่งต่ำ
ด้วยวิธีการลำแสงอ่อนโยน (GB) การสังเกตจากพลังงานแสงของชิ้นงานที่ 10 eV สามารถทำได้ พื้นผิวของแผ่นกราฟีนที่มีความหนาเพียง 80 อะตอมสามารถสังเกตเห็นได้ด้วยพลังงานการสัมผัสของชิ้นงานที่ตั้งไว้ XNUMX eV

ชิ้นงาน: กราฟีน ( พลังงานที่ได้รับจากชิ้นงาน: 80eV)

การเลือกใช้พลังงาน
ด้วยภาพ BE (ซ้าย) และภาพ SE (ขวา) ที่ได้รับจาก UED และ USD พร้อมกัน จึงสามารถตีความภาพได้อย่างแม่นยำ การแยกระหว่างอนุภาคทองคำกับ TiO₂, ไม่ชัดเจนด้วยภาพ SE ซึ่งความเปรียบต่างขึ้นอยู่กับภูมิประเทศเป็นหลัก, ชัดเจนด้วยภาพ BE ซึ่งอนุภาคทองคำสว่างขึ้นเนื่องจากเลขอะตอมเฉลี่ยสูงกว่า

พ.ศ. ภาพ
ตัวอย่าง: ทองรองรับตัวเร่งปฏิกิริยา TiO2 (2kV)

ภาพ SE

การสังเกตโดยใช้ GBSH
วิธี GBSH ใช้แรงดันลบกับชิ้นงาน เมื่อความคลาดเคลื่อนลดลง ภาพที่มีความละเอียดสูงจะถูกสร้างขึ้น รับรู้การสังเกตที่ชัดเจนของซิลิกา mesoporous

ชิ้นงานทดสอบ: Mesoporous ซิลิกา (พลังงานที่ได้รับสัมผัสชิ้นงาน: 1keV)

การสังเกตวัสดุแม่เหล็ก
SHL ไม่สร้างสนามแม่เหล็กรอบๆ ชิ้นงานทดสอบ ดังนั้นการสังเกตวัสดุแม่เหล็กที่มีความละเอียดสูง และแม้แต่การเปิดรับพลังงานของชิ้นงานทดสอบในระดับต่ำก็สามารถทำได้โดยไม่ยาก

ชิ้นงานทดสอบ: อนุภาคนาโน Magnetite (พลังงานการสัมผัสชิ้นงาน: 1keV)

สามารถทำ EBSD ได้อย่างสะดวกสบาย เนื่องจาก SHL ไม่ใช้อิทธิพลของสนามแม่เหล็กกับชิ้นงานทดสอบ IPF Map สร้างการวิเคราะห์การวางแนวคริสตัลที่มีความแม่นยำสูง

จำนวนคะแนน: 118585 ขนาด: X สูงสุด: 80.00 ไมครอน Y สูงสุด: 79.89 ไมครอน ขั้นตอน: 0.25 ไมครอน เฟส: Nd2Fe14B

ตัวอย่างรูปแบบ EBSD

ND

TD

RD

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

ตัวเลือกหลัก

• เอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายพลังงาน (EDS)

• เอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายความยาวคลื่น (WDS)

• ระบบการเลี้ยวเบนแบบกระจายกลับของอิเล็กตรอน (EBSD)

• เครื่องตรวจจับคาโทโดลูมิเนสเซนซ์ (CLD)

การใช้งาน

แอปพลิเคชัน JSM-7800F

การเปรียบเทียบวิธีการสร้างภาพ 3 มิติในกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนสำหรับวัสดุชีวภาพ

LIBnote

การประยุกต์ใช้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดเพื่อการถ่ายภาพความคลาดเคลื่อนในเหล็ก

อิเล็กตรอนกระเจิงมุมสูงและอิเล็กตรอนกระเจิงมุมต่ำ

อิเล็กตรอนกระจัดกระจาย

การจำแนกลักษณะแบคทีเรียอย่างรวดเร็วโดยใช้ ClairScope และ SpiralTOF

รูปภาพ

• 
• 
• 

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

miXcroscopy™ Linked Optical & Scanning Electron Microscopy System

ตัวจับยึดชิ้นงานทดสอบเดียวกันนี้ใช้ได้กับทั้งกล้องจุลทรรศน์แบบออปติคัลและกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด ด้วยเหตุนี้ ด้วยการจัดการข้อมูลบนเวทีด้วยซอฟต์แวร์เฉพาะ จึงเป็นไปได้ที่ระบบจะบันทึกตำแหน่งที่สังเกตได้ด้วยกล้องจุลทรรศน์แบบออปติคัล แล้วขยายพื้นที่เดียวกันเพิ่มเติมด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดเพื่อสังเกตโครงสร้างที่ละเอียดด้วยกำลังขยายที่สูงขึ้น & ความละเอียดสูงขึ้น เป้าหมายการสังเกตที่พบด้วยกล้องจุลทรรศน์แบบออปติคัลสามารถสังเกตได้อย่างลงตัวด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดโดยไม่ต้องค้นหาเป้าหมายอีกครั้ง ขณะนี้คุณสามารถเปรียบเทียบและตรวจสอบภาพกล้องจุลทรรศน์แบบออปติคัลและภาพกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดได้อย่างราบรื่นและง่ายดาย

ซีเรียลบล็อกหน้า SEM JSM-7200F・7800F / Gatan 3View®2XP

3View®2XP (Gatan Inc.) ถูกรวมเข้ากับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดการปลดปล่อยสนามชอตต์กี ซึ่งสามารถผลิตโพรบอิเล็กตรอนแบบละเอียดที่กระแสไฟฟ้าสูงในระยะเวลานาน ทำให้สามารถสร้างภาพตัดขวางของชิ้นงานทดสอบและรับภาพได้โดยอัตโนมัติ การสร้างภาพ 3 มิติขึ้นใหม่ช่วยให้สามารถวิเคราะห์โครงสร้างที่ละเอียดในสามมิติได้อย่างละเอียด

ข้อมูลเพิ่มเติม