อิเล็กตรอนกระจัดกระจาย

เมื่อลำแสงอิเล็กตรอนถูกฉายลงบนพื้นผิวของตัวอย่างที่เป็นของแข็ง อิเล็กตรอนตกกระทบจำนวนมากจะกระจัดกระจายอยู่ภายในตัวอย่าง ส่งผลให้เกิดการชนกันซ้ำๆ กับแกนอะตอมและอิเล็กตรอนที่สร้างตัวอย่าง จนกระทั่งสูญเสียพลังงานภายใน ตัวอย่าง.