จป-9030
โฟโตอิเล็กตรอนสเปกโตรมิเตอร์

ด้วยการใช้อินเทอร์เฟซผู้ใช้ที่ออกแบบใหม่ซึ่งช่วยให้ใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมของญี่ปุ่น จึงทำให้ "ใช้งานได้ง่ายและทันทีสำหรับทุกคน" นอกจากนี้ JPS-9030 ยังมีแหล่งไอออนกัดกร่อนแบบ Kaufman และขั้วบวกคู่เป็นมาตรฐาน จึงทำให้สามารถขยายขอบเขตการใช้งานได้หลากหลาย เช่น ระบบทำความร้อนอุณหภูมิสูงและแหล่งไอออนคลัสเตอร์ก๊าซ

คุณสมบัติ

①การวิเคราะห์พื้นที่กว้างที่สามารถวัดได้ในเวลาอันสั้น

JPS-9030 เป็นเครื่อง XPS ที่สามารถวิเคราะห์ตัวอย่างได้ในบริเวณกว้าง เช่น พื้นที่การวิเคราะห์ในระดับมิลลิเมตร และเหมาะสำหรับการวิเคราะห์ค่าเฉลี่ย ช่วยให้สามารถรับข้อมูลตัวอย่างได้โดยไม่คำนึงถึงการแยกตัวและการปนเปื้อนในพื้นที่ของตัวอย่าง เหมาะสำหรับการวิเคราะห์ธาตุ การวิเคราะห์สถานะพันธะเคมีของตัวอย่างที่เป็นผง ฟิล์มบาง และแผ่น

〇ตัวอย่างการใช้การวิเคราะห์พื้นที่กว้าง - การวิเคราะห์องค์ประกอบของวัสดุแคโทด LIB

เมื่อมองดูครั้งแรก วัสดุแคโทด LIB ดูเหมือนจะสม่ำเสมอ อย่างไรก็ตาม หากช่วงการวิเคราะห์แคบ ผลการวิเคราะห์ธาตุอาจแตกต่างกันได้ เป็นไปได้ที่จะได้รับข้อมูลเฉลี่ยโดยไม่ต้องได้รับอิทธิพลจากการปนเปื้อนในพื้นที่โดยการขยายช่วงการวิเคราะห์

การวัดถูกดำเนินการใน 3 ตำแหน่งเพื่อจำกัดช่วงการวิเคราะห์ลง
⇒ผลลัพธ์มีความแตกต่างกันมาก

การวัดถูกดำเนินการใน 3 ตำแหน่งเพื่อจำกัดช่วงการวิเคราะห์ลง
⇒ผลลัพธ์มีความแตกต่างเล็กน้อย

②ซอฟต์แวร์ SPECSURF ช่วยให้ใช้งานง่าย

ซอฟต์แวร์ SPECSURF Ver. 2.0 ที่พัฒนาขึ้นใหม่สำหรับภาษาญี่ปุ่น
สภาพแวดล้อมการดำเนินงานที่เป็นมิตรกับผู้ใช้โดยใช้เมาส์เท่านั้น โดยการรวม GUI แบบ Ribbon และระบบหน้าต่างแท็บ

③การกำหนดค่าเครื่องมือที่ช่วยให้สามารถวัดวัสดุได้หลากหลาย – แหล่งกำเนิดรังสีเอกซ์แบบขั้วบวกคู่ Mg/Al –

ด้วย JPS-9030 สามารถใช้แหล่งกำเนิดรังสีเอกซ์สีเดียวและแหล่งกำเนิดรังสีเอกซ์แบบแอโนดคู่ Mg/Al ได้ แหล่งกำเนิดรังสีเอกซ์แบบแอโนดคู่ Mg/Al สามารถสลับรังสีเอกซ์เพื่อฉายรังสีตัวอย่างระหว่างรังสี Mg K และรังสี Al K ซึ่งทำให้สามารถวิเคราะห์ตัวอย่างที่มีธาตุหลายชนิดและที่จุดสูงสุดของโฟโตอิเล็กตรอนและจุดสูงสุดของออเกอร์ทับซ้อนกันได้

-คลิกเพียงครั้งเดียวเพื่อตั้งค่าการบันทึกเงื่อนไข การอ่านค่า และการตั้งค่า
-คลิกเพียงครั้งเดียวเพื่อตั้งค่าการวัดตัวอย่างหลายรายการ
- ฟังก์ชันการคาดการณ์เวลาเสร็จสิ้นการวัดที่แม่นยำช่วยให้ทำงานได้อย่างราบรื่น
การเปลี่ยนตัวอย่างและการวัด

〇ตัวอย่างการใช้แหล่งกำเนิดรังสีเอกซ์แบบแอโนดคู่ Mg/Al - การวิเคราะห์ตัวอย่างที่มี Fe, Ni

ในสเปกตรัม XPS ตัวอย่างหนึ่งที่จุดสูงสุดของโฟโตอิเล็กตรอนและจุดสูงสุดของออเกอร์ทับซ้อนกันคือตัวอย่างที่มีธาตุโลหะทรานสิชั่นหลายชนิด ต่อไปนี้คือตัวอย่างการวัดของตัวอย่างที่มีธาตุเหล็กและนิกเกิล แสดงให้เห็นว่าจุดสูงสุดที่ทับซ้อนกันที่สังเกตได้จากแหล่งกำเนิดรังสีเอกซ์อะลูมิเนียมสามารถหลีกเลี่ยงได้ด้วยแหล่งกำเนิดรังสีเอกซ์แมกนีเซียม

การวัดด้วยแหล่งกำเนิดรังสีเอกซ์อัล
⇒การทับซ้อนของจุดสูงสุด

การวัดด้วยแหล่งกำเนิดรังสีเอกซ์แมกนีเซียม
⇒หลีกเลี่ยงการทับซ้อนของจุดสูงสุด

③การกำหนดค่าเครื่องมือที่ช่วยให้สามารถวัดวัสดุได้หลากหลาย – แหล่งไอออนแบบ Kaufman

JPS-9030 ติดตั้งแหล่งไอออนแบบ Kaufman เป็นแหล่งไอออน Ar เนื่องจากแหล่งไอออนนี้รองรับกระแสไฟฟ้าขนาดใหญ่ จึงสามารถกัดได้จริงแม้ในแรงดันไฟฟ้าเร่งต่ำ ทำให้สามารถกัดได้ในขณะที่โครงสร้างชิ้นงานยังคงอยู่

JPS-9030 มีแหล่งกำเนิดไอออนวางไว้ในห้องเตรียมตัวอย่าง ซึ่งจะช่วยจำกัดการปนเปื้อนที่เกิดจากการกัดกร่อนภายในห้องเตรียมตัวอย่าง ดังนั้นจึงป้องกันห้องวิเคราะห์ซึ่งช่วยป้องกันไม่ให้สุญญากาศที่สูงมากเกิดการปนเปื้อน

〇ตัวอย่างการใช้กระจกฟิล์มหลายชั้น Mo/Si ของแหล่งไอออนชนิด Kaufman สำหรับการพิมพ์หินด้วย EUV

JPS-9030 สามารถฉายไอออนอาร์กอนที่มีความเร่งต่ำจากทิศทางแนวตั้งจากตัวอย่างได้ สามารถใช้สำหรับการวิเคราะห์โปรไฟล์ความลึกของฟิล์มหลายชั้นที่บางเฉียบ ต่อไปนี้แสดงผลการวิเคราะห์โปรไฟล์ความลึกของกระจกฟิล์มหลายชั้น Mo/Si สำหรับการพิมพ์หินแบบ EUV
สามารถประเมินฟิล์มบางประมาณ 10 นาโนเมตรต่อชั้นได้โดยการจับโครงสร้างของชั้นและประเมินความคมชัดของอินเทอร์เฟซ

③การกำหนดค่าเครื่องมือที่ช่วยให้สามารถวัดวัสดุได้หลากหลาย – อุปกรณ์เสริมอื่นๆ ที่หลากหลาย

JPS-9030 มีตัวเลือกมากมาย นอกจากนี้ เรายังพร้อมที่จะผลิตสิ่งที่แนบมาตามคำขอของผู้ใช้ของเรา

มีตัวเลือกมากมาย

• แหล่งกำเนิดรังสีเอกซ์สีเดียวที่สามารถปรับปรุงความละเอียดของพลังงานได้

• แหล่งกำเนิดไอออนคลัสเตอร์ก๊าซอาร์กอนซึ่งเหมาะสำหรับตัวอย่างอินทรีย์ที่เสียหายได้ง่าย

• ระบบทำความร้อนอินฟราเรดเพิ่มอุณหภูมิได้สูงถึง 1,000°C

• ภาชนะถ่ายโอนที่รองรับการถ่ายโอนตัวอย่างแบบแยกอากาศ

ดังที่กล่าวข้างต้น มีตัวเลือกมากมายให้เลือกเพื่อตอบสนองต่อความต้องการของลูกค้า

XPS สามารถทำอะไรได้บ้าง

ตัวอย่างการวิเคราะห์ (แอปพลิเคชัน) โดยใช้ XPS มีดังต่อไปนี้

การวิเคราะห์ธาตุของพื้นผิวด้านบน

XPS ช่วยให้สามารถวิเคราะห์องค์ประกอบของพื้นผิวด้านบนของตัวอย่าง (10 นาโนเมตรหรือต่ำกว่า) ได้
จึงสามารถวิเคราะห์สารปนเปื้อนอินทรีย์ที่ยากต่อการตรวจพบจากลักษณะภายนอกได้อย่างง่ายดาย

การวิเคราะห์สถานะพันธะเคมี

นอกเหนือจากการวิเคราะห์องค์ประกอบแล้ว XPS สามารถดำเนินการวิเคราะห์สถานะพันธะเคมีได้
ตัวอย่างเช่น ในกรณีของแบตเตอรี่ลิเธียมไอออน เราสามารถประเมินชนิดของสารประกอบสำหรับลิเธียมที่มีอยู่บนอิเล็กโทรดได้

การวิเคราะห์โปรไฟล์ความลึก

การทำการวิเคราะห์โปรไฟล์ความลึกโดยใช้ XPS ทำให้สามารถประเมินโครงสร้างชั้นของตัวอย่างที่บางมากประมาณ 10 นาโนเมตรไปจนถึงตัวอย่างที่มีขนาดหลายนาโนเมตรได้ ไมโครเมตร ความหนาและสถานะพันธะเคมีที่อินเทอร์เฟซ

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

ดาวน์โหลดแคตตาล็อก

JPS-9030 โฟโตอิเล็กตรอนสเปกโตรมิเตอร์

การใช้งาน

ใบสมัคร JPS-9030

Urushiหมายเหตุ

หมายเหตุแบตเตอรี่

การประยุกต์ใช้ MALDI: การวิเคราะห์ฟิล์มบางอินทรีย์

หมายเหตุแบตเตอรี่โซลิดสเตต

รูปภาพ

• 
• 

ข้อมูลเพิ่มเติม