อุปกรณ์สร้างฟิล์มบาง (E-Beam และ Plasma Sources เป็นต้น)

BS/JEBG/EBG ซีรีส์แหล่งกำเนิดลำแสงอิเล็กตรอน

BS-60610BDSBombardment Deposition Source

BS-60250DEMEแหล่งกำเนิดลำแสงอิเล็กตรอน

BS-60211DEM/BS-60210DEMEแหล่งกำเนิดลำแสงอิเล็กตรอน

JST-F ซีรีส์แหล่งจ่ายไฟลำแสงอิเล็กตรอน

JEBG ซีรี่ส์แหล่งกำเนิดลำแสงอิเล็กตรอนกำลังสูง

BS-80020CPPSLasma Sourcefor กระบวนการที่อุณหภูมิต่ำ

BS-80011BPGแหล่งจ่ายพลาสมากำลังสูงสำหรับพลาสมาความหนาแน่นสูง

BS-04seriesโรตารีเซนเซอร์

TP-99260FDR เครื่องป้อนผง

TP-99140FDR เครื่องป้อนผงละเอียด