อิเล็กตรอนบีมลิโทกราฟีซิสเทม

อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ เช่น คอมพิวเตอร์ สมาร์ทโฟน และเครื่องใช้ในบ้านมีชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ที่เรียกว่า LSIs (Large Scale Integration Circuits) ในตัว เมื่อการย่อขนาดและความหนาแน่นก้าวหน้าขึ้น วงจร LSI จึงมีรูปแบบที่ละเอียดมาก และในปัจจุบันก็มีรูปแบบดังนี้ ขนาดเล็กถึง 10 นาโนเมตร (1/10,000 ของเส้นผม) หรือน้อยกว่า
ระบบการพิมพ์หินของลำแสงอิเล็กตรอนมีความจำเป็นต่อการประมวลผลวงจรที่ละเอียดมากดังกล่าวอย่างแม่นยำ
เนื่องจากความต้องการเซมิคอนดักเตอร์ขยายตัวมากขึ้นตามการรับรู้ของสังคม IoT และการมาถึงของยุค 5G ระบบการพิมพ์หินของลำแสงอิเล็กตรอนคาดว่าจะมีบทบาทสำคัญมากขึ้น

ผลิตภัณฑ์

ซีรี่ส์ JBX-A9
อิเล็กตรอนบีมลิโทกราฟีซิสเทม

ซีรีส์ JBX-8100FS
อิเล็กตรอนบีมลิโทกราฟีซิสเทม

เจบีเอ็กซ์-9500FS
อิเล็กตรอนบีมลิโทกราฟีซิสเทม

เจบีเอ็กซ์-3200เอ็มวีเอส
อิเล็กตรอนบีมลิโทกราฟีซิสเทม

เจบีเอ็กซ์-3050เอ็มวี/เอส
อิเล็กตรอนบีมลิโทกราฟีซิสเทม