ปิด Btn

เลือกไซต์ภูมิภาคของคุณ

ปิดหน้านี้

เป็นอิเล็กตรอนสเปกโตรมิเตอร์ Auger สเปคสูงพร้อมเครื่องวิเคราะห์ครึ่งวงกลมเพื่อให้การวิเคราะห์ปริมาณงานสูงของสถานะพันธะเคมีที่พื้นที่นาโนถึงไมโคร และปืนอิเล็กตรอนแบบปล่อยสนามยังใช้สำหรับ EPMA เนื่องจากสามารถส่งกระแสไฟฟ้าขนาดใหญ่และมีเสถียรภาพได้ ขั้นตอนของชิ้นงานทดสอบยูเซนตริกที่มีความแม่นยำสูงทำให้สามารถวิเคราะห์ฉนวนที่เป็นไปไม่ได้ก่อนหน้านี้ เมื่อใช้ร่วมกับปืนไอออนแบบลอยตัวจะมีความอเนกประสงค์ในการจัดการกับชิ้นงานทดสอบ เช่น โลหะและวัสดุฉนวน เพื่อให้ได้ข้อมูลองค์ประกอบและข้อมูลทางเคมี

คุณสมบัติ

การถ่ายภาพสเปกตรัม

แต่ละพิกเซลประกอบด้วยสเปกตรัม

การกระจายธาตุที่ถูกแยกออกมา
จากลูกบาศก์ข้อมูลภาพสเปกตรัม

วิธีถ่ายภาพสเปกตรัมที่พัฒนาขึ้นใหม่ช่วยให้สามารถจับภาพสเปกตรัมอิเล็กตรอนสำหรับแต่ละพิกเซลในภาพได้ สเปกตรัมในพื้นที่ที่เลือกในภาพและการกระจายของธาตุสามารถสกัดออกมาได้หลังจากการรวบรวมข้อมูล เช่น การทำแผนที่ EDS วิธีถ่ายภาพสเปกตรัมป้องกันไม่ให้องค์ประกอบใดๆ หายไปโดยรวบรวมข้อมูลในช่วงพลังงานที่กว้าง ซึ่งแตกต่างจากการทำแผนที่ Auger ทั่วไปโดยสิ้นเชิง โดยจะต้องระบุองค์ประกอบที่ต้องการทำแผนที่ไว้ล่วงหน้า สามารถเลือกช่วงพลังงานในการวัดและความละเอียดของพลังงานได้เช่นเดียวกับการรับสเปกตรัมกว้างทั่วไป การถ่ายภาพสเปกตรัมสามารถนำไปใช้ได้ไม่เพียงแค่กับการวิเคราะห์ธาตุเท่านั้น แต่ยังรวมถึงการวิเคราะห์สเปกโตรสโคปีการสูญเสียพลังงานอิเล็กตรอนสะท้อน (REELS) อีกด้วย

ฐานข้อมูลสเปกตรัมมาตรฐานและซอฟต์แวร์ดีคอนโวลูชั่นพีค

สเปกตรัมมาตรฐานของ Sn, SnO และ SnO2 บริสุทธิ์

โปรไฟล์ความลึกของพื้นผิวบัดกรีที่แก้ไขตามสถานะทางเคมี

มีฐานข้อมูลสเปกตรัมมาตรฐานมากกว่า 500 สเปกตรัมสำหรับวัสดุ 140 ชนิด ซอฟต์แวร์การแยกส่วนพีคของเราช่วยแยกพีคออเกอร์ที่ทับซ้อนกันได้อย่างง่ายดาย และยังช่วยให้วิเคราะห์สถานะทางเคมีที่ซับซ้อนได้ด้วยการคลิกเพียงครั้งเดียว

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

ระบบส่องสว่างอิเล็กตรอน
มติ SEI 3nm (ที่ 25kV, 10pA)
เส้นผ่านศูนย์กลางโพรบสำหรับการวิเคราะห์สว่าน 8nm (ที่ 25kV, 1nA)
ปืนอิเล็กตรอน ปืนปล่อยสนามชอตต์กี้
แรงดันไฟฟ้าเร่ง 0.5 ถึง 30kV
โพรบปัจจุบัน 10-11 ถึง 2×10-7A
การอวดอ้าง x 25 ถึง 500,000
ระบบวิเคราะห์สว่าน
วิเคราะห์ เครื่องวิเคราะห์ครึ่งวงกลมไฟฟ้าสถิต (HSA)
ความละเอียดพลังงาน (ΔE/E) เพื่อ 0.05% 0.6
ความไว 840,000 cps/7 ch หรือมากกว่า
(ที่ 10 kV 10 nA Cu-LMN, ความละเอียด 0.6%, 60 เอียง)
  • ข้อมูลจำเพาะอาจมีการเปลี่ยนแปลงโดยไม่ต้องแจ้งให้ทราบล่วงหน้า

ขยาย

มีพอร์ตเพิ่มเติมเพื่อรองรับเอกสารแนบต่อไปนี้ ซึ่งสนับสนุนการวิเคราะห์ที่หลากหลาย

  • มีพอร์ตเพิ่มเติมเพื่อรองรับสิ่งที่แนบมาต่อไปนี้ ซึ่งรองรับการวิเคราะห์ที่หลากหลาย

  • หน่วยจอดรถตัวอย่าง

  • อุปกรณ์ทำความเย็นและแตกหักของตัวอย่าง

  • เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจัดกระจาย

  • เอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายพลังงาน (EDS)

  • โอนเรือ

ดาวน์โหลดแคตตาล็อก

การใช้งาน

อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ

การกระจายธาตุและการทำแผนที่สถานะทางเคมีของซิลิกอนของภาคตัดขวางของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
ได้มาจากการถ่ายภาพสเปกตรัม

เมื่อเปรียบเทียบกับสเปกโตรสโคปีการปล่อยรังสีเอกซ์เช่น SEM-EDS และ EPMA ความละเอียดเชิงพื้นที่ของการวิเคราะห์ AES จะสูงมาก การวิเคราะห์ AES สามารถนำไปใช้กับการวิเคราะห์ธาตุในมุมมองการขยายสูงได้ นอกจากนี้ ยังสามารถทำแผนที่สถานะทางเคมีได้ด้วยการใช้ความแตกต่างของรูปร่างของ Auger Peak ตามสถานะทางเคมีของตัวอย่าง

วัสดุแบตเตอรี่ลิเธียมไอออน (LIB)

สเปกตรัมมาตรฐานของ Li KVV ในรูปแบบที่แตกต่างกัน

การแมปองค์ประกอบภาคตัดขวางสำหรับวัสดุขั้วบวก LIB

 

ความไวในการตรวจจับลิเธียมของ AES ค่อนข้างสูงและมักใช้ในการวิเคราะห์วัสดุแบตเตอรี่ลิเธียมไอออน AES ตรวจจับจุดสูงสุดของลิเธียมจากลิเธียมออกไซด์และลิเธียมคาร์บอเนตด้วยความไวที่ดี เนื่องจากอิเล็กตรอนในอะตอมที่อยู่ติดกันจะเข้าไปเกี่ยวข้องในกระบวนการสว่าน การทำแผนที่ลิเธียมสามารถทำได้ง่ายด้วยการสร้างภาพสเปกตรัม

การวิเคราะห์รีล

สเปกตรัมการสูญเสียของวัสดุคาร์บอน

การกระจายตัวของคาร์บอนที่ได้จากการวิเคราะห์ AES (ซ้าย) และการกระจายตัวของกราไฟต์โดยการวิเคราะห์ REELS (ขวา) สำหรับตัวอย่างกราฟีนบนแผ่นทองแดง

สเปกโตรสโคปีการสูญเสียพลังงานอิเล็กตรอนแบบสะท้อน (REELS) ยังเป็นการประยุกต์ใช้ที่สำคัญของไมโครโพรบ Auger REELS ใช้ในการวิเคราะห์วัสดุคาร์บอนและยังใช้ในการประเมินขนาดแบนด์แก็ปของเซมิคอนดักเตอร์และฉนวนที่มีแบนด์แก็ปกว้างอีกด้วย

การใช้งานอื่นๆสำหรับ JAMP-9510F

ข้อมูลเพิ่มเติม

พื้นฐานวิทยาศาสตร์

คำอธิบายง่ายๆ เกี่ยวกับกลไกและ
การใช้งานผลิตภัณฑ์ JEOL

ปิดหน้านี้
แจ้งให้ทราบ

คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?

ไม่

โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป

ติดต่อ

เจอีโอแอล ให้บริการสนับสนุนที่หลากหลายเพื่อให้แน่ใจว่าลูกค้าของเราสามารถใช้ผลิตภัณฑ์ของเราได้อย่างสบายใจ
โปรดติดต่อเรา