แจมป์-9510F
ไมโครโพรบสว่านแบบปล่อยภาคสนาม
เป็นอิเล็กตรอนสเปกโตรมิเตอร์ Auger สเปคสูงพร้อมเครื่องวิเคราะห์ครึ่งวงกลมเพื่อให้การวิเคราะห์ปริมาณงานสูงของสถานะพันธะเคมีที่พื้นที่นาโนถึงไมโคร และปืนอิเล็กตรอนแบบปล่อยสนามยังใช้สำหรับ EPMA เนื่องจากสามารถส่งกระแสไฟฟ้าขนาดใหญ่และมีเสถียรภาพได้ ขั้นตอนของชิ้นงานทดสอบยูเซนตริกที่มีความแม่นยำสูงทำให้สามารถวิเคราะห์ฉนวนที่เป็นไปไม่ได้ก่อนหน้านี้ เมื่อใช้ร่วมกับปืนไอออนแบบลอยตัวจะมีความอเนกประสงค์ในการจัดการกับชิ้นงานทดสอบ เช่น โลหะและวัสดุฉนวน เพื่อให้ได้ข้อมูลองค์ประกอบและข้อมูลทางเคมี
คุณสมบัติ
การถ่ายภาพสเปกตรัม
แต่ละพิกเซลประกอบด้วยสเปกตรัม
การกระจายธาตุที่ถูกแยกออกมา
จากลูกบาศก์ข้อมูลภาพสเปกตรัม
วิธีถ่ายภาพสเปกตรัมที่พัฒนาขึ้นใหม่ช่วยให้สามารถจับภาพสเปกตรัมอิเล็กตรอนสำหรับแต่ละพิกเซลในภาพได้ สเปกตรัมในพื้นที่ที่เลือกในภาพและการกระจายของธาตุสามารถสกัดออกมาได้หลังจากการรวบรวมข้อมูล เช่น การทำแผนที่ EDS วิธีถ่ายภาพสเปกตรัมป้องกันไม่ให้องค์ประกอบใดๆ หายไปโดยรวบรวมข้อมูลในช่วงพลังงานที่กว้าง ซึ่งแตกต่างจากการทำแผนที่ Auger ทั่วไปโดยสิ้นเชิง โดยจะต้องระบุองค์ประกอบที่ต้องการทำแผนที่ไว้ล่วงหน้า สามารถเลือกช่วงพลังงานในการวัดและความละเอียดของพลังงานได้เช่นเดียวกับการรับสเปกตรัมกว้างทั่วไป การถ่ายภาพสเปกตรัมสามารถนำไปใช้ได้ไม่เพียงแค่กับการวิเคราะห์ธาตุเท่านั้น แต่ยังรวมถึงการวิเคราะห์สเปกโตรสโคปีการสูญเสียพลังงานอิเล็กตรอนสะท้อน (REELS) อีกด้วย
ฐานข้อมูลสเปกตรัมมาตรฐานและซอฟต์แวร์ดีคอนโวลูชั่นพีค
สเปกตรัมมาตรฐานของ Sn, SnO และ SnO2 บริสุทธิ์
โปรไฟล์ความลึกของพื้นผิวบัดกรีที่แก้ไขตามสถานะทางเคมี
มีฐานข้อมูลสเปกตรัมมาตรฐานมากกว่า 500 สเปกตรัมสำหรับวัสดุ 140 ชนิด ซอฟต์แวร์การแยกส่วนพีคของเราช่วยแยกพีคออเกอร์ที่ทับซ้อนกันได้อย่างง่ายดาย และยังช่วยให้วิเคราะห์สถานะทางเคมีที่ซับซ้อนได้ด้วยการคลิกเพียงครั้งเดียว
ข้อบ่งชี้จำเพาะ
| ระบบส่องสว่างอิเล็กตรอน | |
|---|---|
| มติ SEI | 3nm (ที่ 25kV, 10pA) |
| เส้นผ่านศูนย์กลางโพรบสำหรับการวิเคราะห์สว่าน | 8nm (ที่ 25kV, 1nA) |
| ปืนอิเล็กตรอน | ปืนปล่อยสนามชอตต์กี้ |
| แรงดันไฟฟ้าเร่ง | 0.5 ถึง 30kV |
| โพรบปัจจุบัน | 10-11 ถึง 2×10-7A |
| การอวดอ้าง | x 25 ถึง 500,000 |
| ระบบวิเคราะห์สว่าน | |
| วิเคราะห์ | เครื่องวิเคราะห์ครึ่งวงกลมไฟฟ้าสถิต (HSA) |
| ความละเอียดพลังงาน (ΔE/E) | เพื่อ 0.05% 0.6 |
| ความไว | 840,000 cps/7 ch หรือมากกว่า
(ที่ 10 kV 10 nA Cu-LMN, ความละเอียด 0.6%, 60 เอียง) |
ข้อมูลจำเพาะอาจมีการเปลี่ยนแปลงโดยไม่ต้องแจ้งให้ทราบล่วงหน้า
ขยาย
มีพอร์ตเพิ่มเติมเพื่อรองรับเอกสารแนบต่อไปนี้ ซึ่งสนับสนุนการวิเคราะห์ที่หลากหลาย
มีพอร์ตเพิ่มเติมเพื่อรองรับสิ่งที่แนบมาต่อไปนี้ ซึ่งรองรับการวิเคราะห์ที่หลากหลาย
หน่วยจอดรถตัวอย่าง
อุปกรณ์ทำความเย็นและแตกหักของตัวอย่าง
เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจัดกระจาย
เอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายพลังงาน (EDS)
โอนเรือ
ดาวน์โหลดแคตตาล็อก
JAMP-9510F สว่านเจาะกระแทกภาคสนาม Microprobe
การใช้งาน
อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ
การกระจายธาตุและการทำแผนที่สถานะทางเคมีของซิลิกอนของภาคตัดขวางของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
ได้มาจากการถ่ายภาพสเปกตรัม
เมื่อเปรียบเทียบกับสเปกโตรสโคปีการปล่อยรังสีเอกซ์เช่น SEM-EDS และ EPMA ความละเอียดเชิงพื้นที่ของการวิเคราะห์ AES จะสูงมาก การวิเคราะห์ AES สามารถนำไปใช้กับการวิเคราะห์ธาตุในมุมมองการขยายสูงได้ นอกจากนี้ ยังสามารถทำแผนที่สถานะทางเคมีได้ด้วยการใช้ความแตกต่างของรูปร่างของ Auger Peak ตามสถานะทางเคมีของตัวอย่าง
วัสดุแบตเตอรี่ลิเธียมไอออน (LIB)
สเปกตรัมมาตรฐานของ Li KVV ในรูปแบบที่แตกต่างกัน
การแมปองค์ประกอบภาคตัดขวางสำหรับวัสดุขั้วบวก LIB
ความไวในการตรวจจับลิเธียมของ AES ค่อนข้างสูงและมักใช้ในการวิเคราะห์วัสดุแบตเตอรี่ลิเธียมไอออน AES ตรวจจับจุดสูงสุดของลิเธียมจากลิเธียมออกไซด์และลิเธียมคาร์บอเนตด้วยความไวที่ดี เนื่องจากอิเล็กตรอนในอะตอมที่อยู่ติดกันจะเข้าไปเกี่ยวข้องในกระบวนการสว่าน การทำแผนที่ลิเธียมสามารถทำได้ง่ายด้วยการสร้างภาพสเปกตรัม
การวิเคราะห์รีล
สเปกตรัมการสูญเสียของวัสดุคาร์บอน
การกระจายตัวของคาร์บอนที่ได้จากการวิเคราะห์ AES (ซ้าย) และการกระจายตัวของกราไฟต์โดยการวิเคราะห์ REELS (ขวา) สำหรับตัวอย่างกราฟีนบนแผ่นทองแดง
สเปกโตรสโคปีการสูญเสียพลังงานอิเล็กตรอนแบบสะท้อน (REELS) ยังเป็นการประยุกต์ใช้ที่สำคัญของไมโครโพรบ Auger REELS ใช้ในการวิเคราะห์วัสดุคาร์บอนและยังใช้ในการประเมินขนาดแบนด์แก็ปของเซมิคอนดักเตอร์และฉนวนที่มีแบนด์แก็ปกว้างอีกด้วย
การใช้งานอื่นๆสำหรับ JAMP-9510F
ข้อมูลเพิ่มเติม
คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?
ไม่
โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป