【เลิกผลิตแล้ว】กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบอะตอมความละเอียดระดับ GRAND ARM รุ่น JEM-ARM300F

ความละเอียด STEM-HAADF ที่ไม่เคยมีมาก่อน – 58 น
JEM-ARM300F GRAND ARM เป็นกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนความละเอียดระดับอะตอมที่ให้แรงดันเร่งสูงสุด 300 kV และติดตั้ง Cs Correctors ของ JEOL เอง เครื่องมือนี้รับประกันความละเอียดของภาพ STEM-HAADF ที่ 58 pm ที่ไม่เคยมีมาก่อน

คุณสมบัติ

ตระหนักถึงความละเอียด STEM-HAADF ที่ไม่เคยมีมาก่อนในเวลา 58 น^{※ 1}

ตัวแก้ไข STEM Cs ที่เป็นกรรมสิทธิ์ของ JEOL มอบความละเอียดที่รับประกันได้ที่ 58 pm สำหรับการสแกนภาพด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่าน (ภาพ STEM) (แรงดันไฟฟ้าเร่ง 300 kV) *1 (เมื่อกำหนดค่าตัวแก้ไขความคลาดเคลื่อนทรงกลม STEM)

• เมื่อติดตั้งกับชิ้นเสาที่มีความละเอียดสูงสุด

ตัวแก้ไข ETA - ตัวแก้ไขความคลาดเคลื่อน dodeca-pole ของ JEOL ※ตัวเลือก

ETA Corrector (Expanding Trajectory Aberration Corrector) ประกอบด้วย dodeca-pole และขยายโดย JEOL
สามารถกำหนดค่าตัวแก้ไขความคลาดเคลื่อนทรงกลม STEM และ/หรือตัวแก้ไขความคลาดเคลื่อน TEM ได้ นอกจากนี้ยังมีการกำหนดค่าที่ไม่มีตัวแก้ไข

HyperCF300 - ปืน FE เย็นประสิทธิภาพสูง

ปืนยิงสนามเย็นประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบใหม่ได้รับการติดตั้งในการกำหนดค่ามาตรฐาน ลำแสงอิเล็กตรอนความสว่างสูงที่มีการแพร่กระจายของพลังงานแคบให้การสังเกตและการวิเคราะห์ที่มีความละเอียดสูง

ชิ้นขั้วเลนส์ใกล้วัตถุสองประเภท

ชิ้นขั้วเลนส์ใกล้วัตถุสองประเภทที่มีลักษณะเฉพาะได้รับการพัฒนาเพื่อรองรับคำขอของผู้ใช้ที่หลากหลาย

ระบบตรวจจับ ※ตัวเลือก

มี EDS มุมทึบขนาดใหญ่ (เอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายพลังงาน), EELS (สเปกโตรมิเตอร์การสูญเสียพลังงานของอิเล็กตรอน), ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนแบบสะท้อนกลับ และตัวตรวจจับการสังเกต STEM 4 ประเภท

การตั้งค่าแรงดันเร่งที่หลากหลาย

แรงดันไฟฟ้าเร่ง 300 kV และ 80 kV มีให้ในการกำหนดค่ามาตรฐาน แรงดันไฟฟ้าเร่งความเร็วสามารถเลือกได้ในช่วงตั้งแต่ 40 kV ถึง 300 kV เพื่อปรับให้เหมาะกับการใช้งานที่หลากหลาย

ระบบสุญญากาศที่พัฒนาขึ้นใหม่

ระดับสุญญากาศสูงทำได้ด้วยระบบการอพยพแบบใหม่ ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบใช้สำหรับระบบก่อนการอพยพ ซึ่งช่วยลดการปนเปื้อนของชิ้นงาน ส่งผลให้มีการสังเกตและวิเคราะห์ที่ความละเอียดระดับอะตอม

เสาและเวทีที่มีความเสถียรสูง

เทคโนโลยีการรักษาเสถียรภาพถูกนำไปใช้กับ JEM-ARM300F รวมถึงเสาขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 330 มม. เพื่อปรับปรุงความแข็งเชิงกล ตลอดจนเสถียรภาพและความทนทานทางกลและทางไฟฟ้าโดยรวมที่ดีขึ้น

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

2018/01/15

• การปรับปรุงหรือเปลี่ยนแปลงรูปลักษณ์หรือข้อกำหนดของอุปกรณ์อาจทำได้โดยไม่ต้องแจ้งให้ทราบล่วงหน้า

ดาวน์โหลดแคตตาล็อก

JEM-ARM300F GRAND ARM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนความละเอียดระดับอะตอม

การใช้งาน

แอพพลิเคชั่น JEM-ARM300F

การวิเคราะห์โครงสร้างของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์โดยใช้เอกซ์เรย์ STEM/EDS

รูปภาพ

ข้อมูลเพิ่มเติม