JEM-ARM300F GRAND ARM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนความละเอียดระดับอะตอม

รุ่นใหม่: JEM-ARM300F2

ความละเอียด STEM-HAADF ที่ไม่เคยมีมาก่อน – 58 น
JEM-ARM300F GRAND ARM เป็นกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนความละเอียดระดับอะตอมที่ให้แรงดันเร่งสูงสุด 300 kV และติดตั้ง Cs Correctors ของ JEOL เอง เครื่องมือนี้รับประกันความละเอียดของภาพ STEM-HAADF ที่ 58 pm ที่ไม่เคยมีมาก่อน

คุณสมบัติ

ตระหนักถึงความละเอียด STEM-HAADF ที่ไม่เคยมีมาก่อนในเวลา 58 น^{※ 1}

ตัวแก้ไข STEM Cs ที่เป็นกรรมสิทธิ์ของ JEOL มอบความละเอียดที่รับประกันได้ที่ 58 pm สำหรับการสแกนภาพด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่าน (ภาพ STEM) (แรงดันไฟฟ้าเร่ง 300 kV) *1 (เมื่อกำหนดค่าตัวแก้ไขความคลาดเคลื่อนทรงกลม STEM)

เมื่อติดตั้งกับชิ้นเสาที่มีความละเอียดสูงสุด

ตัวแก้ไข ETA - ตัวแก้ไขความคลาดเคลื่อน dodeca-pole ของ JEOL ※ตัวเลือก

ETA Corrector (Expanding Trajectory Aberration Corrector) ประกอบด้วย dodeca-pole และขยายโดย JEOL
สามารถกำหนดค่าตัวแก้ไขความคลาดเคลื่อนทรงกลม STEM และ/หรือตัวแก้ไขความคลาดเคลื่อน TEM ได้ นอกจากนี้ยังมีการกำหนดค่าที่ไม่มีตัวแก้ไข

HyperCF300 - ปืน FE เย็นประสิทธิภาพสูง

ปืนยิงสนามเย็นประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบใหม่ได้รับการติดตั้งในการกำหนดค่ามาตรฐาน ลำแสงอิเล็กตรอนความสว่างสูงที่มีการแพร่กระจายของพลังงานแคบให้การสังเกตและการวิเคราะห์ที่มีความละเอียดสูง

ชิ้นขั้วเลนส์ใกล้วัตถุสองประเภท

ชิ้นขั้วเลนส์ใกล้วัตถุสองประเภทที่มีลักษณะเฉพาะได้รับการพัฒนาเพื่อรองรับคำขอของผู้ใช้ที่หลากหลาย

ระบบตรวจจับ ※ตัวเลือก

มี EDS มุมทึบขนาดใหญ่ (เอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายพลังงาน), EELS (สเปกโตรมิเตอร์การสูญเสียพลังงานของอิเล็กตรอน), ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนแบบสะท้อนกลับ และตัวตรวจจับการสังเกต STEM 4 ประเภท

การตั้งค่าแรงดันเร่งที่หลากหลาย

แรงดันไฟฟ้าเร่ง 300 kV และ 80 kV มีให้ในการกำหนดค่ามาตรฐาน แรงดันไฟฟ้าเร่งความเร็วสามารถเลือกได้ในช่วงตั้งแต่ 40 kV ถึง 300 kV เพื่อปรับให้เหมาะกับการใช้งานที่หลากหลาย

ระบบสุญญากาศที่พัฒนาขึ้นใหม่

ระดับสุญญากาศสูงทำได้ด้วยระบบการอพยพแบบใหม่ ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบใช้สำหรับระบบก่อนการอพยพ ซึ่งช่วยลดการปนเปื้อนของชิ้นงาน ส่งผลให้มีการสังเกตและวิเคราะห์ที่ความละเอียดระดับอะตอม

เสาและเวทีที่มีความเสถียรสูง

เทคโนโลยีการรักษาเสถียรภาพถูกนำไปใช้กับ JEM-ARM300F รวมถึงเสาขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 330 มม. เพื่อปรับปรุงความแข็งเชิงกล ตลอดจนเสถียรภาพและความทนทานทางกลและทางไฟฟ้าโดยรวมที่ดีขึ้น

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

2018/01/15

STEM (พร้อมตัวแก้ไข STEM)	การกำหนดค่า UHR	การกำหนดค่าทรัพยากรบุคคล
ความละเอียด@300 kV (HAADF)	นาโนเมตร 0.058	นาโนเมตร 0.063
TEM (พร้อม TEM Corrector)	การกำหนดค่า UHR	การกำหนดค่าทรัพยากรบุคคล
ความละเอียดขัดแตะ	นาโนเมตร 0.05	นาโนเมตร 0.06
(ไม่เป็นเชิงเส้น) ขีด จำกัด ข้อมูล (การทดสอบขอบของ Young กับชิ้นงานหนา)	นาโนเมตร 0.06	นาโนเมตร 0.07
(เชิงเส้น) ขีด จำกัด ข้อมูล (3D FFT TEST หรือชิ้นงานบาง)	นาโนเมตร 0.09	นาโนเมตร 0.12