เจม-ARM300F2
GRAND ARM™2 ความละเอียดระดับอะตอม
กล้องจุลทรรศน์วิเคราะห์

เปิดตัวกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนความละเอียดอะตอมใหม่!

อัปเกรด "GRAND ARM™2" แล้ว
"GRAND ARM™2" ใหม่นี้ช่วยให้สามารถสังเกตที่ความละเอียดเชิงพื้นที่สูงพิเศษด้วยการวิเคราะห์ที่มีความไวสูงในช่วงแรงดันไฟฟ้าที่เร่งความเร็วได้หลากหลาย

คุณสมบัติ

Feature1

FHP2 ชิ้นขั้วเลนส์ใกล้วัตถุที่พัฒนาขึ้นใหม่

ชิ้นขั้วเลนส์ใกล้วัตถุ FHP ได้รับการปรับให้เหมาะสมสำหรับการสังเกตความละเอียดเชิงพื้นที่สูงเป็นพิเศษ
ในขณะที่ยังคงความสามารถนี้ รูปทรงของชิ้นขั้วได้รับการปรับให้เหมาะสมเพิ่มเติมสำหรับมุมแข็งของเอ็กซ์เรย์และมุมยกของ SDD คู่ขนาดใหญ่ (158 มม.²).
ด้วยเหตุนี้ ประสิทธิภาพการตรวจจับด้วยรังสีเอกซ์ของ FHP2 จึงมีความละเอียดอ่อนเป็นสองเท่าของ FHP สามารถให้ความละเอียดย่อยในแผนที่องค์ประกอบ EDS

ความละเอียดของอะตอม ภาพ STEM-HAADF/ABF และแผนที่ EDS สำหรับ GaN[211]

Feature2

ตู้ใหม่

คอลัมน์ TEM ถูกหุ้มด้วยกล่องหุ้มแบบกล่อง ซึ่งสามารถลดผลกระทบจากการเปลี่ยนแปลงสภาพแวดล้อม เช่น อุณหภูมิ การไหลของอากาศ เสียงอะคูสติก และอื่นๆ จากนั้นจะช่วยเพิ่มความเสถียรของกล้องจุลทรรศน์

Feature3

ETA Corrector & JEOL COSMO™
การแก้ไขความคลาดเคลื่อนอย่างรวดเร็วและแม่นยำ

JEOL COSMO™ ใช้ Ronchigrams 2 ชิ้นที่ได้จากพื้นที่อสัณฐานใดๆ เพื่อวัดและแก้ไขความคลาดเคลื่อน
ดังนั้น ระบบจึงสามารถแก้ไขความคลาดเคลื่อนได้อย่างแม่นยำและรวดเร็วโดยไม่ต้องใช้ตัวอย่างเฉพาะ

Feature4

ปรับปรุงเสถียรภาพ

CFEG ใหม่ (ปืนอิเล็กตรอนแบบปล่อยสนามเย็น) ใช้ SIP ที่เล็กกว่าซึ่งมีปริมาตรการอพยพที่มากกว่าเดิมสำหรับ GRAND ARM™2 การเพิ่มปริมาณการอพยพของ SIP ช่วยเพิ่มระดับของสุญญากาศใกล้กับอีซีแอลภายใน CFEG และยังช่วยเพิ่มความเสถียรของกระแสการปล่อยและโพรบอีกด้วย การย่อขนาด SIP สามารถลดมวลรวมของ CFEG ได้ประมาณ 100 กก.
การประหยัดน้ำหนักของ CFEG ช่วยเพิ่มความทนทานต่อการสั่นสะเทือนของกล้องจุลทรรศน์

การปรับปรุงอื่นๆ ยังช่วยเพิ่มความเสถียรและความต้านทานต่อการรบกวนต่างๆ สำหรับกล้องจุลทรรศน์

ตารางที่ 1. รับประกันความละเอียดของภาพ STEM พร้อมตัวแก้ไข STEM ETA สำหรับ GRAND ARM™ และ GRAND ARM™2

Feature5

ระบบ OBF (ตัวเลือก)

ด้วยวิธีการถ่ายภาพแบบใหม่ 'OBF STEM (STEM ฟิลด์สว่างที่เหมาะสมที่สุด)'ภาพดิบที่ได้จากเครื่องตรวจจับ STEM แบบแบ่งส่วนจะใช้เป็นแหล่งสำหรับการสร้างภาพเฟสขึ้นใหม่ โดยมีตัวกรองฟูริเยร์เฉพาะเพื่อเพิ่มอัตราส่วนสัญญาณต่อสัญญาณรบกวนของภาพที่ดึงออกมา
วิธีการที่มีแนวโน้มดีนี้จะทำให้เกิดคอนทราสต์ที่สูงขึ้นสำหรับทั้งองค์ประกอบที่หนักและเบา แม้ในขณะที่ทำงานภายใต้สภาวะที่มีปริมาณอิเล็กตรอนต่ำมาก วัสดุที่ไวต่อลำแสงที่สังเกตได้ยากด้วยวิธีการ ADF และ ABF STEM มาตรฐานสามารถวิเคราะห์ได้อย่างง่ายดายด้วยคอนทราสต์ที่สูงขึ้นในช่วงการขยายที่กว้าง

คุณอู๋, ต. เซกิ, และคณะ Ultramicroscopy 220, 113133 (พ.ศ. 2021)

STEM การถ่ายภาพในขนาดต่ำ

วัสดุที่ไวต่อลำแสงซึ่งรวมถึง Metal Organic Frameworks (MOFs) และซีโอไลต์ต้องการปริมาณอิเล็กตรอนที่ลดลง (โดยทั่วไปคือโพรบปัจจุบัน < 1.0 pA) ในขณะที่ยังคงความเปรียบต่างของอะตอมที่ชัดเจนสำหรับโครงร่างขององค์ประกอบแสง
OBF STEM มีข้อได้เปรียบสำหรับการทดลองปริมาณรังสีต่ำ โดยทำให้ได้ภาพ STEM ที่มีประสิทธิภาพปริมาณรังสีสูงเป็นพิเศษในความละเอียดระดับอะตอม 

ทั้ง OBF STEM Image MOF MIL-101 (ซ้าย) และ MFI Zeolite (ขวา) ได้มาในช็อตเดียว และยังสามารถสังเกตความละเอียดเชิงพื้นที่สูงที่ 1 Å ในรูปแบบ FFT ในส่วนแทรกด้านขวาได้อีกด้วย ยิ่งไปกว่านั้น ค่าเฉลี่ยของภาพซ้อน (ภาพแทรกด้านซ้าย) ยืนยันว่าความละเอียดและคอนทราสต์มีความสมดุลเป็นอย่างดี

การถ่ายภาพที่มีความเปรียบต่างสูงสำหรับองค์ประกอบแสง

นอกจากจะมีประสิทธิภาพปริมาณรังสีสูงแล้ว OBF STEM ยังมีประโยชน์สำหรับการถ่ายภาพองค์ประกอบแสงอีกด้วย
แม้ในแรงดันการเร่งความเร็วที่ต่ำกว่า ก็สามารถให้ทั้งความเปรียบต่างที่สูงขึ้นและความละเอียดเชิงพื้นที่สำหรับองค์ประกอบแสงได้

ตัวอย่าง : กาน [110]
เครื่องมือ : JEM-ARM200F
แรงดันไฟเร่ง : 60 kV
คอนเวอร์เจนซ์ กึ่งมุม : 35 mrad

ตัวอย่าง : Graphene
เครื่องมือ : JEM-ARM200F
แรงดันไฟเร่ง : 60 kV
คอนเวอร์เจนซ์ กึ่งมุม : 35 mrad

ความละเอียดขององค์ประกอบแสงจะดีขึ้นมากด้วยแรงดันไฟเร่งที่สูงกว่า
คอลัมน์อะตอมแต่ละคอลัมน์แยกจากกันอย่างชัดเจนด้วยความละเอียดย่อยของอังสตรอมลึกภายในโครงสร้างที่ซับซ้อนหรือตามแกนผลึกที่มีดัชนีสูงกว่า
คุณภาพของ OBF STEM นั้นยอดเยี่ยมในสภาวะที่มีปริมาณรังสีต่ำ และปรับปรุงเพิ่มเติมภายใต้สภาวะโพรบมาตรฐานของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบแก้ไขด้วย Cs

ตัวอย่าง : β-Si3N4 [0001]
เครื่องมือ : JEM-ARM200F
แรงดันไฟเร่ง : 200 kV
คอนเวอร์เจนซ์ กึ่งมุม : 24 mrad
สิ่งที่ใส่เข้าไป) 10 เฟรมเฉลี่ย

ตัวอย่าง : กาน [211]
เครื่องมือ : JEM-ARM300F2
แรงดันไฟเร่ง : 300 kV
คอนเวอร์เจนซ์ กึ่งมุม : 32 mrad
สิ่งที่ใส่เข้าไป) 20 เฟรมเฉลี่ย

• e-ABF (ABF ที่ปรับปรุงแล้ว) ไม่พร้อมใช้งานในการกำหนดค่า SAAF Quad

ถ่ายทอดสด OBF Imaging

ในการทดลองจริง การถ่ายภาพ OBF แบบสดเป็นพื้นฐานสำหรับวัสดุที่ไวต่อลำแสง เนื่องจากการดำเนินการทั้งหมดควรดำเนินการในสภาวะที่มีปริมาณรังสีที่จำกัด ฟังก์ชันถ่ายทอดสดรวมอยู่ในระบบ OBF ซึ่งใช้งานภายในซอฟต์แวร์ควบคุม TEM พร้อมการควบคุม GUI ที่เรียบง่ายและการอัปเดตการแสดงผลแบบเรียลไทม์ควบคู่ไปกับภาพ STEM แบบเดิม

Movie

การสังเกตภาพ OBF-STEM แบบสดด้วย JEM-ARM200F

ลิงค์

• ข่าวประชาสัมพันธ์

การเปิดตัวกล้องจุลทรรศน์อิเลคตรอนเชิงวิเคราะห์ความละเอียดสูงพิเศษรุ่นใหม่ JEM-ARM300F2 (GRAND ARM™2)

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

ข้อมูลจำเพาะที่หน้าหลัก

ดาวน์โหลดแคตตาล็อก

JEM-ARM300F2 GRAND ARM™2 กล้องจุลทรรศน์วิเคราะห์ความละเอียดอะตอม

การใช้งาน

แอปพลิเคชัน JEM-ARM300F2

ไครโอโน้ต

บรรลุความละเอียดระดับสูงสุดของโลกด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนเชิงวิเคราะห์ความละเอียดอะตอมที่พัฒนาขึ้นใหม่ "GRAND ARM™2"

รูปภาพ

Movie

JEOL ความละเอียดอะตอม EDS map โดย GRAND ARM™2 พร้อมขั้ว FHP2 และ 158 มม.² ระบบ SDD คู่

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

ระบบกระตุ้นด้วยแสงของชิ้นงาน Luminary Micro Compact

ทฤษฎีสัมพัทธภาพระบบซับเฟรมไฟฟ้าสถิต

ข้อมูลเพิ่มเติม