JSM-IT510
การสแกน InTouchScope™
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน
ง่ายต่อการรับข้อมูลสำหรับตัวอย่างทุกประเภท
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEMs) เป็นเครื่องมือที่ขาดไม่ได้สำหรับการวิจัยเท่านั้น แต่ยังรวมถึงการประกันคุณภาพและไซต์การผลิตด้วย
ในฉากเหล่านั้น กระบวนการสังเกตแบบเดียวกันจะต้องดำเนินการซ้ำๆ และจำเป็นต้องปรับปรุงประสิทธิภาพของกระบวนการ
ด้วย JSM-IT510 ฟังก์ชัน Simple SEM ที่เพิ่มเข้ามาใหม่ทำให้ผู้ใช้สามารถ "ปล่อยให้การดำเนินการซ้ำๆ ด้วยตนเอง" ซึ่งจำเป็นสำหรับการสังเกต SEM ทำให้การสังเกต SEM มีประสิทธิภาพและง่ายขึ้น
คุณสมบัติ
SEM อย่างง่าย
เพียงเลือกช่องเป้าหมาย
Simple SEM รองรับการทำงานประจำวัน
ตัวอย่าง: อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์
แรงดันไฟเร่ง: 15 kV, (บน) กำลังขยาย: ×50 (ล่าง) ×1,000, สัญญาณ: พ.ศ.
วิดีโอแนะนำ JSM-IT510
มีการแนะนำฟังก์ชันของ Simple SEM
◆การคลิกปุ่มเล่นจะเริ่มวิดีโอ (ประมาณ 2 นาที)
Navi . การแลกเปลี่ยนตัวอย่าง
คำแนะนำจากการแลกเปลี่ยนชิ้นงานทดสอบเป็นการสังเกตอัตโนมัติ
ปลอดภัยและเรียบง่าย! Navi . การแลกเปลี่ยนตัวอย่าง
1. ปฏิบัติตามคู่มือ Navi เพื่อตั้งค่าตัวอย่าง
2. เตรียมความพร้อมสำหรับการสังเกตระหว่างการอพยพ
ระบบนำทางบนเวที (SNS) เป็นตัวเลือก
SNS Large Sample (SNSLS) เป็นตัวเลือก เข้ากันได้กับ SNS
Chamber Scope (CS) เป็นตัวเลือก
3. เริ่มการสังเกตโดยอัตโนมัติ
การสร้างภาพอัตโนมัติหลังจากการอพยพ
ซีโร่แม็ก
ขยายภาพออปติคัล *1, เปลี่ยนเป็นภาพ SEM
ฟังก์ชัน Zeromag ช่วยลดความยุ่งยากในการนำทาง ทำให้เปลี่ยนจากภาพแบบออปติคัลเป็น SEM ได้อย่างราบรื่น
SEM, ภาพออปติคัล และกราฟิคที่ยึดทั้งหมดเชื่อมโยงกันสำหรับมุมมองทั่วโลกของตำแหน่งการวิเคราะห์
จำเป็นต้องใช้ Stage Navigation System (SNS) เพื่อแสดงภาพออปติคัล
วิเคราะห์สด / แผนที่สด*2
EDS แบบฝังสำหรับองค์ประกอบองค์ประกอบแบบเรียลไทม์ระหว่างการสังเกต
การวิเคราะห์สดเป็นฟังก์ชันที่แสดงสเปกตรัม EDS หรือแผนที่องค์ประกอบในแบบเรียลไทม์ระหว่างการสังเกตภาพ ฟังก์ชันนี้สามารถรองรับการค้นหาและแจ้งเตือนองค์ประกอบเป้าหมายได้
Live Analysis เป็นมาตรฐานสำหรับ A (Analysis) / LA (Low Vacuum & Analysis)
ตัวอย่าง: ฟอสซิลของแอมโมไนต์
แรงดันไฟเร่ง: 15 kV กำลังขยาย: ×1,000
การวิเคราะห์อย่างง่าย
การวิเคราะห์ EDS สามารถเริ่มต้นได้ภายใน 3 คลิก
วิดีโอแนะนำ JSM-IT510
มีการแนะนำฟังก์ชันของ Live Map
◆การคลิกปุ่มเล่นจะเริ่มวิดีโอ (ประมาณ 2 นาที)
ตัวเลือกขั้นสูงที่หลากหลาย
เครื่องตรวจจับอิเลคตรอนทุติยภูมิแบบไฮบริดสุญญากาศต่ำ (LHSED)*
เครื่องตรวจจับใหม่นี้รวบรวมทั้งสัญญาณอิเล็กตรอนและโฟตอนโดยให้ภาพที่มี S/N สูงและข้อมูลภูมิประเทศที่ได้รับการปรับปรุง
LHSED เป็นตัวเลือก และต้องใช้ LV (Low Vacuum) หรือ LA (Low Vacuum & Analysis) ด้วย
กลไกของ LHSED
ตัวอย่าง: พลาสเตอร์
แรงดันไฟเร่ง: 7 kV, กำลังขยาย: x10,000, สัญญาณ: LV SE
3D สด *
ภาพที่ได้จากเครื่องตรวจจับ BE ควอแดรนท์ใหม่* สามารถแสดงเป็นภาพ 3 มิติแบบสดได้
ภาพ 3 มิติสามารถแสดงรูปร่างของตัวอย่างได้อย่างชัดเจน แม้กระทั่งกับภาพที่มีข้อมูลภูมิประเทศที่ละเอียดอ่อน
Live 3D เป็นมาตรฐานใน LV (Low Vacuum), LA (Low Vacuum & Analysis) เครื่องตรวจจับ BE (ตัวเลือก) สามารถติดตั้งบน BU (หน่วยฐาน), A (การวิเคราะห์)
การตัดต่อ
ฟังก์ชันตัดต่อจะทำให้การรวบรวมภาพในพื้นที่ขนาดใหญ่โดยอัตโนมัติและการต่อภาพเหล่านี้เป็นภาพคอมโพสิต
จำเป็นต้องใช้ Stage Navigation System (SNS) เพื่อแสดงภาพออปติคัล
แสดงความลึกของสัญญาณ
ฟังก์ชันนี้แสดงความลึกของการวิเคราะห์ (โดยประมาณ) ในชิ้นงานทดสอบ
สำหรับการวิเคราะห์องค์ประกอบ จะมีประโยชน์มาก
ลิงค์
ข่าวประชาสัมพันธ์
การเปิดตัวกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดรุ่นใหม่ JSM-IT510 Series InTouchScope™
ข้อบ่งชี้จำเพาะ
ข้อมูลทางเทคนิค
ซีรีส์ JSM-IT510 สามารถติดตั้งได้ 4 รูปแบบดังต่อไปนี้: BU (หน่วยฐาน) / A (การวิเคราะห์) / LV (สุญญากาศต่ำ) / LA (สุญญากาศและการวิเคราะห์ต่ำ)
BU (หน่วยฐาน) | ชนิดพื้นฐานสำหรับการสังเกตภายใต้สุญญากาศสูง |
---|---|
เอ (วิเคราะห์) | ประเภทการวิเคราะห์ EDS แนบมากับ BU เป็นมาตรฐาน |
LV (สูญญากาศต่ำ) | ชนิดสุญญากาศต่ำ สำหรับการใช้งานสุญญากาศสูงและต่ำ รวมเตียง |
LA (สูญญากาศต่ำ & การวิเคราะห์) | ชนิดสูญญากาศต่ำ สำหรับการใช้งานสูญญากาศสูงและต่ำ รวม BED และ EDS |
ข้อกำหนด SEM
ความละเอียด | โหมดสูญญากาศสูง 3.0 นาโนเมตร (30 kV), 15.0 นาโนเมตร (1.0 kV) โหมดสูญญากาศต่ำ※ 1 4.0 นาโนเมตร (30 kV เตียง) |
---|---|
กำลังขยายภาพ | ×5 ถึง ×300,000 (กำหนดด้วยขนาดภาพถ่าย 128 มม. × 96 มม.) |
กำลังขยายจอแสดงผล | ×14 ถึง ×839,724 (กำหนดด้วยขนาดภาพถ่าย 358 มม. × 296 มม.) |
ปืนอิเล็กตรอน | W ฟิลาเมนต์ การจัดตำแหน่งปืนอัตโนมัติเต็มรูปแบบ |
แรงดันไฟฟ้าลงจอด | 0.3 กิโลโวลต์เพื่อ 30 กิโลโวลต์ |
แรงดัน LV การปรับ※ 1 |
10 ถึง 650 Pa |
รูรับแสงของเลนส์ใกล้วัตถุ | สี่ขั้นตอนพร้อมฟังก์ชั่นการปรับ XY แบบละเอียด |
ฟังก์ชั่นอัตโนมัติ | การปรับเส้นใย, การปรับตำแหน่งปืน การจัดตำแหน่งลำแสง โฟกัส/ สายตาเอียง / ความสว่าง / การแก้ไขคอนทราสต์ |
ตัวอย่างสูงสุด ขนาด |
เส้นผ่านศูนย์กลาง 200 มม. × สูง 75 มม. เส้นผ่านศูนย์กลาง 200 มม. × สูง 80 มม.※ 3 เส้นผ่านศูนย์กลาง 32 มม. × สูง 90 มม.※ 3 |
ขั้นตอนตัวอย่าง | เวทียูเซนตริกขนาดใหญ่ X:125 มม. Y:100 มม. Z:80 มม. เอียง: -10 ถึง 90° การหมุน: 360° |
โหมดภาพ | ภาพอิเล็กตรอนทุติยภูมิ ภาพ REF ภาพองค์ประกอบ* 1 ภาพภูมิประเทศ※ 1, ภาพเงา※ 1、ภาพ PD※ 4 |
ขนาดภาพ | 640 × 480 1,280 × 960 2,560 × 1,920 5,120 × 3,840 |
ฟังก์ชั่นช่วยถ่ายภาพ | การตัดต่อ, SEM อย่างง่าย, Zeromag, Live 3D |
สนับสนุนการดำเนินงาน ฟังก์ชัน |
สูตร (สูตรมาตรฐาน / สูตรกำหนดเอง) การวัด (ระยะห่างระหว่าง 2 จุด ระยะห่างระหว่างเส้นคู่ขนาน มุม เส้นผ่านศูนย์กลาง ฯลฯ) ระบบนำทางสำหรับแลกเปลี่ยนตัวอย่าง ฟังก์ชันความลึกของสัญญาณ การวัด 3D※ 5 |
OS | ไมโครซอฟท์® Windows®10 64bit |
จอภาพสังเกตการณ์ | แผงสัมผัสขนาด 23.8 นิ้ว |
ฟังก์ชัน EDS※ 2 | อ้างถึงข้อกำหนดของ EDS |
การจัดการข้อมูล | ห้องแล็บสไมล์วิว™ |
การสร้างรายงาน คลิกเดียวรายงาน |
ส่งออกไปยัง Microsoft®คำ ส่งออกไปยัง Microsoft®พาวเวอร์พอยท์※ 6 |
เปลี่ยนภาษา | ญี่ปุ่น อังกฤษ จีน※ 7 (ใช้งานได้บน UI) |
ระบบสูญญากาศ | อัตโนมัติเต็มรูปแบบ, TMP: 1, RP: 1 หรือ 2※ 1 |
ตัวเลือกหลัก
เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจัดกระจาย (BED)*1
เครื่องตรวจจับอิเลคตรอนรอง Hybird สูญญากาศต่ำ (LHSED)
เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิต่ำ (LVSED)
เอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายพลังงาน (EDS)*2
เอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายความยาวคลื่น (WDS)
รูปแบบการเลี้ยวเบนกลับของอิเล็กตรอน (EBSD)
Load Lock Chamber (ห้องเตรียมอพยพ)
ระบบนำทางบนเวที (SNS)
ระบบนำทางบนเวที ตัวอย่างขนาดใหญ่ (SNSLS)
ขอบเขตห้อง (CS)
แผงควบคุมการทำงาน (OP2)
ลาบ6ปืนอิเล็กตรอน (LAB6)
ซอฟต์แวร์วิเคราะห์ 3 มิติ (SVM)
ตาราง (TBL)
ข้อกำหนด EDS
ใช้ได้กับ A (การวิเคราะห์) / LA (สูญญากาศและการวิเคราะห์ต่ำ)
●:มาตรฐาน ○:ตัวเลือก
Standard | ||
---|---|---|
ควบคุมพีซี | ระบบปฏิบัติการ:Microsoft®Windows®10 64bit※ 8 | ● |
ภาษา | ญี่ปุ่น / อังกฤษ / จีน※ 7 | ● |
เครื่องตรวจจับ | ประเภท SDD | เลือกจาก รายการเครื่องตรวจจับ |
การวิเคราะห์สเปกตรัม |
การวิเคราะห์เชิงคุณภาพ (การระบุจุดสูงสุด การวิเคราะห์เชิงคุณภาพอัตโนมัติ) ID จุดสูงสุดของภาพ การวิเคราะห์เชิงปริมาณน้อยกว่ามาตรฐาน (วิธี ZAF) การวิเคราะห์เชิงปริมาณมาตรฐาน (วิธี ZAF)※ 9 วิธี PHI-RHO-Z (PRZ): วิธีแก้ไขเชิงปริมาณ QBase (ฐานข้อมูลการวิเคราะห์เชิงคุณภาพ) |
● |
การวิเคราะห์เส้น | การวิเคราะห์เส้น (ทิศทางคู่ขนานและตามอำเภอใจ) | ● |
แผนที่ธาตุ |
แผนที่ธาตุ (แผนที่ที่มีหลายสี ขาวดำ ซ้อนหลายสี) ความละเอียดพิกเซลสูงสุด: 4,096 × 3,072 สเปกตรัมป๊อปอัปแบบเรียลไทม์ แผนที่ Deconvolution (แผนที่จำนวนสุทธิ แผนที่เชิงปริมาณ) แผนที่นับเน็ตตามเวลาจริง ตัวกรองตามเวลาจริง แสดงโปรไฟล์สาย การติดตามโพรบ การวิเคราะห์การเล่น (แผนที่สเปกตรัมแก้ไขเวลา) |
● |
การวิเคราะห์แบบอนุกรม | การวิเคราะห์สเปกตรัม การวิเคราะห์เส้น แผนผังองค์ประกอบ การวิเคราะห์ที่ครอบคลุมของข้อมูลที่วิเคราะห์แล้ว (การวิเคราะห์เชิงคุณภาพและเชิงปริมาณ) |
● |
การตัดต่อ | การตัดต่ออัตโนมัติ (ภาพ SEM, แผนที่องค์ประกอบ) การแมปองค์ประกอบแบบอนุกรมสำหรับหลายพื้นที่ |
● |
ซอฟต์แวร์วิเคราะห์อนุภาค |
・การวิเคราะห์อนุภาค (อัตโนมัติ / คู่มือ) & การวิเคราะห์ EDS การจำแนกข้อมูลการวิเคราะห์อนุภาค การแสดงกราฟของข้อมูลการวิเคราะห์อนุภาคที่ประมวลผลทางสถิติ การวิเคราะห์อนุภาคอนุกรมพื้นที่ขนาดใหญ่ ・ห้องสมุด GSR (Gun Shot Residue) ・ไลบรารีการวิเคราะห์คุณสมบัติของโลหะ ・ห้องสมุดวิเคราะห์ความสะอาดชิ้นส่วนรถยนต์ |
○ ○ ○ ○ |
การสร้างรายงาน | ห้องแล็บสไมล์วิว™ ผลลัพธ์เป็น Microsoft®เวิร์ด, ไมโครซอฟต์®ไฟล์ PowerPoint※ 6 |
● |
บูรณาการ SEM | การจัดการข้อมูลการสังเกตและการวิเคราะห์แบบบูรณาการ การระบุตำแหน่งการวิเคราะห์บนหน้าจอการดำเนินการ SEM (การวิเคราะห์โดยตรงบน UI สำหรับ SEM) การแสดงตำแหน่งการวิเคราะห์แบบกราฟิก |
● |
ฟังก์ชันช่วยเหลือ | ช่วยชี้แนะ | ● |
เครื่องตรวจจับคู่ | วิเคราะห์ด้วยเครื่องตรวจจับสองตัว※ 10 | ○ |
ฟังก์ชั่นออฟไลน์ | ซอฟต์แวร์ลิขสิทธิ์สำหรับการวิเคราะห์ข้อมูลออฟไลน์ | ○ |
มาตรฐานใน JSM-IT510LV / LA
มาตรฐานใน JSM-IT510A / LA
จำเป็นต้องมีผู้ถือเสริม
จำเป็นต้องมี LHSED (ตัวเลือก)
จำเป็นต้องมี SVM (ตัวเลือก)
ต้องติดตั้ง Microsoft® Offce
ภาษาจีนเป็นตัวเลือก
สำหรับ JSM-IT510A / LA ซอฟต์แวร์ EDS ได้รับการติดตั้งบนพีซีเครื่องเดียวกันกับซอฟต์แวร์ควบคุม SEM
จำเป็นต้องมีหน่วยชดเชยกระแสไฟของโพรบที่เป็นอุปกรณ์เสริม (ตัวเลือก) การตรวจสอบกระแสโพรบอัตโนมัติจะทำได้เมื่อ EDS เชื่อมต่อกับไมโครสโคป PC เท่านั้น
ต้องใช้ตัวตรวจจับ EDS สองตัวที่มีขนาดเซ็นเซอร์แบบแอคทีฟเท่ากัน มีข้อจำกัดสำหรับการเคลื่อนย้ายสเตจขึ้นอยู่กับพอร์ตการติดตั้ง
ข้อมูลจำเพาะอาจมีการเปลี่ยนแปลงโดยไม่ต้องแจ้งให้ทราบล่วงหน้า
Microsoft, Windows, PowerPoint และ Microsoft Office เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Microsoft Corporation ในสหรัฐอเมริกาและประเทศอื่นๆ
Microsoft Word เป็นชื่อผลิตภัณฑ์ของ Microsoft Corporation
ดาวน์โหลดแคตตาล็อก
JSM-IT510 กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด InTouchScope™
การใช้งาน
แอปพลิเคชัน JSM-IT510
รูปภาพ
ห้องปฏิบัติการ
การสังเกตผลึกของเหล็ก
สำหรับวัสดุที่เป็นผลึก เช่น โลหะ สามารถถ่ายภาพคอนทราสต์ (ความคมชัดของแชนเนล) ที่เกิดจากความแตกต่างของการวางแนวคริสตัลได้
CROSS SECTION POLISER™ IB-19530CP *1
CROSS SECTION POLISHER™ (CP) ได้รับการออกแบบสำหรับการผลิตหน้าตัดหรือการกัดผิวงานโดยใช้ลำแสง Ar ion กว้างในการฉายรังสีชิ้นงานทดสอบ
เมื่อเทียบกับการกัดแบบกลไก CP สามารถสร้างหน้าตัดที่ละเอียดได้โดยไม่ผิดเพี้ยน
ขายแยกต่างหาก
การสังเกตพื้นผิวแตกหัก
การสังเกตพื้นผิวการแตกหักโดย SEM นั้นใช้กันอย่างแพร่หลายในการศึกษาสาเหตุของความล้มเหลวและการเติบโตของรอยแตก
เส้นที่เกิดจากการแตกหักเมื่อยล้า
ตัวอย่าง: สเตนเลสออสเทนนิติก, แรงดันไฟเร่ง: 10 kV, กำลังขยาย: x5,000, สัญญาณ: SE
ลักยิ้มที่เกิดจากการแตกหักแบบเหนียว
ตัวอย่าง: สเตนเลสออสเทนนิติก, แรงดันไฟเร่ง: 10 kV, กำลังขยาย: x5,000, สัญญาณ: SE
ลวดลายลูกกวาดที่เกิดจากรอยร้าวตามขอบเกรน
ตัวอย่าง: สเตนเลสออสเทนนิติก, แรงดันไฟเร่ง: 10 kV, กำลังขยาย: x5,000, สัญญาณ: SE
อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
ต่อต้านการสังเกตรูปแบบ
ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การจัดการคุณภาพของการต้านทานโดย SEM มีความสำคัญมาก
กระบวนการนี้สามารถยืนยันได้โดยการถ่ายภาพส่วนตัดขวางของรูปแบบความต้านทาน นอกจากนี้ยังสามารถวัดความกว้างของเส้นได้อีกด้วย
ภาพตัดขวางของรูปแบบต้านทาน (เอียงไปที่ 35 °)
ลายต้านทานเขียนบนแผ่นเวเฟอร์ศรี
การตรวจสอบแผงวงจรพิมพ์ (PCB)
SEM เป็นเครื่องมือที่มีประสิทธิภาพในการจัดการคุณภาพของ PCB
สภาวะสุญญากาศต่ำทำให้สามารถสังเกต PCB ได้โดยตรงโดยไม่ต้องเตรียมการล่วงหน้า
ชิปคอนเดนเซอร์บน PCB
ซอฟต์แวร์วิเคราะห์ภาพ* ช่วยให้วัดความกว้างของเส้นได้โดยอัตโนมัติ
ตัวเลือก. MultiImageTool (ผลิตโดย SYSTEM IN FRONTIER INC.)
วัสดุอ่อนนุ่ม / โพลีเมอร์
JSM-IT510 ภายใต้สภาวะสุญญากาศต่ำเหมาะสำหรับการสังเกตตัวอย่างที่ไม่นำไฟฟ้าโดยตรง เช่น พอลิเมอร์ที่ดูดซับยิ่งยวดและหน้ากาก
พอลิเมอร์ดูดซับยิ่งยวด
หน้ากากไม่ทอ
หน้ากากยูรีเทน
สามารถรับภาพ SE และภาพ BE พร้อมกันได้
ภาพ SE ให้ข้อมูลรูปร่าง
ภาพ BE แสดงบริเวณสว่างซึ่งระบุองค์ประกอบของเลขอะตอมที่สูงขึ้นสำหรับบริเวณนี้
ชีววิทยา
รูปร่างปกติของตัวอย่างทางชีวภาพ เช่น เซลล์หรือจุลินทรีย์ สามารถยืนยันได้หลังจากทำทรีตเมนต์ล่วงหน้าด้วยการตรึงทางเคมีหรือวิธีการทำแห้งเยือกแข็งเพื่อรักษารูปร่าง
เม็ดเลือดแดงและเม็ดเลือดขาว
แรงดันไฟเร่ง: 3 kV, กำลังขยาย: x7,000, สัญญาณ: SE
Chlorella
แรงดันไฟเร่ง: 3 kV, กำลังขยาย: x15,000, สัญญาณ: SE
ละอองเกสร Daphne
แรงดันไฟเร่ง: 10 kV, กำลังขยาย: x2,000, สัญญาณ: SE
ข้อมูลเพิ่มเติม
คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?
ไม่
โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป