ปิด Btn

เลือกไซต์ภูมิภาคของคุณ

ปิดหน้านี้

ง่ายต่อการรับข้อมูลสำหรับตัวอย่างทุกประเภท

กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEMs) เป็นเครื่องมือที่ขาดไม่ได้สำหรับการวิจัยเท่านั้น แต่ยังรวมถึงการประกันคุณภาพและไซต์การผลิตด้วย
ในฉากเหล่านั้น กระบวนการสังเกตแบบเดียวกันจะต้องดำเนินการซ้ำๆ และจำเป็นต้องปรับปรุงประสิทธิภาพของกระบวนการ

ด้วย JSM-IT510 ฟังก์ชัน Simple SEM ที่เพิ่มเข้ามาใหม่ทำให้ผู้ใช้สามารถ "ปล่อยให้การดำเนินการซ้ำๆ ด้วยตนเอง" ซึ่งจำเป็นสำหรับการสังเกต SEM ทำให้การสังเกต SEM มีประสิทธิภาพและง่ายขึ้น

คุณสมบัติ

 

SEM อย่างง่าย

เพียงเลือกช่องเป้าหมาย

Simple SEM รองรับการทำงานประจำวัน

ตัวอย่าง: อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์
แรงดันไฟเร่ง: 15 kV, (บน) กำลังขยาย: ×50 (ล่าง) ×1,000, สัญญาณ: พ.ศ.

วิดีโอแนะนำ JSM-IT510

มีการแนะนำฟังก์ชันของ Simple SEM

◆การคลิกปุ่มเล่นจะเริ่มวิดีโอ (ประมาณ 2 นาที)

 

Navi . การแลกเปลี่ยนตัวอย่าง

คำแนะนำจากการแลกเปลี่ยนชิ้นงานทดสอบเป็นการสังเกตอัตโนมัติ

ปลอดภัยและเรียบง่าย! Navi . การแลกเปลี่ยนตัวอย่าง

1. ปฏิบัติตามคู่มือ Navi เพื่อตั้งค่าตัวอย่าง

 

2. เตรียมความพร้อมสำหรับการสังเกตระหว่างการอพยพ

  • ระบบนำทางบนเวที (SNS) เป็นตัวเลือก

  • SNS Large Sample (SNSLS) เป็นตัวเลือก เข้ากันได้กับ SNS

  • Chamber Scope (CS) เป็นตัวเลือก

 

3. เริ่มการสังเกตโดยอัตโนมัติ

การสร้างภาพอัตโนมัติหลังจากการอพยพ

 

ซีโร่แม็ก

ขยายภาพออปติคัล *1, เปลี่ยนเป็นภาพ SEM

ฟังก์ชัน Zeromag ช่วยลดความยุ่งยากในการนำทาง ทำให้เปลี่ยนจากภาพแบบออปติคัลเป็น SEM ได้อย่างราบรื่น
SEM, ภาพออปติคัล และกราฟิคที่ยึดทั้งหมดเชื่อมโยงกันสำหรับมุมมองทั่วโลกของตำแหน่งการวิเคราะห์

  • จำเป็นต้องใช้ Stage Navigation System (SNS) เพื่อแสดงภาพออปติคัล

ตัวอย่าง: ฟอสซิลของแอมโมไนต์
แรงดันไฟเร่ง: 7 kV, สัญญาณ: BE

 

วิเคราะห์สด / แผนที่สด*2

EDS แบบฝังสำหรับองค์ประกอบองค์ประกอบแบบเรียลไทม์ระหว่างการสังเกต

การวิเคราะห์สดเป็นฟังก์ชันที่แสดงสเปกตรัม EDS หรือแผนที่องค์ประกอบในแบบเรียลไทม์ระหว่างการสังเกตภาพ ฟังก์ชันนี้สามารถรองรับการค้นหาและแจ้งเตือนองค์ประกอบเป้าหมายได้

  • Live Analysis เป็นมาตรฐานสำหรับ A (Analysis) / LA (Low Vacuum & Analysis)

 

ตัวอย่าง: ฟอสซิลของแอมโมไนต์
แรงดันไฟเร่ง: 15 kV กำลังขยาย: ×1,000

การวิเคราะห์อย่างง่าย

การวิเคราะห์ EDS สามารถเริ่มต้นได้ภายใน 3 คลิก

วิดีโอแนะนำ JSM-IT510

มีการแนะนำฟังก์ชันของ Live Map

◆การคลิกปุ่มเล่นจะเริ่มวิดีโอ (ประมาณ 2 นาที)

 

ตัวเลือกขั้นสูงที่หลากหลาย

เครื่องตรวจจับอิเลคตรอนทุติยภูมิแบบไฮบริดสุญญากาศต่ำ (LHSED)*

เครื่องตรวจจับใหม่นี้รวบรวมทั้งสัญญาณอิเล็กตรอนและโฟตอนโดยให้ภาพที่มี S/N สูงและข้อมูลภูมิประเทศที่ได้รับการปรับปรุง

  • LHSED เป็นตัวเลือก และต้องใช้ LV (Low Vacuum) หรือ LA (Low Vacuum & Analysis) ด้วย

กลไกของ LHSED

ตัวอย่าง: พลาสเตอร์
แรงดันไฟเร่ง: 7 kV, กำลังขยาย: x10,000, สัญญาณ: LV SE

3D สด *

ภาพที่ได้จากเครื่องตรวจจับ BE ควอแดรนท์ใหม่* สามารถแสดงเป็นภาพ 3 มิติแบบสดได้
ภาพ 3 มิติสามารถแสดงรูปร่างของตัวอย่างได้อย่างชัดเจน แม้กระทั่งกับภาพที่มีข้อมูลภูมิประเทศที่ละเอียดอ่อน

  • Live 3D เป็นมาตรฐานใน LV (Low Vacuum), LA (Low Vacuum & Analysis) เครื่องตรวจจับ BE (ตัวเลือก) สามารถติดตั้งบน BU (หน่วยฐาน), A (การวิเคราะห์) 

ตัวอย่าง: สกรู
แรงดันไฟเร่ง: 15 kV กำลังขยาย: x100 สัญญาณ: BE

การตัดต่อ

ฟังก์ชันตัดต่อจะทำให้การรวบรวมภาพในพื้นที่ขนาดใหญ่โดยอัตโนมัติและการต่อภาพเหล่านี้เป็นภาพคอมโพสิต

ตัวอย่าง: ฟอสซิลของแอมโมไนต์
แรงดันไฟเร่ง: 15 kV, กำลังขยาย: x150, สัญญาณ: BE, จำนวนสนาม: 13 x 13

  • จำเป็นต้องใช้ Stage Navigation System (SNS) เพื่อแสดงภาพออปติคัล

แสดงความลึกของสัญญาณ

ฟังก์ชันนี้แสดงความลึกของการวิเคราะห์ (โดยประมาณ) ในชิ้นงานทดสอบ
สำหรับการวิเคราะห์องค์ประกอบ จะมีประโยชน์มาก

ลิงค์

  • ข่าวประชาสัมพันธ์

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

ข้อมูลทางเทคนิค

ซีรีส์ JSM-IT510 สามารถติดตั้งได้ 4 รูปแบบดังต่อไปนี้: BU (หน่วยฐาน) / A (การวิเคราะห์) / LV (สุญญากาศต่ำ) / LA (สุญญากาศและการวิเคราะห์ต่ำ)

BU (หน่วยฐาน) ชนิดพื้นฐานสำหรับการสังเกตภายใต้สุญญากาศสูง
เอ (วิเคราะห์) ประเภทการวิเคราะห์ EDS แนบมากับ BU เป็นมาตรฐาน
LV (สูญญากาศต่ำ) ชนิดสุญญากาศต่ำ สำหรับการใช้งานสุญญากาศสูงและต่ำ รวมเตียง
LA (สูญญากาศต่ำ & การวิเคราะห์) ชนิดสูญญากาศต่ำ สำหรับการใช้งานสูญญากาศสูงและต่ำ รวม BED และ EDS

ข้อกำหนด SEM

ความละเอียด โหมดสูญญากาศสูง
3.0 นาโนเมตร (30 kV), 15.0 นาโนเมตร (1.0 kV)
โหมดสูญญากาศต่ำ※ 1
4.0 นาโนเมตร (30 kV เตียง)
กำลังขยายภาพ ×5 ถึง ×300,000 
(กำหนดด้วยขนาดภาพถ่าย 128 มม. × 96 มม.)
กำลังขยายจอแสดงผล ×14 ถึง ×839,724
(กำหนดด้วยขนาดภาพถ่าย 358 มม. × 296 มม.)
ปืนอิเล็กตรอน W ฟิลาเมนต์ การจัดตำแหน่งปืนอัตโนมัติเต็มรูปแบบ
แรงดันไฟฟ้าลงจอด 0.3 กิโลโวลต์เพื่อ 30 กิโลโวลต์
แรงดัน LV
การปรับ※ 1
10 ถึง 650 Pa
รูรับแสงของเลนส์ใกล้วัตถุ สี่ขั้นตอนพร้อมฟังก์ชั่นการปรับ XY แบบละเอียด
ฟังก์ชั่นอัตโนมัติ การปรับเส้นใย, การปรับตำแหน่งปืน
การจัดตำแหน่งลำแสง
โฟกัส/ สายตาเอียง / ความสว่าง / การแก้ไขคอนทราสต์
ตัวอย่างสูงสุด
ขนาด
เส้นผ่านศูนย์กลาง 200 มม. × สูง 75 มม.
เส้นผ่านศูนย์กลาง 200 มม. × สูง 80 มม.※ 3
เส้นผ่านศูนย์กลาง 32 มม. × สูง 90 มม.※ 3
ขั้นตอนตัวอย่าง เวทียูเซนตริกขนาดใหญ่
X:125 มม. Y:100 มม. Z:80 มม.
เอียง: -10 ถึง 90° การหมุน: 360°
โหมดภาพ ภาพอิเล็กตรอนทุติยภูมิ ภาพ REF ภาพองค์ประกอบ* 1
ภาพภูมิประเทศ※ 1, ภาพเงา※ 1、ภาพ PD※ 4
ขนาดภาพ 640 × 480 1,280 × 960
2,560 × 1,920 5,120 × 3,840
ฟังก์ชั่นช่วยถ่ายภาพ การตัดต่อ, SEM อย่างง่าย, Zeromag, Live 3D
สนับสนุนการดำเนินงาน
ฟังก์ชัน
สูตร (สูตรมาตรฐาน / สูตรกำหนดเอง)
การวัด (ระยะห่างระหว่าง 2 จุด ระยะห่างระหว่างเส้นคู่ขนาน มุม เส้นผ่านศูนย์กลาง ฯลฯ)
ระบบนำทางสำหรับแลกเปลี่ยนตัวอย่าง
ฟังก์ชันความลึกของสัญญาณ
การวัด 3D※ 5
OS ไมโครซอฟท์® Windows®10 64bit
จอภาพสังเกตการณ์ แผงสัมผัสขนาด 23.8 นิ้ว
ฟังก์ชัน EDS※ 2 อ้างถึงข้อกำหนดของ EDS
การจัดการข้อมูล ห้องแล็บสไมล์วิว™
การสร้างรายงาน
คลิกเดียวรายงาน
ส่งออกไปยัง Microsoft®คำ
ส่งออกไปยัง Microsoft®พาวเวอร์พอยท์※ 6
เปลี่ยนภาษา ญี่ปุ่น อังกฤษ จีน※ 7 (ใช้งานได้บน UI)
ระบบสูญญากาศ อัตโนมัติเต็มรูปแบบ, TMP: 1, RP: 1 หรือ 2※ 1

ตัวเลือกหลัก

  • เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจัดกระจาย (BED)*1

  • เครื่องตรวจจับอิเลคตรอนรอง Hybird สูญญากาศต่ำ (LHSED)

  • เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิต่ำ (LVSED)

  • เอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายพลังงาน (EDS)*2

  • เอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายความยาวคลื่น (WDS)

  • รูปแบบการเลี้ยวเบนกลับของอิเล็กตรอน (EBSD)

  • Load Lock Chamber (ห้องเตรียมอพยพ)

  • ระบบนำทางบนเวที (SNS)

  • ระบบนำทางบนเวที ตัวอย่างขนาดใหญ่ (SNSLS)

  • ขอบเขตห้อง (CS)

  • แผงควบคุมการทำงาน (OP2)

  • ลาบ6ปืนอิเล็กตรอน (LAB6)

  • ซอฟต์แวร์วิเคราะห์ 3 มิติ (SVM)

  • ตาราง (TBL)

ข้อกำหนด EDS

ใช้ได้กับ A (การวิเคราะห์) / LA (สูญญากาศและการวิเคราะห์ต่ำ)
●:มาตรฐาน ○:ตัวเลือก

Standard
ควบคุมพีซี ระบบปฏิบัติการ:Microsoft®Windows®10 64bit※ 8
ภาษา ญี่ปุ่น / อังกฤษ / จีน※ 7
เครื่องตรวจจับ ประเภท SDD เลือกจาก
รายการเครื่องตรวจจับ
การวิเคราะห์สเปกตรัม การวิเคราะห์เชิงคุณภาพ (การระบุจุดสูงสุด การวิเคราะห์เชิงคุณภาพอัตโนมัติ)
ID จุดสูงสุดของภาพ
การวิเคราะห์เชิงปริมาณน้อยกว่ามาตรฐาน (วิธี ZAF)
การวิเคราะห์เชิงปริมาณมาตรฐาน (วิธี ZAF)※ 9
วิธี PHI-RHO-Z (PRZ): วิธีแก้ไขเชิงปริมาณ
QBase (ฐานข้อมูลการวิเคราะห์เชิงคุณภาพ)
การวิเคราะห์เส้น การวิเคราะห์เส้น (ทิศทางคู่ขนานและตามอำเภอใจ)
แผนที่ธาตุ แผนที่ธาตุ (แผนที่ที่มีหลายสี ขาวดำ ซ้อนหลายสี)
ความละเอียดพิกเซลสูงสุด: 4,096 × 3,072
สเปกตรัมป๊อปอัปแบบเรียลไทม์
แผนที่ Deconvolution (แผนที่จำนวนสุทธิ แผนที่เชิงปริมาณ)
แผนที่นับเน็ตตามเวลาจริง
ตัวกรองตามเวลาจริง
แสดงโปรไฟล์สาย
การติดตามโพรบ
การวิเคราะห์การเล่น (แผนที่สเปกตรัมแก้ไขเวลา)
การวิเคราะห์แบบอนุกรม การวิเคราะห์สเปกตรัม การวิเคราะห์เส้น แผนผังองค์ประกอบ
การวิเคราะห์ที่ครอบคลุมของข้อมูลที่วิเคราะห์แล้ว (การวิเคราะห์เชิงคุณภาพและเชิงปริมาณ)
การตัดต่อ การตัดต่ออัตโนมัติ (ภาพ SEM, แผนที่องค์ประกอบ)
การแมปองค์ประกอบแบบอนุกรมสำหรับหลายพื้นที่
ซอฟต์แวร์วิเคราะห์อนุภาค ・การวิเคราะห์อนุภาค (อัตโนมัติ / คู่มือ) & การวิเคราะห์ EDS
 การจำแนกข้อมูลการวิเคราะห์อนุภาค
 การแสดงกราฟของข้อมูลการวิเคราะห์อนุภาคที่ประมวลผลทางสถิติ
 การวิเคราะห์อนุภาคอนุกรมพื้นที่ขนาดใหญ่
・ห้องสมุด GSR (Gun Shot Residue)
・ไลบรารีการวิเคราะห์คุณสมบัติของโลหะ
・ห้องสมุดวิเคราะห์ความสะอาดชิ้นส่วนรถยนต์

 



การสร้างรายงาน ห้องแล็บสไมล์วิว™
ผลลัพธ์เป็น Microsoft®เวิร์ด, ไมโครซอฟต์®ไฟล์ PowerPoint※ 6
บูรณาการ SEM การจัดการข้อมูลการสังเกตและการวิเคราะห์แบบบูรณาการ
การระบุตำแหน่งการวิเคราะห์บนหน้าจอการดำเนินการ SEM (การวิเคราะห์โดยตรงบน UI สำหรับ SEM)
การแสดงตำแหน่งการวิเคราะห์แบบกราฟิก
ฟังก์ชันช่วยเหลือ ช่วยชี้แนะ
เครื่องตรวจจับคู่ วิเคราะห์ด้วยเครื่องตรวจจับสองตัว※ 10
ฟังก์ชั่นออฟไลน์ ซอฟต์แวร์ลิขสิทธิ์สำหรับการวิเคราะห์ข้อมูลออฟไลน์
  • มาตรฐานใน JSM-IT510LV / LA

  • มาตรฐานใน JSM-IT510A / LA

  • จำเป็นต้องมีผู้ถือเสริม

  • จำเป็นต้องมี LHSED (ตัวเลือก)

  • จำเป็นต้องมี SVM (ตัวเลือก)

  • ต้องติดตั้ง Microsoft® Offce

  • ภาษาจีนเป็นตัวเลือก

  • สำหรับ JSM-IT510A / LA ซอฟต์แวร์ EDS ได้รับการติดตั้งบนพีซีเครื่องเดียวกันกับซอฟต์แวร์ควบคุม SEM

  • จำเป็นต้องมีหน่วยชดเชยกระแสไฟของโพรบที่เป็นอุปกรณ์เสริม (ตัวเลือก) การตรวจสอบกระแสโพรบอัตโนมัติจะทำได้เมื่อ EDS เชื่อมต่อกับไมโครสโคป PC เท่านั้น

  • ต้องใช้ตัวตรวจจับ EDS สองตัวที่มีขนาดเซ็นเซอร์แบบแอคทีฟเท่ากัน มีข้อจำกัดสำหรับการเคลื่อนย้ายสเตจขึ้นอยู่กับพอร์ตการติดตั้ง

ข้อมูลจำเพาะอาจมีการเปลี่ยนแปลงโดยไม่ต้องแจ้งให้ทราบล่วงหน้า
Microsoft, Windows, PowerPoint และ Microsoft Office เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Microsoft Corporation ในสหรัฐอเมริกาและประเทศอื่นๆ
Microsoft Word เป็นชื่อผลิตภัณฑ์ของ Microsoft Corporation

ดาวน์โหลดแคตตาล็อก

การใช้งาน

แอปพลิเคชัน JSM-IT510

รูปภาพ

โลหะ

การสังเกตผลึกของเหล็ก

สำหรับวัสดุที่เป็นผลึก เช่น โลหะ สามารถถ่ายภาพคอนทราสต์ (ความคมชัดของแชนเนล) ที่เกิดจากความแตกต่างของการวางแนวคริสตัลได้

ตัวอย่าง: ภาพตัดขวางของเหล็กแรงสูง, แรงดันไฟเร่ง: 5 kV,
 กำลังขยาย: x500, สัญญาณ: BE

CROSS SECTION POLISHER™ (CP) ได้รับการออกแบบสำหรับการผลิตหน้าตัดหรือการกัดผิวงานโดยใช้ลำแสง Ar ion กว้างในการฉายรังสีชิ้นงานทดสอบ
เมื่อเทียบกับการกัดแบบกลไก CP สามารถสร้างหน้าตัดที่ละเอียดได้โดยไม่ผิดเพี้ยน

  • ขายแยกต่างหาก

การสังเกตพื้นผิวแตกหัก

การสังเกตพื้นผิวการแตกหักโดย SEM นั้นใช้กันอย่างแพร่หลายในการศึกษาสาเหตุของความล้มเหลวและการเติบโตของรอยแตก

อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

ต่อต้านการสังเกตรูปแบบ

ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การจัดการคุณภาพของการต้านทานโดย SEM มีความสำคัญมาก
กระบวนการนี้สามารถยืนยันได้โดยการถ่ายภาพส่วนตัดขวางของรูปแบบความต้านทาน นอกจากนี้ยังสามารถวัดความกว้างของเส้นได้อีกด้วย

ภาพตัดขวางของรูปแบบต้านทาน (เอียงไปที่ 35 °)

แรงดันไฟเร่ง: 8 kV, กำลังขยาย: x30,000, สัญญาณ: SE

ลายต้านทานเขียนบนแผ่นเวเฟอร์ศรี

แรงดันไฟเร่ง: 10 kV, กำลังขยาย: x3,000, สัญญาณ: SE

แรงดันไฟเร่ง: 10 kV, กำลังขยาย: x20,000, สัญญาณ: SE

การตรวจสอบแผงวงจรพิมพ์ (PCB)

SEM เป็นเครื่องมือที่มีประสิทธิภาพในการจัดการคุณภาพของ PCB
สภาวะสุญญากาศต่ำทำให้สามารถสังเกต PCB ได้โดยตรงโดยไม่ต้องเตรียมการล่วงหน้า

 
ชิปคอนเดนเซอร์บน PCB

แรงดันไฟเร่ง: 15 kV, กำลังขยาย: x45, สัญญาณ: สัญญาณผสม
(อิเล็กตรอนที่กระเจิงกลับ LV: อิเล็กตรอนทุติยภูมิ LV = 3:7)

ซอฟต์แวร์วิเคราะห์ภาพ* ช่วยให้วัดความกว้างของเส้นได้โดยอัตโนมัติ

  • ตัวเลือก. MultiImageTool (ผลิตโดย SYSTEM IN FRONTIER INC.)

วัสดุอ่อนนุ่ม / โพลีเมอร์

JSM-IT510 ภายใต้สภาวะสุญญากาศต่ำเหมาะสำหรับการสังเกตตัวอย่างที่ไม่นำไฟฟ้าโดยตรง เช่น พอลิเมอร์ที่ดูดซับยิ่งยวดและหน้ากาก

พอลิเมอร์ดูดซับยิ่งยวด

แรงดันไฟเร่ง: 10 kV, กำลังขยาย: x1,000, สัญญาณ: LV SE

หน้ากากไม่ทอ

แรงดันไฟเร่ง: 10 kV, กำลังขยาย: x50, สัญญาณ: LV BE

แรงดันไฟเร่ง: 10 kV, กำลังขยาย: x1,000, สัญญาณ: LV BE

หน้ากากยูรีเทน

แรงดันไฟเร่ง: 10 kV, กำลังขยาย: x50, สัญญาณ: LV BE

สามารถรับภาพ SE และภาพ BE พร้อมกันได้
ภาพ SE ให้ข้อมูลรูปร่าง
ภาพ BE แสดงบริเวณสว่างซึ่งระบุองค์ประกอบของเลขอะตอมที่สูงขึ้นสำหรับบริเวณนี้

ชีววิทยา

รูปร่างปกติของตัวอย่างทางชีวภาพ เช่น เซลล์หรือจุลินทรีย์ สามารถยืนยันได้หลังจากทำทรีตเมนต์ล่วงหน้าด้วยการตรึงทางเคมีหรือวิธีการทำแห้งเยือกแข็งเพื่อรักษารูปร่าง

ข้อมูลเพิ่มเติม

พื้นฐานวิทยาศาสตร์

คำอธิบายง่ายๆ เกี่ยวกับกลไกและ
การใช้งานผลิตภัณฑ์ JEOL

ปิดหน้านี้
แจ้งให้ทราบ

คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?

ไม่

โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป

ติดต่อ

เจอีโอแอล ให้บริการสนับสนุนที่หลากหลายเพื่อให้แน่ใจว่าลูกค้าของเราสามารถใช้ผลิตภัณฑ์ของเราได้อย่างสบายใจ
โปรดติดต่อเรา