EDM Basic (ตัวปรับปริมาณไฟฟ้าสถิต)

คุณสมบัติ

• ความเร็วที่เร็วปานสายฟ้าแลบ:
  ระบบ EDM ใช้เวลาในการเปลี่ยนได้เร็วกว่า 20 ns

• ปรับความเข้มอิสระ:
  ด้วยการเปิดและปิดลำแสงอย่างรวดเร็วด้วยความกว้างพัลส์ที่ปรับได้ EDM ช่วยให้ปรับความเข้มของลำแสงเฉลี่ยได้ง่ายโดยไม่ต้องเปลี่ยนเงื่อนไขของภาพ ลูกบิดเสริมบนเดสก์ท็อปมีส่วนต่อประสานที่ใช้งานง่ายเพื่อปรับปัจจัยการลดขนาดยา

• โครงสร้างขนาดยา:
  ผู้ใช้สามารถควบคุมการส่องสว่างได้โดยใช้ปริมาณแสงเป็นพัลส์โดยมีระยะเวลาแปรผันสั้นเพียง 100 ns และความถี่สูงสุด 500 kHz

• ซอฟต์แวร์ควบคุมที่ทันสมัย:
  EDM ทำงานนอกกรอบในฐานะเครื่องปล่อยลำแสงที่รวดเร็ว มีซอฟต์แวร์ควบคุมสำหรับการลดขนาดยาที่ตั้งโปรแกรมได้ การบันทึก และอื่นๆ

• บูรณาการ:
  EDM ทำหน้าที่เป็นตัวแบ่งลำแสงตัวอย่างล่วงหน้าที่เชื่อถือได้อย่างรวดเร็ว ในขณะที่รองรับระบบ Sub-Framing สัมพัทธภาพร่วม รวมถึงฮาร์ดแวร์ของบุคคลที่สาม

ไฟส่องสว่าง TEM ของลำแสงพัลซิ่ง*

ลำแสงกะพริบ STEM ไฟส่องสว่าง*

ลดทอนปริมาณด้วยการส่องสว่างแบบพัลซิ่งด้วยความถี่ 500 kHz (2 μs) ใน STEM ความละเอียดสูงที่ 300 kV โดยใช้ Si[110] ในสภาวะของเวลาพิกเซลอยู่ที่ 19 μs/พิกเซล (1,024 x 1,024 พิกเซล) โดยการเปลี่ยนสัดส่วนระยะเวลา จาก 90% เป็น 50% ระหว่างการรับภาพ STEM หนึ่งภาพใน 20 วินาที

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

การตัดลำแสงอย่างรวดเร็ว

การลดขนาดยา

ตัวเลือก EDM

รุ่นที่ใช้งานได้: JEM-ARM300F2, JEM-ARM200F (CFEG), NEOARM (CFEG), JEM-F200 (CFEG),JEM-3300,JEM-Z200FSC,JEM-Z200CA

รูปภาพ

◆คลิกปุ่ม "เล่นซ้ำ" ในช่องด้านบน จากนั้นภาพยนตร์จะเริ่ม (2.5 นาที)◆

การถ่ายภาพ DPC แบบแก้ไขเวลาด้วย EDM

เครื่องปรับปริมาณแสงแบบไฟฟ้าสถิต (EDM) ช่วยให้การวัดแบบสโตรโบสโคปเป็นเรื่องง่ายสำหรับ TEM และ STEM ในเอกสารประกอบการใช้งานนี้ การส่องสว่างแบบพัลส์ช่วยเพิ่มความละเอียดของเวลาในการถ่ายภาพแบบดิฟเฟอเรนเชียลเฟสคอนทราสต์ (DPC) โดยใช้เครื่องตรวจจับแบบแบ่งส่วน SAAF Quad ที่มีความเร็วสูงอยู่แล้ว¹. ตัวอย่าง² ติดตั้งอยู่บนชิปในตัวยึดตัวอย่างไบแอสจาก Hummingbird Scientific ในแต่ละพิกเซล STEM เครื่องกำเนิดรูปคลื่นจะเพิ่มแรงดันไบแอสระหว่าง -5 V ถึง +5 V หลังจากเวลาหน่วงที่แปรผัน พัลส์ระดับลอจิกจะถูกส่งไปยังอินพุตของชัตเตอร์ไฟฟ้าสถิตแบบเร็ว เพื่อเปิดลำแสงโพรบเป็นเวลา 2 ไมโครวินาที การรวบรวมข้อมูลสามารถทำได้โดยอัตโนมัติ

โดยการเปลี่ยนแปลงเวลาหน่วงของพัลส์รับแสง ตัวอย่างจะถูกวัดในเวลาที่ต่างกันระหว่างรูปคลื่นไบแอส ภาพ STEM ที่สมบูรณ์จะถูกบันทึกสำหรับแต่ละเวลาหน่วง (แสดงเป็นจุดในแผนภาพเวลาทางด้านซ้าย) แม้ว่าภาพ STEM แต่ละภาพจะใช้เวลาบันทึกมากกว่า 10 วินาที แต่ความละเอียดของเวลาในการวัดจะถูกกำหนดโดยพัลส์รับแสง 2 ไมโครวินาที การกระตุ้นตัวอย่างสามารถทำได้โดยใช้อุปกรณ์จับยึดแบบ in-situ, IDES Luminary^TM ไมโครหรือระบบอื่น ๆ ที่สร้างไดนามิกที่ทำซ้ำได้ในตัวอย่าง

ภาพที่เลือกจากการวัด tr-DPC ของตัวเก็บประจุ SiC MOS สนามไฟฟ้าในตัวอย่างจะถูกสังเกตโดยการเบี่ยงเบนของลำแสงที่ตำแหน่งโพรบแต่ละตำแหน่ง ความเข้มในแถวบนของภาพแสดงขนาดของการเบี่ยงเบนนี้ และสีแสดงทิศทาง ความแตกต่างของค่าเหล่านี้บ่งชี้ความหนาแน่นของประจุและคำนวณโดยอัตโนมัติโดยซอฟต์แวร์รับข้อมูล (แถวล่างของภาพ) สนามไฟฟ้าจะรวมตัวที่ส่วนต่อประสานออกไซด์ระหว่าง SiC (ซ้าย) และ Al (ขวา) ที่ t = 15 μs ไบอัสจะข้ามศูนย์โวลต์และสนามไฟฟ้าจะเปลี่ยนขั้ว

1. เงื่อนไขการวัด: เครื่องมือ JEM-F200, แรงดันไฟฟ้าเร่ง 200 กิโลโวลต์, โหมด STEM Lorenz, เวลาหน่วง 50 ไมโครวินาที, จำนวนพิกเซล 512 × 512 แผนภาพการตั้งค่าการทดลองถูกทำให้เข้าใจง่ายยิ่งขึ้น สำหรับข้อมูลการกำหนดค่าโดยละเอียด โปรดติดต่อสำนักงานขาย JEOL ในพื้นที่ของคุณ

2. ตัวอย่างเป็นตัวเก็บประจุ MOS ที่ทำจาก Al, SiO₂และ SiC ชนิด n ความหนา 200 นาโนเมตร จัดทำโดยบริษัท Fuji Electric Co. Ltd.

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

Luminary Ultrafast TEM / ไดนามิก TEM

ระบบกระตุ้นด้วยแสงของชิ้นงาน Luminary Micro Compact

ทฤษฎีสัมพัทธภาพระบบซับเฟรมไฟฟ้าสถิต

STEM ที่ตั้งโปรแกรมได้พร้อม EDM Synchrony

ควบคุมปริมาณทุกพิกเซล

Electrostatic Dose Modulator (EDM) คือระบบปิดลำแสงแบบเร็วพร้อมตัวเบี่ยงไฟฟ้าสถิตล่วงหน้าตัวอย่าง รวมถึงระบบควบคุมอิเล็กทรอนิกส์และซอฟต์แวร์ นอกจากนี้ EDM ยังสามารถลดการส่องสว่างของอิเล็กตรอนได้โดยไม่ส่งผลต่อสภาวะการถ่ายภาพ ทำให้ผู้ใช้ TEM และ STEM สามารถควบคุมปริมาณรังสีในตัวอย่างได้มากขึ้น

ตัวเลือก การอัพเกรดแบบซิงโครนัส ยกระดับความสามารถในการจับเวลาและการซิงโครไนซ์ของ EDM ไปอีกระดับ การซิงโครไนซ์สามารถประสานงานกับตัวควบคุม STEM เพื่อติดตามตำแหน่งของลำแสงโพรบขณะที่สแกนทั่วทั้งตัวอย่าง การทำให้ว่างเปล่าด้วยไฟฟ้าสถิตที่รวดเร็วของ EDM จะเปิดลำแสงตามเวลาที่กำหนดในแต่ละพิกเซล หรือทำให้ลำแสงว่างเปล่าเพื่อแยกบริเวณที่ละเอียดอ่อนออกจากโดสทั้งหมด

ข้อมูลเพิ่มเติม