IB-09020CP อุปกรณ์เตรียมตัวอย่างแบบตัดขวาง

นอกจากฟังก์ชั่นของ IB-09010CP แล้ว ยังสามารถติดตามความคืบหน้าของการประมวลผลได้แบบเรียลไทม์โดยใช้กล้อง CCD ที่แนบมาด้วย

คุณสมบัติ

ติดตั้งกล้องมอนิเตอร์ (x20 ถึง x100) ซึ่งช่วยให้สามารถติดตามความคืบหน้าในการประมวลผลได้
รวมฟังก์ชันเพื่อเริ่มการประมวลผลโดยอัตโนมัติโดยไม่ต้องรอ ด้วยวิธีนี้ กระบวนการสามารถเริ่มต้นที่อัตราสุญญากาศที่เหมาะสมที่สุด
มีแหล่งจ่ายไฟเสริม 8kV ให้ความเร็วในการประมวลผลสูงถึง 300μm/h (บนพื้นฐานการแปลงพื้นผิวซิลิกอน ปริมาณ excrescence : 100μm, เฉลี่ย 2 ชั่วโมง)
ใช้งานง่ายด้วยแผงสัมผัส

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

แรงดันไฟฟ้าเร่งไอออน	2 ถึง 6kV
เส้นผ่านศูนย์กลางของลำแสงไอออน	500μm (ความกว้างสูงสุดครึ่งเดียว)
ความเร็วในการกัด	100 ม./ชม. (ค่าเฉลี่ยมากกว่า 2 ชั่วโมง, ที่แรงดันไฟฟ้าเร่ง: 6 kV, ชิ้นงานทดสอบ: Si, 100 ม. จากขอบ)
ขนาดตัวอย่างสูงสุด	11 มม. (กว้าง) × 10 มม. (ยาว) × 2 มม. (หนา)
ช่วงการเคลื่อนที่ของชิ้นงาน	แกน X:±10 มม., แกน Y:±3 มม
การหมุนชิ้นงาน ช่วงการปรับมุม	± 5 °
มุมแกว่งขัดชิ้นงาน	±30 (จดสิทธิบัตรแล้ว)
การดำเนินการ	จอสัมผัส
ก๊าซ	อาร์กอน (อัตราการไหลควบคุมโดยตัวควบคุมการไหลของมวล)
การวัดความดัน	Penning มาตรวัด
ปั๊มสุญญากาศหลัก	ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ
ขนาดและน้ำหนัก	หน่วยพื้นฐาน: 380 มม. (ก) × 570 มม. (ล) × 520 มม. (ส), 66 กก. ปั๊มโรตารี่: 150มม.(ก)×427มม.(ล)×230.5มม.(ส), 16กก.
ไฟล์แนบเสริม	แหล่งจ่ายไฟ 8 กิโลโวลต์ ตัวจับยึดชิ้นงานทดสอบ(SM-09011) กล้อง CCD ตำแหน่งสูง (IB-83910CCD) ที่วางตัวอย่างขนาดใหญ่

ความต้องการติดตั้ง

พลัง	เฟสเดียว 100 ถึง 120 V ±10% AC, 50/60 Hz, 0.5 ถึง 0.6 kVA
ขั้วต่อสายดิน	100Ωหรือน้อยกว่า
ก๊าซอาร์กอน	ความดัน: 0.15 ±0.05 MPa (1.0 ถึง 2.0 กก./ซม2) ความบริสุทธิ์: 99.9999% หรือมากกว่า (ลูกค้าควรเตรียมแก๊สอาร์กอน ถังแก๊ส และเรกูเลเตอร์) ข้อต่อท่อ: JIS B0203, Rc 1/4
อุณหภูมิห้อง	15 ถึง 25 ℃
ความชื้น	60% หรือน้อยกว่า