IB-09010CP เครื่องขัดเงาแบบตัดขวาง

อุปกรณ์มาตรฐานสำหรับการเตรียมหน้าตัดโดยใช้ลำแสงไอออน ซึ่งเหมาะที่สุดสำหรับการสังเกต SEM และการวิเคราะห์การวางแนวของผลึก

คุณสมบัติ

IB-09010CP สามารถผลิตชิ้นงานตัดขวางดั้งเดิมของชิ้นงานที่ยากต่อการจัดการโดยใช้วิธีการเจียรเชิงกล อุปกรณ์นี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเตรียมส่วนตัดขวางของวัสดุที่ซับซ้อนซึ่งผสมสารแข็งและสารอ่อนเข้าด้วยกัน
IB-09010CP เป็นอุปกรณ์ไอออนมิลลิ่งเพื่อดำเนินการตัดขวาง
มีฟังก์ชันที่จะเริ่มการประมวลผลโดยอัตโนมัติโดยไม่ต้องเสียเวลารอ ด้วยวิธีนี้ กระบวนการสามารถเริ่มต้นที่อัตราสุญญากาศที่เหมาะสมที่สุด
มีแหล่งจ่ายไฟเสริม 8kV ซึ่งให้ความเร็วในการประมวลผลสูงที่ 300μm/h (บนพื้นฐานการแปลงพื้นผิวซิลิกอน ปริมาณ excrescence : 100μm, เฉลี่ย 2 ชั่วโมง)
ใช้งานง่ายด้วยแผงสัมผัส

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

แรงดันไฟฟ้าเร่งไอออน	2 ถึง 6kV (8kV:ตัวเลือก)
เส้นผ่านศูนย์กลางของลำแสงไอออน	500μmขึ้นไป (เต็มความกว้างสูงสุดครึ่งหนึ่ง)
ความเร็วในการกัด	100μm/h(เฉลี่ย 2 ชม., แรงดันเร่ง: 6 kV, ค่าเทียบเท่า Si, 100 µm หรือน้อยกว่าจากขอบ)
ขนาดตัวอย่างสูงสุด	11 มม. (กว้าง) 10 มม. (ยาว) 2 มม. (หนา) 20 มม. (W) × 10 มม. (L) × 5 มม. (T): ตัวเลือก
ช่วงการเคลื่อนที่ของชิ้นงาน	แกน X 10 มม. แกน Y 3 มม
ช่วงการปรับมุมการหมุนของชิ้นงานทดสอบ	± 5 °
มุมสวิงของการกัดชิ้นงานทดสอบ	±30°(จดสิทธิบัตรแล้ว)
การดำเนินการ	จอสัมผัส
ก๊าซ	อาร์กอน (อัตราการไหลควบคุมโดยตัวควบคุมการไหลของมวล)
การวัดความดัน	Penning มาตรวัด
ปั๊มสุญญากาศหลัก	ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ
ปั๊มสำรอง	ปั๊มโรตารี่
ขนาดและมวล	หน่วยพื้นฐาน: 545 มม. (ก) × 550 มม. (ล) × 420 มม. (ส), 64 กก. ปั๊มโรตารี่: 150 มม.(ก)×427 มม.(ล)×230 มม.(ส), 16 กก.
ไฟล์แนบเสริม	หน่วยเร่งแรงดันไฟฟ้า 8 kV ตัวยึดการหมุนของชิ้นงาน กล้อง CCD ที่มีความแม่นยำในการระบุตำแหน่งสูง ที่วางตัวอย่างขนาดใหญ่

ความต้องการติดตั้ง

พลัง	ไฟฟ้ากระแสสลับเฟสเดียว 100 ถึง 120 V 10%, 50/60 Hz, 0.5 ถึง 0.6 kVA
Grounding	100 โอห์มหรือน้อยกว่า
ก๊าซอาร์กอน	ความดัน: 0.15±0.05 MPa (1.0 ถึง 2.0 กก./ซม2) ความบริสุทธิ์: 99.9999% หรือมากกว่า (ลูกค้าควรเตรียมแก๊สอาร์กอน ถังแก๊ส และเรกูเลเตอร์) ข้อต่อท่อ JIS B0203, Rc 1/8
อุณหภูมิห้อง	15 ถึง 25 ℃
ความชื้น	60% หรือน้อยกว่า