ยกเลิกการสแกน

ยกเลิกการสแกน หมายถึงการนำลำแสงอิเล็กตรอนที่เบี่ยงเบนจากแกนแสงกลับไปที่แกนแสงโดยใช้ขดลวดเบี่ยงสองขั้นตอน การโก่งตัวที่เกิดจากตำแหน่งการส่องสว่างหรือมุมการส่องสว่างของลำแสงอิเล็กตรอนตกกระทบบนชิ้นงานทดสอบ การยกเลิกการสแกนถูกนำไปใช้กับสองกรณีต่อไปนี้เป็นหลัก

1) เมื่อลำแสงอิเล็กตรอนตกกระทบถูกสแกนบนพื้นที่กว้างของชิ้นงานทดสอบ ลำแสงอิเล็กตรอนสามารถหลุดออกจากแกนแสงที่ส่วนต่อพ่วงของพื้นที่ที่สแกนได้ จากนั้นตำแหน่งตกกระทบหรือมุมตกกระทบของลำแสงอิเล็กตรอนไปยังตัวตรวจจับ STEM หรือ EELS ที่จุดศูนย์กลางถูกปรับไปที่แกนลำแสงจะเบี่ยงเบนไปจากแกน
ในกรณีของ STEM หากลำอิเล็กตรอนผ่านจุดสแกนของชิ้นงานทดสอบเบี่ยงเบนไปจากตัวตรวจจับ STEM ความเข้มของภาพ STEM จะแปรผันเมื่อเทียบกับความเข้มที่ถูกต้องซึ่งควรตรวจจับ
ในกรณีของ EELS; ถ้าลำอิเล็กตรอนที่ผ่านจุดสแกนของชิ้นงานทดสอบไม่ทำงานบนศูนย์กลางของเครื่องตรวจจับ EELS หรือวิ่งเฉียงไปยังแกนลำแสงของเครื่องตรวจจับ ค่าพลังงานของสเปกตรัม EELS จะไม่สามารถวัดได้อย่างถูกต้อง
เพื่อหลีกเลี่ยงตำแหน่งหรือมุมลำแสงอิเล็กตรอนที่ไม่พึงประสงค์ดังกล่าวไปยังเครื่องตรวจจับ STEM หรือ EELS ขดลวดเบนเบนแบบสองขั้นตอนในระบบเลนส์สร้างภาพจะทำงานพร้อมกันกับการสแกนลำแสงเพื่อนำลำแสงอิเล็กตรอนกลับมาที่กึ่งกลางของเลนส์เสมอ เครื่องตรวจจับและ/หรือขนานกับแกนแสง
 
2) ในกรณีของการเลี้ยวเบนของอิเล็กตรอนแบบพรีเซสชั่น เพื่อนำลำแสงอิเล็กตรอนตกกระทบไปยังจุดหนึ่งบนชิ้นงานทดสอบ จะใช้คอยล์เบนเบนแบบสองขั้นตอนในระบบเลนส์ส่องสว่าง ขดลวดเบี่ยงแรกเอียงลำแสงอิเล็กตรอนตกกระทบไปที่มุมหนึ่ง (สูงสุดประมาณ 5 °) จากนั้นขดลวดเบี่ยงที่สองจะชดเชยการกระจัดของลำแสงอิเล็กตรอนตกกระทบที่เอียงจากแกนแสง จากนั้นลำแสงอิเล็กตรอนที่ผ่านชิ้นงานทดสอบจะเอียงไปทางแกนแสง ขดลวดแปรสภาพแบบสองขั้นตอนในระบบเลนส์สร้างภาพใช้เพื่อนำลำแสงอิเล็กตรอนกลับมาทำงานบนแกนออปติคัล รูปแบบการเลี้ยวเบนแบบ precession ได้มาจากการทำงานดังกล่าวของคอยล์ตัวแปรสภาพแบบสองขั้นตอน  

คำที่เกี่ยวข้อง