Penning (สูญญากาศ) เกจ

เกจไอออไนเซชันแบบแคโทดเย็น ในเกจ Penning (สุญญากาศ) อิเล็กโทรดรูปวงแหวน (แอโนด) จะถูกวางไว้ระหว่างอิเล็กโทรดแบบแผ่นคู่ขนาน (แคโทด) และสนามแม่เหล็กจะถูกใช้ขนานกับแกนของอิเล็กโทรดเพื่อเพิ่มระยะการเดินทางของอิเล็กตรอน ส่งผลให้มีการระบายออกอย่างต่อเนื่องแม้ที่ความดันต่ำ ดังนั้น Penning gauge จึงสามารถวัดความดันของบริเวณสุญญากาศระดับกลางถึงสูงหรือ 1 ถึง 10^-4ป่า กระแสไฟฟ้าที่ผลิตได้เป็นสัดส่วนกับความดันของสุญญากาศ สำหรับ TEM เกจจะใช้สำหรับเปลี่ยนระบบการอพยพจากปั๊มแพร่ (DP) ไปเป็นการปั๊มไอออนแบบสปัตเตอร์ (SIP) เนื่องจากเกจมีความทนทานและใช้งานง่าย

คำที่เกี่ยวข้อง