กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบแรงดันสูงพิเศษ UHV-EM

"กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแรงดันสูงพิเศษ (UHV-EM)" เป็นกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนที่เร่งอิเล็กตรอนด้วยไฟฟ้าแรงสูง 1000 กิโลโวลต์ขึ้นไป ความยาวคลื่นของอิเล็กตรอนที่ 1000 kV จะสั้นลงเหลือ 0.00087 นาโนเมตร การใช้ความยาวคลื่นสั้นทำให้ได้ความละเอียดประมาณ 0.1 นาโนเมตร และสังเกตองค์ประกอบที่เบา เช่น คาร์บอนได้อย่างชัดเจน อย่างไรก็ตาม การถ่ายภาพความละเอียดสูงล่าสุดสามารถทำได้ด้วยกล้องจุลทรรศน์ขนาด 300 kV ซึ่งติดตั้งตัวแก้ไขความคลาดเคลื่อนทรงกลม ข้อได้เปรียบของ UHV-EM คือความสามารถในการสังเกตชิ้นงานที่มีความหนาโดยใช้กำลังส่งสูง การตรวจสอบความเสียหายจากการแผ่รังสีของชิ้นงานโดยใช้ลำแสงอิเล็กตรอนพลังงานสูง และการตรวจสอบปฏิกิริยาเคมีในสภาวะควบคุมโดยใช้พื้นที่ที่เพียงพอของห้องเก็บตัวอย่าง


กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบแรงดันสูงพิเศษ (UHV-EM) เป็นกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนที่เร่งอิเล็กตรอนที่ตกกระทบด้วยไฟฟ้าแรงสูง 1000 kV หรือสูงกว่า ความยาวคลื่นของอิเล็กตรอนที่ 1000 kV จะสั้นลงเหลือ 0.00087 นาโนเมตร การใช้ความยาวคลื่นสั้นทำให้ได้ความละเอียดเชิงพื้นที่ของภาพจากกล้องจุลทรรศน์ประมาณ 0.1 นาโนเมตร ข้อดีอื่นๆ ของ UHV-EM ได้แก่ การสังเกตชิ้นงานหนาโดยใช้กำลังส่งสูง การตรวจสอบความเสียหายจากการแผ่รังสีของชิ้นงานโดยใช้ลำแสงอิเล็กตรอนพลังงานสูง และการศึกษาปฏิกิริยาเคมีภายใต้สภาพแวดล้อมที่มีการควบคุมโดยใช้พื้นที่ขนาดใหญ่ของห้องเก็บตัวอย่าง
 

คำที่เกี่ยวข้อง