การเลี้ยวเบนของพื้นที่ที่เลือก, SAD | อภิธานศัพท์

วิธีการวิเคราะห์เชิงคุณภาพของโครงสร้างผลึกจากรูปแบบการเลี้ยวเบนแบบจุด ซึ่งได้มาจากการส่องสว่างของลำแสงอิเล็กตรอนคู่ขนานบนชิ้นงานทดสอบ เมื่อใส่ตัวเลือก (พื้นที่ที่เลือก) รูรับแสงลงในระนาบภาพของเลนส์ใกล้วัตถุ จะได้รูปแบบการเลี้ยวเบนจากพื้นที่ตัวอย่างที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางหลาย 100 นาโนเมตร วิธีการนี้ช่วยให้เราสามารถกำหนดพารามิเตอร์ของแลตทิซ ประเภทแลตทิซ และการวางแนวผลึกศาสตร์ของพื้นที่ที่เลือกได้

制限視野回折：พื้นที่ที่เลือก

ภาพรวมของแผนภาพรังสีออปติคัลมาตรฐานของระบบเลนส์ถ่ายภาพซึ่งประกอบด้วยเลนส์ใกล้วัตถุ (OL) และระบบเลนส์ถ่ายภาพสี่ขั้นตอน (เลนส์ระยะกลาง (IL1, IL2, IL3) และเลนส์โปรเจคเตอร์ (PL))

(a) โหมดการสังเกตภาพ ซึ่งภาพขยายของชิ้นงานจะถูกสังเกตบนหน้าจอโดยการโฟกัสเลนส์สร้างภาพไปที่ภาพที่เกิดจากเลนส์ใกล้วัตถุ
ในโหมดนี้ ช่องรับแสงแบบเลือกพื้นที่ (SA) จะถูกแทรกเข้าไปในระนาบภาพของเลนส์ใกล้วัตถุเพื่อให้เลือกพื้นที่การสังเกต (ขอบเขตการมองเห็น)

(b) โหมดการสังเกตรูปแบบการเลี้ยวเบน ซึ่งรูปแบบการเลี้ยวเบนของชิ้นงานถูกสังเกตบนหน้าจอโดยการโฟกัสเลนส์ถ่ายภาพไปที่ระนาบโฟกัสด้านหลังของเลนส์ใกล้วัตถุ เมื่อเปลี่ยนจากโหมดถ่ายภาพเป็นโหมดเลี้ยวเบน จะได้รูปแบบการเลี้ยวเบนจากพื้นที่ที่เลือกในขั้นตอน (a) เท่านั้น