ความคมชัดของการเลี้ยวเบน

อิเล็กตรอนที่กระจัดกระจายในตัวอย่างที่เป็นผลึกจะไม่กระจายอย่างต่อเนื่องด้วยมุมกระเจิง แต่จะกระจายอย่างไม่ต่อเนื่องในรูปของคลื่นที่เลี้ยวเบน ความเปรียบต่างของการเลี้ยวเบนหมายถึงการเปลี่ยนแปลงความเข้มของภาพในกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนที่เกิดขึ้นเมื่อสภาพการเลี้ยวเบนเปลี่ยนไปตามพื้นที่ของชิ้นงาน ในภาพพื้นที่สว่าง (เกิดจากคลื่นที่ส่ง) พื้นที่ที่เกิดการเลี้ยวเบนจะสูญเสียความเข้มของภาพ จึงทำให้มืดลง ในภาพฟิลด์มืด (เกิดจากคลื่นที่เลี้ยวเบน) พื้นที่ที่เกี่ยวข้องจะเพิ่มความเข้มของภาพ จึงสว่างขึ้น


ภาพ TEM และรูปแบบการเลี้ยวเบนของโพลีคริสตัลไลน์ Si (การเชื่อมต่อระหว่างสารกึ่งตัวนำ) ถ่ายที่แรงดันเร่ง 200 kV

(a) ภาพ TEM ฟิลด์สว่าง ชิ้นงานประกอบด้วยอนุภาคผลึกจำนวนมากที่มีขนาดไม่กี่ 10 นาโนเมตรถึงไม่กี่ 100 นาโนเมตร ซึ่งแสดงการวางแนวของผลึกที่แตกต่างกัน ในอนุภาคผลึกที่ระบุโดยเครื่องหมายอนุญาตสีแดงและลูกศรสีเขียว คลื่นที่เลี้ยวเบนจะถูกสกัดกั้นโดยรูรับแสงเป้าหมาย เป็นผลให้อนุภาคถูกสังเกตด้วยคอนทราสต์ที่มืด

(b) ภาพ Dark-field TEM ที่ถ่ายจากพื้นที่เดียวกันใน (a) รูรับแสงวัตถุประสงค์ถูกใส่เข้าไปเพื่อให้ได้คลื่นที่เลี้ยวเบนจากอนุภาคผลึกที่ระบุโดยลูกศรสีเขียวใน (a) เป็นผลให้อนุภาคถูกสังเกตด้วยความเปรียบต่างที่สดใส

(c) รูปแบบการเลี้ยวเบน เนื่องจากชิ้นงานเป็นโพลีคริสตัลไลน์ จึงสังเกตเห็นวงแหวน Debye-Scherrer วงกลมสีเขียวล้อมรอบคลื่นที่เลี้ยวเบนจากอนุภาคผลึกที่ระบุโดยลูกศรสีเขียวใน (a) และ (b)
 

คำที่เกี่ยวข้อง