บรรลุความละเอียดระดับสูงสุดของโลกด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนเชิงวิเคราะห์ความละเอียดระดับอะตอมที่พัฒนาขึ้นใหม่

EM2020-09E

คุณสมบัติที่โดดเด่นของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนเชิงวิเคราะห์ความละเอียดอะตอม (GRAND ARM™2) ใหม่คือ "ความเสถียร" ซึ่งเกิดขึ้นได้จากการพัฒนาโครงสร้างคอลัมน์ของกล้องจุลทรรศน์ ปืนอิเล็กตรอนน้ำหนักเบา การจ่ายกระแสไฟของเลนส์ที่ปรับปรุงความเสถียร และอื่นๆ ความเสถียรสูงสุดให้ความละเอียดสูงสุด คุณสมบัติที่สำคัญอีกประการหนึ่งคือ "ความไวในการวิเคราะห์สูงในขณะที่ความละเอียดของอะตอม" ซึ่งเกิดขึ้นจากเลนส์ใกล้วัตถุที่ปรับรูปทรงใหม่ "FHP2" การรวมกันของเลนส์ใหม่นี้และ JEOL ที่พัฒนาตัวรวบรวมความคลาดเคลื่อนของ ETA ทำให้ขอบเขตเฟสแบนที่กว้างขึ้นใน STEM Ronchigram กว่าเครื่องรุ่นก่อนๆ ดังนั้น กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนเชิงวิเคราะห์ความละเอียดอะตอมใหม่จึงมีความละเอียดระดับสูงสุดพร้อมความเสถียรที่ดีขึ้นและความไวในการวิเคราะห์สูง

บรรลุความละเอียด STEM-ADF 40.5 pm

รูปที่ 1 (a) และ (c) แสดงภาพ STEM-HAADF ของคริสตัล GaN ที่ฉายไปตามทิศทาง [212] (a) ได้มาในการสแกนเฟรมเดียว และ (c) ได้มาจากการรวม 20 เฟรม (b) และ (d) คือรูปแบบ FFT สำหรับภาพ STEM-HAADF เหล่านั้น ในรูปที่ 1(a) ซึ่งได้มาในเฟรมเดียว ดัมเบลล์ซึ่งแสดงระยะห่างระหว่างอะตอมของ Ga-Ga ที่ 40.5 น. ได้รับการแก้ไขแล้ว นอกจากนี้ ในรูปแบบ FFT (รูปที่ 1(b)) ให้แสดงจุดที่ตรงกับเวลา 39.3 น. และอีกจุดที่ตรงกับ 40.5 น. ในภาพ STEM-HAADF ที่ได้จากการรวม 20 เฟรมในรูปที่ 1 (c) แสดงระยะห่างของดัมเบลล์ Ga-Ga ให้ชัดเจนยิ่งขึ้น และรูปแบบ FFT ที่แสดงในรูปที่ 2 (d) แสดงจุดที่เวลา 36.1 น. ซึ่งอยู่ไกลจากที่ได้ในรูปที่ 1 (b) ผลลัพธ์เหล่านี้แสดงให้เห็นว่ากล้องจุลทรรศน์นี้ให้ความละเอียดสูงสุดอย่างแน่นอน

รูปที่ 1 (a) ภาพ STEM-HAADF ของ GaN [212] ที่ได้จากการซื้อเฟรมเดียว (b) รูปแบบ FFT ของภาพที่แสดงใน (a) (c) ภาพ STEM-HAADF ที่ได้จากการรวมเฟรม 20 เฟรม (d) รูปแบบ FFT ของภาพที่แสดงใน (c)

รูปที่ 1 (a) ภาพ STEM-HAADF ของ GaN [212] ที่ได้จากการซื้อเฟรมเดียว (b) รูปแบบ FFT ของภาพที่แสดงใน (ก) (c) ภาพ STEM-HAADF ที่ได้จากการรวมเฟรม 20 เฟรม (d) รูปแบบ FFT ของภาพที่แสดงใน (c)