กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด A ถึง Z | หมายเหตุการใช้งาน

ความรู้พื้นฐานสำหรับการใช้ SEM

ตั้งแต่กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEM) เริ่มจำหน่ายครั้งแรกเมื่อประมาณ 40 ปีที่แล้ว SEM ได้แสดงให้เห็นถึงความก้าวหน้าที่โดดเด่น ขณะนี้มีการใช้ SEM หลายประเภท และประสิทธิภาพและฟังก์ชันแตกต่างกันมาก ในการใช้ประโยชน์จาก SEM ที่แตกต่างกันเหล่านี้ จำเป็นอย่างยิ่งที่จะต้องรู้จักคุณลักษณะของ SEM ตลอดจนเข้าใจสาเหตุของความเปรียบต่างของภาพ SEM ดังนั้น เอกสารนี้จึงมุ่งเป้าไปที่การช่วยให้ผู้ใช้ SEM และผู้ใช้ SEM ในอนาคตเข้าใจพื้นฐานของ SEM รวมถึงหลักการของเครื่องมือ การเตรียมชิ้นงานทดสอบ และการวิเคราะห์องค์ประกอบ