การตัดขวางอาร์กอนบีม

การตรวจสอบภาคตัดขวางของวัสดุมักจะให้ข้อมูลที่จำเป็นเกี่ยวกับโครงสร้างผลึก ความหนาของชั้นหรือฟิล์ม การมีอยู่ของช่องว่างหรือรอยแตก และคุณสมบัติอื่นๆ ที่อาจส่งผลต่อประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือ มีวิธีทางกลหลายวิธีในการเตรียมภาพตัดขวางของชิ้นงานสำหรับการสังเกตด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEM) โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการเตรียมตัวอย่างทางโลหะวิทยา อย่างไรก็ตาม การขัดเชิงกลนั้นมีปัญหาหลายประการ