Hyperspectral Mappig-Combining Cathodoluminescence และ X-ray Collection ในไมโครโพรบอิเล็กตรอน

นามธรรม สเปกโตรมิเตอร์แบบออพติคัลได้รับการรวมเข้ากับไมโครโพรบอิเล็กตรอน JEOL 8900R ซึ่งช่วยให้สามารถรวบรวมสัญญาณแสง เอ็กซ์เรย์ และอิเล็กตรอนได้พร้อมกัน สัญญาณแคโทโดลูมิเนสเซนซ์ถูกรวบรวมจากช่องมองภาพข้างเดียว ซึ่งรวมเข้ากับออปติกอิเล็กตรอนของไมโครโพรบอิเล็กตรอน การได้มาทางแสงจะซิงโครไนซ์กับการเคลื่อนไหวบนเวที เส้นรังสีเอกซ์ขององค์ประกอบหลักถูกรวบรวมโดยใช้สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายพลังงาน เส้นรังสีเอกซ์ขององค์ประกอบรองถูกรวบรวมโดยใช้สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายความยาวคลื่น และสัญญาณอิเล็กตรอนทุติยภูมิและกระจายกลับจะถูกรวบรวมโดยใช้เครื่องตรวจจับมาตรฐาน ในโหมดการทำแผนที่ของการทำงาน สัญญาณต่างๆ จะถูกรวบรวมที่แต่ละพิกเซลโดยมีขนาดแผนที่โดยทั่วไปตั้งแต่ 1 ล้านถึง 10 ล้านพิกเซล ข้อมูลนี้แสดงถึงข้อมูลจำนวนมากที่สามารถระบุความสัมพันธ์และความสัมพันธ์ที่สำคัญในแผนที่ได้ การสรุปจำนวนช่องสัญญาณจำนวนน้อยและการตรวจสอบเฉพาะส่วนย่อยของช่วงความยาวคลื่นทั้งหมดเป็นกลยุทธ์ที่พัฒนาขึ้นเพื่อลดขนาดของข้อมูลที่จัดการ การประยุกต์ใช้เทคนิคการทำแผนที่นี้แสดงให้เห็นด้วยสองตัวอย่าง เพทายและอิฐทนไฟ เพทายที่มีระดับเมทามิกเซชันหลายระดับมีลักษณะเฉพาะ และการรวมเข้าด้วยกันทำให้เห็นความแตกต่างโดยใช้การรวมกันของแคโทโดลูมิเนสเซนซ์และแผนที่เอ็กซ์เรย์ การตรวจสอบอิฐทนไฟเผยให้เห็นการเปลี่ยนแปลงทางเคมีเล็กน้อยในเม็ดสปิเนล จุลทรรศน์ ความละเอียด เทคโนโลยี 67; 271-277,2005