การวิเคราะห์ STEM ความละเอียดสูงพิเศษของสารประกอบเชิงซ้อน

JEOLnews เล่มที่ 45 ฉบับที่ 1 ปี 2010 Eiji Abe†, Daisuke Egusa, Ryo Ishikawa และ Takehito Seki
ภาควิชาวัสดุศาสตร์ & วิศวกรรม มหาวิทยาลัยโตเกียว

การแก้ไขความคลาดเคลื่อนของเลนส์ใกล้วัตถุประสบความสำเร็จในการรวมลำแสงอิเล็กตรอนเป็นมาตราส่วนย่อย Å และตอนนี้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดแบบส่องกราด (STEM) ให้ความละเอียดเชิงพื้นที่ที่ดีขึ้นอย่างน่าทึ่งทั้งสำหรับการถ่ายภาพและสเปกโทรสโกปี ที่นี่เราแสดงให้เห็นถึงการใช้ STEM ที่มีความละเอียดสูงเป็นพิเศษอย่างมีประสิทธิภาพสำหรับการวิเคราะห์สารประกอบที่ซับซ้อน รวมถึงโครงสร้างควอซิกคริสตัลไลน์แบบมอดูเลตแบบคาบยาวและแบบไม่มีคาบ