JEM-2100: การใช้งานในนาโนเทคโนโลยี

บทความนี้สรุปประสบการณ์สองปีในการใช้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนความละเอียดสูง JEOL JEM-2100 (LaB6) สำหรับการจำแนกลักษณะโครงสร้างของวัสดุนาโน เครื่องมือถูกรวมเข้ากับอุปกรณ์สแกนซึ่งประกอบด้วยเครื่องตรวจจับ ADF และ BF และระบบ EDS สำหรับการวิเคราะห์องค์ประกอบ แม้ว่ากล้องจุลทรรศน์จะติดตั้งในห้องเล็กๆ ที่ไม่มีชั้นใต้ดินพิเศษ มีเครื่องปรับอากาศมาตรฐาน และไม่มีข้อควรระวังพิเศษใดๆ เพื่อหลีกเลี่ยงการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิอากาศหรือเพื่อลดการรบกวนของเสียงและการสั่นสะเทือน กล้องจุลทรรศน์ได้จัดเตรียมไว้ ประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมตลอดเวลา ในโหมด HRTEM เป็นไปได้ที่จะบรรลุความละเอียดของตาข่ายที่ 1.17 ﾃ; ความสามารถในการแก้ปัญหาของเครื่องมือที่ STEM มีอยู่ประมาณ 10 นาโนเมตร ความสามารถของระบบแสดงให้เห็นในตัวอย่างบางส่วนของการใช้งานวิจัยวัสดุนาโน