การวิเคราะห์สถานะทางเคมีโดยใช้ AES

อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์บางตัวมีโครงสร้างที่ฟิล์มโลหะบาง เช่น Ti และ Pt ได้รับการพัฒนาบน SiO2 บนวัสดุพิมพ์ Si ส่วนต่อประสานของฟิล์มโลหะเหล่านี้มักจะเกิดปฏิกิริยาทางเคมีภายใต้เงื่อนไขบางประการ ซึ่งไม่สามารถเกิดขึ้นได้ตามที่ตั้งใจไว้แต่แรก การวิเคราะห์ด้วยสว่านความละเอียดพลังงานสูงใช้กันอย่างแพร่หลายเพื่อศึกษาสถานะทางเคมีของส่วนต่อประสานดังกล่าว