สว่านไมโครโพรบ JAMP-9500F

ไมโครโพรบของสว่านคือระบบวิเคราะห์พื้นผิวที่ออกแบบมาเพื่อกำหนดองค์ประกอบองค์ประกอบและสถานะทางเคมีในพื้นที่ลึกไม่กี่นาโนเมตรจากพื้นผิวตัวอย่าง โดยการวัดระดับพลังงานของอิเล็กตรอนของสว่านที่ตื่นเต้นด้วยลำอิเล็กตรอนจากตัวอย่าง ไมโครโพรบของ Auger มีความละเอียดเชิงพื้นที่ในการวิเคราะห์สูง เนื่องจากพื้นที่การวิเคราะห์ถูกกำหนดโดยขนาดของโพรบที่โฟกัส ระบบ Auger ล่าสุดส่วนใหญ่ใช้ Schottky field emission gun (FEG) สำหรับการวิเคราะห์พื้นที่ขนาดเล็ก