การวิเคราะห์พื้นที่ขนาดเล็กด้วย JXA-8530F (FE-EPMA)

JEOLnews เล่มที่ 45 ฉบับที่ 1 ปี 2010 โนริฮิสะ โมริ
หน่วยธุรกิจ SA, JEOL Ltd.

FE-EPMA ซึ่งเป็นเครื่องวิเคราะห์ไมโครโพรบอิเล็กตรอน (EPMA) ที่ติดตั้งปืนอิเล็กตรอนแบบปล่อยสนามชอตต์กี (FE) ได้รับการออกแบบมาเพื่อเพิ่มความสามารถในการวิเคราะห์พื้นที่ขนาดเล็ก โดยได้พื้นที่วิเคราะห์ที่มีขนาดเพียง 0.1 ม. วิเคราะห์พื้นที่ขนาดเล็กบนตัวอย่างสแตนเลสและบัดกรีด้วย FE-EPMA เพื่อประเมินความละเอียดเชิงพื้นที่ การตรวจจับอนุภาคขนาดเล็ก และความสามารถในการหาปริมาณพื้นที่ขนาดเล็ก