ขนาดลำแสงและพื้นที่ฉายรังสีเอกซ์

ความละเอียดเชิงพื้นที่ของการถ่ายภาพเอ็กซ์เรย์ใน EPMA อยู่ที่ประมาณ 1 um ซึ่งส่งผลให้ภาพเอ็กซ์เรย์เบลอด้วยกำลังขยายมากกว่า 3000 เท่า (รูปที่ 1 ข) สาเหตุหลักมาจากพื้นที่เปล่งรังสีเอกซ์ถูกขยายใหญ่ขึ้นโดยการกระเจิงของรังสีเร่ง อิเล็กตรอนภายในตัวอย่าง พื้นที่เปล่งรังสีเอกซ์เปลี่ยนขนาดเนื่องจากปัจจัยอื่นๆ รวมถึงขนาดลำแสง การดูดกลืนรังสีเอกซ์ และการกระตุ้นด้วยรังสีเอกซ์