การใช้งานปืนพลาสม่าพลังงานสูงในตัว：ตัวอย่างการผลิตฟิล์มบางแบบออพติคอลโดยการสะสมไอของพลาสมา | หมายเหตุการใช้งาน

JEOLnews เล่ม 37E หมายเลข 1, 2002

มีการติดตั้งแหล่งกำเนิดพลาสมาในตัวในห้องสุญญากาศและสร้างพลาสมาที่มีความหนาแน่นสูง ความช่วยเหลือจากพลาสมาในการทับถมของ e-beam นั้นมีประสิทธิภาพมากสำหรับฟิล์มบางแบบออปติก ในที่นี้ ขอแนะนำโครงร่างของแหล่งกำเนิดพลาสมาในตัวและลักษณะฟิล์มของฟิล์มออกไซด์เมื่อเปรียบเทียบกับฟิล์มที่เคลือบด้วยสุญญากาศปกติ