เจม-ARM200F
ความละเอียดอะตอมของ NEOARM
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนเชิงวิเคราะห์

"NEOARM" / JEM-ARM200F มาพร้อมกับปืนปล่อยสนามเย็น (Cold FEG) อันเป็นเอกลักษณ์ของ JEOL และตัวแก้ไข Cs (ASCOR) ใหม่ที่ชดเชยความคลาดเคลื่อนของคำสั่งที่สูงขึ้น การรวมกันของ Cold FEG และ ASCOR ช่วยให้สามารถถ่ายภาพความละเอียดระดับอะตอมที่แรงดันไฟฟ้าเร่งความเร็ว 200 kV ไม่เพียงเท่านั้น แต่ยังมีแรงดันไฟฟ้าต่ำที่ 30 kV ด้วย
"NEOARM" ยังติดตั้งระบบแก้ไขความคลาดอัตโนมัติที่รวมเอาอัลกอริธึมการแก้ไขความคลาดแบบใหม่ของ JEOL เพื่อการแก้ไขความคลาดเคลื่อนที่อัตโนมัติอย่างรวดเร็วและแม่นยำ ระบบนี้ช่วยให้สามารถถ่ายภาพที่มีความละเอียดระดับอะตอมได้ในปริมาณที่สูงขึ้น
นอกจากนี้ เครื่องตรวจจับ STEM ใหม่ที่เพิ่มความเปรียบต่างขององค์ประกอบแสงยังรวมอยู่ในหน่วยมาตรฐาน การเพิ่มคอนทราสต์ขององค์ประกอบแสงทำได้โดยเทคนิคการสร้างภาพ STEM ใหม่ (e-ABF: Enhanced ABF) ซึ่งอำนวยความสะดวกในการสังเกตวัสดุที่เป็นองค์ประกอบแสง แม้จะใช้แรงดันไฟฟ้าเร่งต่ำ
ห้องไมโครสโคปถูกแยกออกจากห้องผ่าตัดเพื่อตอบสนองต่อการทำงานจากระยะไกล นอกจากนี้ ยังได้นำสีแนวคิดใหม่ของผลิตภัณฑ์ JEOL คือ "สีขาวบริสุทธิ์" และ "สีเงิน JEOL" มาใช้ ซึ่งนำไปสู่การออกแบบภายนอกที่ซับซ้อนของ "NEOARM"

คุณสมบัติ

คุณสมบัติ 1

ตัวแก้ไขความคลาดเคลื่อนทรงกลม (Cs) ASCOR (ตัวแก้ไข STEM ขั้นสูง)

ASCOR ที่รวมอยู่ใน "NEOARM" สามารถระงับอาการสายตาเอียงหกเท่าซึ่งจำกัดความละเอียดหลังจากการแก้ไข Cs
การผสมผสานระหว่าง ASCOR และ Cold FEG ทำให้เกิดความคลาดเคลื่อนสีต่ำ และขยายขีดจำกัดการเลี้ยวเบน เพื่อให้ได้ความละเอียดที่สูงกว่าที่เคย

แกน [211]:200 kV

ศรี [110]:80 kV

กราฟีน (ชั้นโมโน):30 kV

• ภาพ STEM โดยการกำหนดค่า UHR

ภาพ ADF-STEM ความละเอียดปรมาณู รูปแบบ FFT และภาพ Ronchigram ที่ 200kV, 80kV และ 30kV

คุณสมบัติ 2

ซอฟต์แวร์แก้ไขความคลาดเคลื่อนอัตโนมัติ JEOL COSMO™ (โมดูลระบบแก้ไข)

JEOL COSMO™ ใช้อัลกอริธึมการแก้ไขความคลาดแบบใหม่ (SRAM: Segmented Ronchigram Auto-correlation Matrix) ดังนั้นจึงไม่จำเป็นต้องมีตัวอย่างพิเศษสำหรับการแก้ไขความคลาดเคลื่อน ส่งผลให้มีความแม่นยำสูงและการแก้ไขความคลาดเคลื่อนของคำสั่งซื้อที่สูงขึ้นได้อย่างรวดเร็ว ระบบนี้ช่วยให้ประมวลผลได้อย่างรวดเร็วเมื่อเทียบกับอัลกอริธึมการแก้ไขทั่วไป และยังทำให้การดำเนินการเป็นไปโดยอัตโนมัติ ช่วยลดขั้นตอนการแก้ไขที่ซับซ้อนในกล้องจุลทรรศน์ของลูกค้า คุณลักษณะเหล่านี้ช่วยให้สามารถถ่ายภาพที่มีความละเอียดระดับอะตอมได้ในปริมาณที่สูงขึ้น

ตัวอย่าง: ศรี[110]
แรงดันไฟเร่ง: 200 kV

คุณสมบัติ 3

ระบบตรวจจับ ABF (Annular Bright Field) ใหม่

เครื่องตรวจจับ ABF ถูกใช้อย่างกว้างขวางว่าเป็นเทคนิคที่เหมาะสำหรับการถ่ายภาพองค์ประกอบแสงที่มีความละเอียดสูง "NEOARM" รองรับคอนทราสต์ที่เพิ่มขึ้นขององค์ประกอบแสงด้วยเทคนิคการถ่ายภาพ ABF ที่ออกแบบใหม่ (e-ABF：ABF ที่ปรับปรุงแล้ว)
ความสามารถนี้อำนวยความสะดวกในการสังเกตโครงสร้างระดับอะตอมของวัสดุที่มีธาตุแสง

ข้อมูลอ้างอิง: SD Findlay, Y.Kohno, LA Cardamone, Y.Ikuhara, N.Shibata, Ultramicroscopy 136 (2014)31-41

คุณสมบัติ 4

เครื่องตรวจจับสายตาที่สมบูรณ์แบบ

เครื่องตรวจจับสายตาที่สมบูรณ์แบบซึ่งรวมอยู่ใน "NEOARM" ใช้ประกายไฟไฮบริด
เครื่องตรวจจับนี้ช่วยให้ได้ภาพ STEM ที่มีคอนทราสต์สูงและเชิงปริมาณเสมอ โดยไม่คำนึงถึงการตั้งค่าแรงดันไฟฟ้าแบบเร่ง

คุณสมบัติ 5

ระบบ OBF (ตัวเลือก) *

ด้วยวิธีการถ่ายภาพแบบใหม่ 'OBF STEM ( STEM ความสว่างที่เหมาะสมที่สุด)'ภาพดิบที่ได้จากเครื่องตรวจจับ STEM แบบแบ่งส่วนจะใช้เป็นแหล่งสำหรับการสร้างภาพเฟสขึ้นใหม่ โดยมีตัวกรองฟูริเยร์เฉพาะเพื่อเพิ่มอัตราส่วนสัญญาณต่อสัญญาณรบกวนของภาพที่ดึงออกมา
วิธีการที่มีแนวโน้มดีนี้จะทำให้เกิดคอนทราสต์ที่สูงขึ้นสำหรับทั้งองค์ประกอบที่หนักและเบา แม้ในขณะที่ทำงานภายใต้สภาวะที่มีปริมาณอิเล็กตรอนต่ำมาก วัสดุที่ไวต่อลำแสงที่สังเกตได้ยากด้วยวิธีการ ADF และ ABF STEM มาตรฐานสามารถวิเคราะห์ได้อย่างง่ายดายด้วยคอนทราสต์ที่สูงขึ้นในช่วงการขยายที่กว้าง

คุณอู๋, ต. เซกิ, และคณะ Ultramicroscopy 220, 113133 (พ.ศ. 2021)

STEM การถ่ายภาพในขนาดต่ำ

วัสดุที่ไวต่อลำแสงซึ่งรวมถึง Metal Organic Frameworks (MOFs) และซีโอไลต์ต้องการปริมาณอิเล็กตรอนที่ลดลง (โดยทั่วไปคือโพรบปัจจุบัน < 1.0 pA) ในขณะที่ยังคงความเปรียบต่างของอะตอมที่ชัดเจนสำหรับโครงร่างขององค์ประกอบแสง
OBF STEM มีข้อได้เปรียบสำหรับการทดลองปริมาณรังสีต่ำ โดยทำให้ได้ภาพ STEM ที่มีประสิทธิภาพปริมาณรังสีสูงเป็นพิเศษในความละเอียดระดับอะตอม 

ทั้ง OBF STEM Image MOF MIL-101 (ซ้าย) และ MFI Zeolite (ขวา) ได้มาในช็อตเดียว และยังสามารถสังเกตความละเอียดเชิงพื้นที่สูงที่ 1 Å ในรูปแบบ FFT ในส่วนแทรกด้านขวาได้อีกด้วย ยิ่งไปกว่านั้น ค่าเฉลี่ยของภาพซ้อน (ภาพแทรกด้านซ้าย) ยืนยันว่าความละเอียดและคอนทราสต์มีความสมดุลเป็นอย่างดี

ตัวอย่าง : MOF MIL-101
เครื่องมือ : JEM-ARM300F2
แรงดันไฟเร่ง : 300 kV
คอนเวอร์เจนซ์ กึ่งมุม : 7 mrad
โพรบปัจจุบัน : < 0.15 pA
สิ่งที่ใส่เข้าไป) รูปแบบ FFT และภาพเฉลี่ย 50 เฟรม
ตัวอย่างมารยาทของ Prof. Zhenxia Zhao, Guangxi University

ตัวอย่าง : MFI Zeolite
เครื่องมือ : JEM-ARM300F2
แรงดันไฟเร่ง : 300 kV
คอนเวอร์เจนซ์ กึ่งมุม : 16 mrad
โพรบปัจจุบัน : 0.5 pA
สิ่งที่ใส่เข้าไป) รูปแบบ FFT

การถ่ายภาพที่มีความเปรียบต่างสูงสำหรับองค์ประกอบแสง

นอกจากจะมีประสิทธิภาพปริมาณรังสีสูงแล้ว OBF STEM ยังมีประโยชน์สำหรับการถ่ายภาพองค์ประกอบแสงอีกด้วย
แม้ในแรงดันการเร่งความเร็วที่ต่ำกว่า ก็สามารถให้ทั้งความเปรียบต่างที่สูงขึ้นและความละเอียดเชิงพื้นที่สำหรับองค์ประกอบแสงได้

ตัวอย่าง : กาน [110]
เครื่องมือ : JEM-ARM200F
แรงดันไฟเร่ง : 60 kV
คอนเวอร์เจนซ์ กึ่งมุม : 35 mrad

ตัวอย่าง : Graphene
เครื่องมือ : JEM-ARM200F
แรงดันไฟเร่ง : 60 kV
คอนเวอร์เจนซ์ กึ่งมุม : 35 mrad

ความละเอียดขององค์ประกอบแสงจะดีขึ้นมากด้วยแรงดันไฟเร่งที่สูงกว่า
คอลัมน์อะตอมแต่ละคอลัมน์แยกจากกันอย่างชัดเจนด้วยความละเอียดย่อยของอังสตรอมลึกภายในโครงสร้างที่ซับซ้อนหรือตามแกนผลึกที่มีดัชนีสูงกว่า
คุณภาพของ OBF STEM นั้นยอดเยี่ยมในสภาวะที่มีปริมาณรังสีต่ำ และปรับปรุงเพิ่มเติมภายใต้สภาวะโพรบมาตรฐานของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบแก้ไขด้วย Cs

ตัวอย่าง : β-Si3N4 [0001]
เครื่องมือ : JEM-ARM200F
แรงดันไฟเร่ง : 200 kV
คอนเวอร์เจนซ์ กึ่งมุม : 24 mrad
สิ่งที่ใส่เข้าไป) 10 เฟรมเฉลี่ย

ตัวอย่าง : กาน [211]
เครื่องมือ : JEM-ARM300F2
แรงดันไฟเร่ง : 300 kV
คอนเวอร์เจนซ์ กึ่งมุม : 32 mrad
สิ่งที่ใส่เข้าไป) 20 เฟรมเฉลี่ย

• e-ABF (ABF ที่ปรับปรุงแล้ว) ไม่พร้อมใช้งานในการกำหนดค่า SAAF Quad

ถ่ายทอดสด OBF Imaging

ในการทดลองจริง การถ่ายภาพ OBF แบบสดเป็นพื้นฐานสำหรับวัสดุที่ไวต่อลำแสง เนื่องจากการดำเนินการทั้งหมดควรดำเนินการในสภาวะที่มีปริมาณรังสีที่จำกัด ฟังก์ชันถ่ายทอดสดรวมอยู่ในระบบ OBF ซึ่งใช้งานภายในซอฟต์แวร์ควบคุม TEM พร้อมการควบคุม GUI ที่เรียบง่ายและการอัปเดตการแสดงผลแบบเรียลไทม์ควบคู่ไปกับภาพ STEM แบบเดิม

Movie

การสังเกตภาพ OBF-STEM แบบสดด้วย JEM-ARM200F

◆คลิกปุ่ม "เล่นซ้ำ" ในช่องด้านบน แล้วหนังจะเริ่ม (ประมาณ 1 นาที)◆

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

• UHR (UHR พร้อมตัวแก้ไข STEM/TEM Cs)

• HOAC (ตัวแก้ไขความคลาดเคลื่อนคำสั่งที่สูงขึ้น)

• DSS (ระบบ DeScan)

• RDS (แบบแบ่งห้อง)

ดาวน์โหลดแคตตาล็อก

JEM-ARM200F NEOARM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนเชิงวิเคราะห์ความละเอียดอะตอม

การใช้งาน

แอปพลิเคชัน JEM-ARM200F_NEOARM

ไครโอโน้ต

Urushiหมายเหตุ

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

ทฤษฎีสัมพัทธภาพระบบซับเฟรมไฟฟ้าสถิต

ข้อมูลเพิ่มเติม