JSPM-5400 กล้องจุลทรรศน์โพรบสแกน

JSPM-5400 มาพร้อมกับโหมดการวัดที่หลากหลาย
การเพิ่มตัวเลือกสำหรับโหมดการวัดแต่ละโหมดจะช่วยเพิ่มความสามารถในการวัด

คุณสมบัติ

ใหม่ AFM แบบไม่สัมผัส

เรียบง่าย รวดเร็ว ปลอดภัย

แนวทางความปลอดภัยความเร็วสูง
การควบคุมการสแกนที่ไม่เสียหาย
การวางตำแหน่งที่เรียบง่าย
การดำเนินการด้านความปลอดภัยด้วยระยะเวลาที่สั้นลงจนถึงขั้นตอนการสังเกตการณ์

ปลาย

การถ่ายภาพความละเอียดสูงโดยไม่มีความเสียหายโดยใช้ AFM แบบไม่สัมผัส

การควบคุมสิ่งแวดล้อม

การสังเกตตัวอย่างที่ร้อน/เย็นอย่างเสถียรในสุญญากาศสูง

โหมดการวัดที่หลากหลาย

JSPM-5400 มาพร้อมกับโหมดการวัดที่หลากหลาย การเพิ่มตัวเลือกสำหรับโหมดการวัดแต่ละโหมดจะช่วยเพิ่มความสามารถในการวัด

แนวทางความปลอดภัยความเร็วสูง

การใช้วิธีแบบสองขั้นตอน (วิธีความเร็วสูงและละเอียด: จดสิทธิบัตรแล้ว) คานยื่นสามารถเข้าหาตัวอย่างได้อย่างรวดเร็วโดยไม่เสียหาย
เนื่องจากวิธีการความเร็วสูงเป็นไปได้โดยไม่เกิดการชนกัน วิธีนี้จึงมีประสิทธิภาพสำหรับตัวอย่างที่มีการกระเจิงของแสงสูงและตัวอย่างที่โปร่งใส ซึ่งยากต่อการระบุระยะห่างระหว่างพื้นผิวกับคานยื่น

แนวทางความเร็วสูงเพื่อความปลอดภัยจะตรวจจับแรงโน้มถ่วงอย่างอ่อน ซึ่งทำหน้าที่เป็นแรงโน้มถ่วงพิสัยไกล ห่างจากตัวอย่าง คานยื่นสามารถเข้าหาตัวอย่างด้วยความเร็วสูง (สูงสุด 50 ม./วินาที) จนกว่าจะตรวจพบแรงโน้มถ่วงที่อ่อน หลังจากวิธีการด้วยความเร็วสูงสิ้นสุดลง การเข้าใกล้แบบละเอียดจะดำเนินการในขณะที่ระยะห่างระหว่างคานยื่นและตัวอย่างถูกควบคุมM การเข้าใกล้ด้วยความเร็วสูงเพื่อความปลอดภัยจะสิ้นสุดลงในเวลาอันสั้น ทำให้สามารถเริ่มต้นวิธีการแบบละเอียดโดยไม่ต้องกังวลเกี่ยวกับระยะห่างระหว่าง ตัวอย่างและคานเท้าแขน

การวางตำแหน่งที่รวดเร็วและง่ายดาย

ฟังก์ชันข้ามการสแกน ซึ่งรวมอยู่ใน JSPM-5400 เป็นการกำหนดค่ามาตรฐาน ทำให้เวลาในการวัดสั้นลง เนื่องจากจำนวนพิกเซลสำหรับรูปภาพสามารถลดลงได้

การควบคุมการสแกนที่ไม่เสียหาย

การควบคุมการสแกนที่ไม่มีความเสียหายจะใช้เพื่อใช้งานโพรบภายในพื้นที่จำกัด (รูป L ในภาพด้านบน) เมื่อเทียบกับพื้นผิวมาตรฐาน (จุด A ในภาพด้านบน) เมื่อสังเกตขอบของหน้าตัด คุณสามารถสแกนโพรบได้อย่างปลอดภัยโดยไม่ชนกันระหว่างปลายสุดของคานยื่นกับขอบ
เนื่องจากมีฟังก์ชันที่ต่อความสูงมาตรฐานใหม่โดยอัตโนมัติ JSPM-5400 จึงสามารถตั้งค่าจุดมาตรฐานในทิศทางบนของส่วนเว้าได้โดยอัตโนมัติ แม้แต่ตัวอย่างที่มีความเว้าสูงชัน (ใช้สิทธิบัตรแล้ว)
ฟังก์ชันนี้ช่วยให้สามารถวัดตัวอย่างที่มีรูปร่างภูมิประเทศที่ไม่รู้จักได้โดยไม่เกิดความเสียหาย
เนื่องจากการควบคุมการสแกนที่ไม่เสียหายมีประสิทธิภาพมากสำหรับการวัดบริเวณขอบ ฟังก์ชันนี้จึงมีประโยชน์สำหรับการถ่ายภาพภาพตัดขวางที่สร้างโดยอุปกรณ์เตรียมภาพตัดขวาง CP (Cross Section Polisher®) (ดูรูปด้านล่าง)

ตรวจสอบการติดตามอัตโนมัติ

ฟังก์ชันนี้จะแก้ไขการเลื่อนในแนวดิ่งโดยอัตโนมัติซึ่งเกิดจากการขยายตัวทางความร้อนและการหดตัวของตัวอย่างระหว่างการสังเกตความร้อน/ความเย็น ป้องกันไม่ให้ส่วนปลายของโพรบสัมผัสหรือหลุดออกจากพื้นผิวตัวอย่างเป็นเวลานาน การถ่ายภาพต่อเนื่องภายใต้การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ (ดูภาพด้านล่างในหน้า 3) จะใช้ฟังก์ชันนี้
(เพื่อให้ความร้อนและความเย็นแก่ตัวอย่าง จำเป็นต้องใช้อุปกรณ์เสริมเพิ่มเติม)

การควบคุมสิ่งแวดล้อมที่ดีเยี่ยม

การปรับปรุงโครงสร้างของหัว SPM อย่างมากทำให้คุณภาพของสุญญากาศดีขึ้น การใช้ระบบดักเย็นที่เป็นอุปกรณ์เสริม ความดันสุญญากาศจะสูงถึงลำดับที่ 10-6 Pa ดังนั้น การดูดซับก๊าซในตัวอย่างสามารถลดลงเหลือปริมาณต่ำสุด โดยรักษาพื้นผิวตัวอย่างที่สะอาด
เป็นไปได้ที่จะจัดแนวแกนออปติกของแสงเลเซอร์ให้ตรงกับคานยื่นและตัวตรวจจับภาพถ่ายสำหรับระบบตรวจจับ SPM ที่วางอยู่ในสุญญากาศ แม้จะมองจากด้านนอกของสุญญากาศก็ตาม
เมื่อติดตั้งระบบการอพยพด้วยสุญญากาศและกลไกการแลกเปลี่ยนตัวอย่างแบบล็อกอากาศ คุณสามารถแลกเปลี่ยนตัวอย่างในขณะที่รักษาสุญญากาศ และยังช่วยลดระยะเวลาตั้งแต่การตั้งค่าตัวอย่างจนถึงการสังเกต

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

ข้อมูลเพิ่มเติม