JIB-4601F เป็นระบบการประมวลผลและการสังเกตการณ์ MultiBeam ที่รวม SEM ชนิด Schottky และคอลัมน์ FIB กำลังสูง หลังจากทำการกัดแบบภาคตัดขวางของพื้นที่โดยใช้ FIB แล้ว จะสามารถสังเกตและวิเคราะห์ส่วนภายในโดยใช้ SEM ได้ FIB สามารถใช้สำหรับการกัดละเอียดและการเตรียมตัวอย่าง TEM ตลอดจนการวิเคราะห์โครงสร้าง 3 มิติด้วยการกัด/ การสังเกตและการวิเคราะห์แบบภาคตัดขวางอัตโนมัติตามช่วงเวลาที่กำหนด Schottky-type SEM ช่วยให้สามารถระบุตำแหน่งไซต์เป้าหมายได้ง่าย ตลอดจนการสังเกตและการวิเคราะห์โครงสร้างขนาดเล็ก นี่คือระบบที่สามารถนำไปใช้งานได้อย่างหลากหลาย รวมถึงการวิจัยและพัฒนา ตลอดจนการควบคุมคุณภาพผลิตภัณฑ์
คุณสมบัติ
เครื่องมือ All-in-one – การใช้งานที่หลากหลายในเครื่องมือเดียว
การวิเคราะห์แบบหลายฟังก์ชันผ่านการรวมกันของคอลัมน์ High-Power FIB และ High-Power Optics SEM
คอลัมน์ FIB กำลังสูงที่มีกระแสโพรบสูงสุด 60 nA ทำให้สามารถกัดงานตัดขวางได้อย่างรวดเร็ว ในขณะที่ Schottky SEM นำเสนอการสังเกตภาคตัดขวางที่มีความละเอียดสูง High-Power Optics (กระแสสูงสุด 200 nA @ 15 kV) ที่รวมอยู่ใน SEM ทำให้สามารถทำการวิเคราะห์ความเร็วสูงและความละเอียดสูงได้ เช่น การวิเคราะห์องค์ประกอบโดยใช้ EDS หรือ WDS และการวิเคราะห์การวางแนวผลึก EBSD นอกจากนี้ ยังมีอุปกรณ์ต่อพ่วงเสริมให้เลือกมากมาย เช่น ตัวตรวจจับอิเลคตรอนแบบส่องผ่าน กลไกการทำให้เย็นตัวอย่าง เช่น หน่วยการแช่แข็งและแท่นเย็น และตัวตรวจจับแบบคาโธโดลูมิเนสเซนซ์
ฟังก์ชันการวิเคราะห์โครงสร้าง 3 มิติ
โดยการสลับระหว่างการกัดส่วน FIB โดยอัตโนมัติโดยใช้ฟังก์ชันการแบ่งส่วนและการสุ่มตัวอย่างแบบอนุกรม และการสังเกตและวิเคราะห์ SEM (การทำแผนที่ EDS หรือการวิเคราะห์โครงสร้างผลึก EBSD) ทำให้สามารถวิเคราะห์โครงสร้าง 3 มิติของชิ้นงานทดสอบได้ การวัดสามารถทำได้อย่างรวดเร็วเนื่องจากไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนระยะของชิ้นงานทดสอบ
เข้ากันได้กับผลิตภัณฑ์ JEOL อื่น ๆ
ข้อบ่งชี้จำเพาะ
| ปืนอิเล็กตรอน | Schottky Field Emission Type △TFE（ZrO/W） |
|---|---|
| เลนส์ใกล้วัตถุ | เลนส์ใกล้วัตถุชนิดนอกเลนส์ |
| ความละเอียด | 1.2 นาโนเมตร @ 30 กิโลโวลต์ WD4 มม 3.0 นาโนเมตร @ 1 กิโลโวลต์ WD2 มม |
| แรงดันเร่ง | 0.2 ถึง 30kV |
| โพรบปัจจุบัน | หลาย pA ถึง 200nA @ 15 kV |
| เลนส์ปรับมุมรูรับแสง | Built-in |
| การอวดอ้าง | x20 ถึง x1,000,000 |
| เครื่องตรวจจับ | เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนตอนล่าง (LED) ตัวเลือก(*) อาร์-เบด* ต้นกำเนิด* |
| ลำแสงที่อ่อนโยน | ในตัว (แรงดันไฟฟ้าที่ใช้กับชิ้นงาน 0 ถึง 300V) |
| ห้องแลกเปลี่ยนตัวอย่าง | Built-in (พร้อมฟังก์ชั่นแนะนำไนโตรเจนแห้ง) |
| ขั้นตอนตัวอย่าง | ระยะขับมอเตอร์ 6 แกน |
| ช่วงการเดินทางของตัวอย่าง | X: 50 มม. , Y: 50 มม. Z: 1.5 ถึง 41 มม ความเอียง: -5 ถึง 70°, การหมุน: 360°, Fz: -3 ถึง +3 มม |
| วิธีการแลกเปลี่ยนสิ่งส่งตรวจ | ประเภทหัวจับแบบสัมผัสเดียว |
| ผู้ถือชิ้นงาน | ผู้ถือมาตรฐาน: ที่จับ φ12.5 ตัวยึด φ32mm ผู้ถือตัวเลือก: ที่ใส่เวเฟอร์ 76.2 มม ที่ใส่เวเฟอร์ 100 มม ที่ใส่เวเฟอร์ 125 มม ที่ใส่เวเฟอร์ 150 มม 2，4，6 ประเภทผู้ถือจำนวนมาก ตัวจับชิ้นงานหลายชิ้นบนพื้นผิว ที่ยึด STEM ที่ยึดกระสวย ที่จับแบบสัมผัสเดียว |
| ขอบเขตหอการค้า | กล้องห้องเก็บตัวอย่าง (ตัวเลือก) |
| ฟังก์ชั่นอัตโนมัติ | ระบบออโต้โฟกัส ควบคุมความสว่างอัตโนมัติ |
| ระบบควบคุม | ระบบควบคุม SEM พีซี รองรับ IBM PC/AT〔SM-77360PC〕 RAM 2 GB ขึ้นไป ระบบปฏิบัติการ Windows 7® Professional* |
| การตรวจสอบ | 23 นิ้ว |
| แสดงภาพ | พื้นที่แสดงภาพ 1280×960 พิกเซล, 800×600 พิกเซล |
| โหมดการแสดงผล | มาตรฐาน : SEM_SEI, FIB_SEI ตัวเลือก : SEM_COMPO, SEM_TOPO, AUX, CCD |
| โหมดการสแกน / การแสดงผล | การสแกนพื้นที่จำกัด, การเพิ่ม iamge, scaler การแสดงผลหน้าจอ: 1 หน้าจอ 2 หน้าจอ (มาตรฐาน) 4 หน้าจอ |
| สูญญากาศ | เอชวี ; < 2.0 x 10E-4 ป่า (เมื่อใช้งาน GIS; <3.0E-3Pa) |
| ระบบอพยพ | จิบ x 2 (SEM), จิบ x 1 (FIB) TMP x 1, v RP x 1 |
| โหมดประหยัดการใช้ไฟฟ้า | ใช้งานปกติประมาณ. 2.0ｋVA |
| Co2เทียบเท่าการปล่อย | Co2 การปล่อยในปี ใช้งานปกติ 4967กก |
| อุปกรณ์ความปลอดภัย | ป้องกันการตกจากสุญญากาศ, ความล้มเหลวของน้ำ, N2 แรงดันแก๊สตก กระแสไฟรั่ว อย่างไรก็ตาม ไม่รวมกลไกการบำรุงรักษาสุญญากาศสูงเป็นพิเศษเมื่อไฟฟ้าขัดข้อง |
| รอยพระบาท | 3200มม.ขึ้นไป ×3000ｍｍขึ้นไป |
| ความต้องการในการติดตั้ง |
พาวเวอร์ซัพพลาย เฟสเดียว 100 V, 50/60 Hz, สูงสุด 4kVA, ใช้งานปกติประมาณ 2.0kVA ความผันผวนของแหล่งจ่ายไฟอินพุตที่อนุญาตภายใน ±10％ ขั้วต่อสายดิน 100Ω หรือน้อยกว่า x 1 น้ำเย็น ก๊อกน้ำออก เส้นผ่านศูนย์กลาง 14 มม. x 1 หรือ JIS B 0203 Rc 1/4 x 1 อัตราการไหล 0.5 ลิตร/นาที แรงดันน้ำ 0.1 ถึง 0.25 MPa (เกจวัดแรงดัน) อุณหภูมิของน้ำ 20°± 5°C เดรนอินน์ เส้นผ่านศูนย์กลาง 25 มม. ขึ้นไป x1 หรือ JIS B 0203 Rc 1/4 x 1 ก๊าซไนโตรเจนแห้ง JIS B 0203 Rc 1/4 (ผู้ใช้เป็นผู้จัดเตรียม) แรงดัน 0.45 ถึง 0.55 MPa (เกจวัดแรงดัน) ห้องติดตั้ง อุณหภูมิห้อง 20℃±5℃ ความชื้น 60％ หรือต่ำกว่า สนามแม่เหล็กจรจัด 0.3μT (PP) หรือน้อยกว่า (50/60 Hz sin wave，WD 10 mm，15 kV)*1 การสั่นสะเทือนของพื้น 3μm (PP) หรือต่ำกว่า*1 ที่ความถี่คลื่นไซน์มากกว่า 5Hz เสียงรบกวน 70 dB หรือต่ำกว่า *1 เป็นลักษณะ FLAT ขนาดห้องติดตั้ง 3,000 มม. x 3,000 มม. ขึ้นไป ความสูง 2,300 มม. ขึ้นไป ประตูขนาด1,000*2 มม.(ก) x 2,000 มม.(ส) ขึ้นไป
|
| ไฟล์แนบเสริมหลัก | EDS, WDS, EBSD, CL, SNS เป็นต้น |
Windows เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Microsoft Corporation ในสหรัฐอเมริกาและประเทศอื่น ๆ
ข้อมูลเพิ่มเติม
คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?
ไม่
โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป