คุณสมบัติ
กระแสโพรบที่เสถียรสูงและเลนส์ควบคุมรูรับแสงช่วยให้ได้ภาพที่มีความละเอียดสูง กระบวนการกัดสามารถดูและวิเคราะห์พร้อมกันในการถ่ายภาพ SEM ซึ่งมีประสิทธิภาพสำหรับการวิเคราะห์โครงสร้างภายในและการเตรียมตัวอย่างฟิล์มบาง TEM
รวม FE-SEM ความละเอียดสูงเพื่อการตัดขวางที่แม่นยำ
การถ่ายภาพ SEM ความละเอียดสูงสำหรับการตรวจสอบการกัด FIB แบบเรียลไทม์
รวมปืนอิเลคตรอนความร้อนไว้ในเลนส์ที่สามารถวิเคราะห์ความเร็วสูงได้อย่างเสถียรที่กระแสสูงสุด 200 nA
ห้องตัวอย่างแบบหลายพอร์ตสำหรับการทำงานที่สมบูรณ์ตั้งแต่การกัด FIB ไปจนถึงการสร้างภาพ SEM ไปจนถึงการวิเคราะห์โดยเครื่องตรวจจับที่หลากหลาย รวมถึง EDS และ EBSD
รองรับการติดตั้งแก๊สหลายชนิดพร้อมกันเพื่อการเคลือบฟิล์มป้องกัน
การถ่ายภาพ SEM ความละเอียดสูงสำหรับการเตรียมตัวอย่างฟิล์มบาง TEM
อุปกรณ์เสริมกล้อง
EDS (เครื่องวิเคราะห์เอ็กซ์เรย์ฟลูออเรสเซนต์แบบกระจายพลังงาน)
ระบบอีบีเอสดี
CLD (เครื่องตรวจจับการเรืองแสงแคโทด)
IR-CAM (กล้อง IR สำหรับการดู)
GIS (ระบบหัวฉีดแก๊ส) x3
ระบบเก็บตัวอย่าง
ระบบหุ่นยนต์นาโน
PCD (เครื่องตรวจจับกระแสโพรบ)
AEM (เครื่องวัดกระแสไฟดูด)
TED (เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบส่องผ่าน)
BEI (เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจายกลับ)
ของเหลว กับดักไนโตรเจน
อุปกรณ์ตัดลำแสง
สร้างใหม่ 3 มิติ ซอฟต์แวร์
ข้อบ่งชี้จำเพาะ
FIB (ลำแสงไอออนเฉพาะจุด)
| แหล่งกำเนิดไอออน | แหล่งกำเนิดไอออนโลหะเหลวของ Ga |
|---|---|
| แรงดันไฟฟ้าเร่ง | 1 ถึง 30 kV |
| การอวดอ้าง | 30x (ดูพื้นที่ค้นหา) 100 ถึง 300,000x |
| ความละเอียดของภาพ | 5 นาโนเมตร (ที่ 30 กิโลโวลต์) |
| กระแสไฟสูงสุด | 30 nA (ที่ 30 kV) |
| รูรับแสงที่ปรับได้ | 12 ขั้นตอน, มอเตอร์ไดรฟ์ |
| รูปแบบการกัดด้วยลำแสงไอออน | สี่เหลี่ยมผืนผ้า เส้น จุด |
SEM (ลำแสงอิเล็กตรอน)
| แรงดันไฟฟ้าเร่ง | 0.2 ถึง 30 kV |
|---|---|
| การอวดอ้าง | 20 ถึง 1,000,000x |
| ความละเอียดของภาพ | รับประกัน 1.2 นาโนเมตร (แรงดันเร่ง 30 kV)
รับประกัน 3.0 นาโนเมตร (แรงดันเร่ง 1 kV) |
| กระแสไฟสูงสุด | 200 นาโนเมตร |
| ขั้นตอนตัวอย่าง | ระยะโกนิโอมิเตอร์
X: 50 มม. Y: 50 มม.; Z: 1.5 ถึง 41 มม.; T: -5 ถึง 70°; R: 360° |
| ปั๊มสุญญากาศ | 2 SIP (SEM), 1 SIP (FIB), 1 TMP, 1 RP |
ความต้องการติดตั้ง
| แหล่งจ่ายไฟ | เฟสเดียว 200 V 10%, 50/60 Hz. 6 เควีเอ |
|---|---|
| ขั้วกราวด์ | หนึ่งประเภท D (100 โอห์มหรือน้อยกว่า) |
| อุณหภูมิห้อง | 20 ° C ± 5 ° C |
| ความชื้น | 60% หรือน้อยกว่า |
ข้อมูลเพิ่มเติม
คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?
ไม่
โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป