การเปิดตัวกล้องจุลทรรศน์อิเลคตรอนเชิงวิเคราะห์ความละเอียดสูงพิเศษรุ่นใหม่ JEM-ARM300F2 (GRAND ARM™2)

พื้นหลังการพัฒนาผลิตภัณฑ์

ในกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน นักจุลทรรศน์และวิศวกรจำนวนมากได้ดำเนินการปรับปรุงความละเอียดอย่างต่อเนื่อง ในขณะเดียวกัน JEOL ได้พยายามปรับปรุงความเสถียรของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่าน (TEM) เมื่อรวมเอาเทคโนโลยีการแก้ไขความคลาดเคลื่อนเข้ากับความพยายามเหล่านี้ เราจึงประสบความสำเร็จในความละเอียดสูงที่ยอดเยี่ยม

JEM-ARM300F (GRAND ARM™) เป็น TEM ที่มีความละเอียดในระดับอะตอมที่มุ่งเน้นเพื่อให้ได้ความละเอียดที่ดีที่สุดในระดับเดียวกัน แต่ความต้องการสำหรับ TEM สมัยใหม่รวมถึงลักษณะเฉพาะของวัสดุแข็งเท่านั้น แต่ยังรวมถึงวัสดุอ่อนด้วย ภายใต้สถานการณ์เหล่านี้ ผู้ใช้ TEM ร้องขอความละเอียดและการวิเคราะห์ที่ได้รับการปรับปรุงเพิ่มเติมด้วยระดับความแม่นยำที่สูงขึ้น
JEOL ได้พัฒนา TEM ใหม่ JEM-ARM300F2 (GRAND ARM™2) ซึ่งตอบสนองคำขอเหล่านี้ TEM เชิงวิเคราะห์ที่มีความละเอียดระดับอะตอมสูงเป็นพิเศษนี้มีคุณสมบัติมากมาย โดยเฉพาะอย่างยิ่ง ด้วยชิ้นขั้วเลนส์ใกล้วัตถุใหม่ "FHP2" GRAND ARM™2 จึงมีการผสมผสานที่เหมาะสมของการถ่ายภาพที่มีความละเอียดระดับอะตอมสูงเป็นพิเศษ พร้อมกับการวิเคราะห์องค์ประกอบ EDS มุมทึบขนาดใหญ่ที่ดีที่สุดในระดับเดียวกัน
การกำหนดค่ามาตรฐานของ GRAND ARM™2 ประกอบด้วยกล่องหุ้มที่ช่วยลดการรบกวนจากภายนอก ซึ่งส่งผลให้เครื่องมือมีความเสถียรสูงขึ้น

คุณสมบัติหลัก

• การผสมผสานที่เหมาะสมที่สุดของความละเอียดเชิงพื้นที่สูงพิเศษกับการวิเคราะห์ด้วยรังสีเอกซ์ความไวสูง
  คุณสมบัติของชิ้นขั้วเลนส์ใกล้วัตถุ FHP2 ที่พัฒนาขึ้นใหม่มีดังนี้:
  • เมื่อเปรียบเทียบกับ FHP รุ่นก่อนหน้า FHP2 ให้ประสิทธิภาพการตรวจจับเอ็กซ์เรย์ที่สูงขึ้น (1.4sr) ซึ่งมากกว่า FHP ถึงสองเท่า
  • ค่าสัมประสิทธิ์แสงต่ำ ค่าสัมประสิทธิ์ Cc ต่ำ และค่าสัมประสิทธิ์ Cs ต่ำช่วยให้สามารถวิเคราะห์เอกซเรย์ที่มีความละเอียดเชิงพื้นที่สูงเป็นพิเศษและความไวสูงในช่วงแรงดันไฟฟ้าที่เร่งได้
    (รับประกันความละเอียด STEM: 53 น. ที่ 300kV, 96 น. ที่ 80kV)*
  *นี่คือเมื่อมีการกำหนดค่าตัวแก้ไข STEM Expanding Trajectory Aberration (ETA)
• ชิ้น Wide Gap Pole (WGP) สำหรับเลนส์ใกล้วัตถุช่วยให้สามารถวิเคราะห์เอ็กซ์เรย์ความไวสูงพิเศษได้
  ชิ้นเสานี้มีช่องว่างกว้างระหว่างขั้วบนและขั้วล่าง มีข้อดีดังนี้
  • WGP อนุญาตให้นำ SDDs พื้นที่ขนาดใหญ่ (เครื่องตรวจจับดริฟท์แบบซิลิกอน) เข้าใกล้ชิ้นงานทดสอบมากขึ้น เพื่อให้ได้การวิเคราะห์ด้วยรังสีเอกซ์ที่มีความไวสูงพิเศษ (มุมทึบรวม 2.2 sr)
  • WGP รองรับตัวจับยึดชิ้นงานที่หนาขึ้น ทำให้สามารถทดลองในแหล่งกำเนิดได้หลากหลายประเภท
• ตัวแก้ไขความคลาดเคลื่อนทรงกลม (Cs) ที่พัฒนาโดย JEOL ถูกรวมเข้ากับคอลัมน์กล้องจุลทรรศน์และให้ความละเอียดเชิงพื้นที่สูงเป็นพิเศษ
  • เมื่อรวมกับ FHP2 GRAND ARM™2 จะมีความละเอียด STEM ที่ 53 pm ที่ 300 kV
  • เมื่อรวมกับ WGP GRAND ARM™2 จะมีความละเอียด STEM ที่ 59 pm ที่ 300 kV
  • JEOL COSMO™ (Corrector System Module) ทำให้สามารถแก้ไขความคลาดเคลื่อนได้อย่างรวดเร็วและง่ายดาย
• ปืนปล่อยสนามเย็น (Cold-FEG) เป็นอุปกรณ์มาตรฐาน
  GRAND ARM™2 ติดตั้ง Cold-FEG ซึ่งให้พลังงานที่กระจายจากแหล่งกำเนิดอิเล็กตรอนน้อยลง
• สิ่งที่แนบมาซึ่งช่วยลดการรบกวนจากภายนอก
  โครงสร้างใหม่นี้เป็นมาตรฐานในการลดสิ่งรบกวนจากภายนอก เช่น การไหลของอากาศ การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิห้อง และเสียงรบกวน

ข้อมูลจำเพาะที่หน้าหลัก

เป้าหมายการขายต่อหน่วยประจำปี

10 หน่วย / ปี

ลิงค์

• ผลิตภัณฑ์
  JEM-ARM300F2 GRAND ARM™2 กล้องจุลทรรศน์วิเคราะห์ความละเอียดอะตอม