คุณสมบัติ
คุณสมบัติ1 ภาพความละเอียดสูงที่ได้จาก FE-SEM
ปืนปล่อยอิเล็กตรอนในสนาม Schottky Plus ในเลนส์ (FEG)
Schottky Plus FEG ในเลนส์ได้รับความสว่างที่ดีขึ้นอันเป็นผลมาจากการรวมปืนอิเล็กตรอนและเลนส์คอนเดนเซอร์ที่มีความคลาดต่ำ ด้วย FEG นี้ อิเล็กตรอนที่สร้างขึ้นสามารถโฟกัสได้อย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยให้กระแสของโพรบอยู่ในระดับไม่กี่ pA ถึงหลายสิบของ nA แม้ในแรงดันไฟฟ้าที่เร่งต่ำ การสังเกตความละเอียดสูงเป็นเรื่องง่าย: ไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนรูรับแสงวัตถุประสงค์สำหรับงานต่างๆ ตั้งแต่การวิเคราะห์องค์ประกอบอย่างรวดเร็วไปจนถึง EBSD ถึง SXES
เลนส์ไฮบริด (HL)
JSM-F100 มาพร้อมกับเลนส์ใกล้วัตถุแบบซ้อนสนามไฟฟ้าสถิต/สนามแม่เหล็กไฟฟ้าของ JEOL ซึ่งเป็นเลนส์ไฮบริด (HL) เลนส์อันทรงพลังนี้ช่วยให้สามารถสังเกตและวิเคราะห์ชิ้นงานใดๆ รวมถึงวัสดุแม่เหล็กและวัสดุฉนวนที่ความละเอียดเชิงพื้นที่สูง
- ※BD（การชะลอตัวของลำแสง）：
- การใช้แรงดันไบอัสสูงถึง −2 kV ในขั้นตอนของชิ้นงานทดสอบจะทำให้เกิดการชะลอความเร็วของลำอิเล็กตรอนที่ตกกระทบก่อนถึงชิ้นงานทดสอบ ฟังก์ชันนี้ปรับปรุงความละเอียดเชิงพื้นที่และอัตราส่วนสัญญาณต่อสัญญาณรบกวน (S/N) ที่แรงดันเร่งต่ำ
JSM-F100 FE-SEM ช่วยให้สามารถสังเกตโครงสร้างนาโนได้ การเลือกเงื่อนไขการสังเกตและเครื่องตรวจจับที่เหมาะสมกับการใช้งานของคุณ ช่วยให้คุณได้ภาพ SEM ที่มีลักษณะเฉพาะจากตัวอย่างที่หลากหลาย
-
ตัวอย่าง: Pt อนุภาคนาโนบนคาร์บอน
แรงดันเร่ง: 20 kV, WD: 2 มม.,
โหมดสังเกตการณ์: BD, ตัวตรวจจับ: UED -
ตัวอย่าง : ไส้หลอดไฟฟ้า,
แรงดันเร่ง: 10 kV, WD: 6 มม.,
โหมดสังเกตการณ์: LV, ตัวตรวจจับ: LVBED -
ตัวอย่าง: เทปซีล,
แรงดันเร่ง: 0.5 kV, WD: 2 มม.,
โหมดสังเกตการณ์: BD, ตัวตรวจจับ: UED -
ตัวอย่าง: ส่วนของ glomerulus ของเมาส์ที่บางเฉียบ
แรงดันเร่ง: 5 kV, WD: 4 มม.,
โหมดการสังเกต: BD, ตัวตรวจจับ: RBED (การกลับรายการคอนทราสต์)
- ※ LV (ฟังก์ชันสุญญากาศต่ำ) ＊ตัวเลือก：
- ฟังก์ชันสุญญากาศต่ำช่วยให้สังเกตและวิเคราะห์ได้ง่าย โดยไม่มีการเคลือบนำไฟฟ้าสำหรับวัสดุฉนวน
คุณสมบัติ2 ความสามารถในการใช้งานที่เป็นนวัตกรรมสูง
ด้วยการถ่ายภาพออปติคัล การสร้างภาพ SEM และการวิเคราะห์ EDS ที่ผสานรวมเข้าด้วยกัน
ปริมาณงานการวัดจะได้รับการปรับปรุงอย่างมาก
คุณสมบัติ3
ห้องแล็บสไมล์วิว™
การเชื่อมโยงโดยอัตโนมัติของภาพแสงและ SEM และผล EDS
JSM-F100 มีการเชื่อมต่อกับ SMILE VIEW™ Lab ซึ่งเป็นระบบจัดการข้อมูลใหม่ที่ใช้สำหรับเครื่องมือวิเคราะห์ของ JEOL ซึ่งมีประโยชน์สำหรับการจัดการข้อมูล การวิเคราะห์ และการสร้างรายงาน
- ※ เลนส์ควบคุมมุมรูรับแสง (ACL):
- เลนส์ควบคุมมุมรับแสง (ACL) ซึ่งอยู่เหนือเลนส์ใกล้วัตถุ จะปรับมุมรับแสงของเลนส์ใกล้วัตถุให้เหมาะสมโดยอัตโนมัติตลอดช่วงปัจจุบันทั้งหมด (1 pA ถึง 300 nA) แม้ว่ากระแสของโพรบจะเพิ่มขึ้น ACL จะยับยั้งการแพร่กระจายของอิเล็กตรอนที่ตกกระทบเพื่อรักษาขนาดโพรบที่เล็กที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้อย่างต่อเนื่อง ACL ช่วยให้การทำงานราบรื่นในทุกระดับของกระแสโพรบ ตั้งแต่การสังเกตที่มีความละเอียดสูงไปจนถึงการวิเคราะห์ที่ต้องใช้กระแสโพรบสูง
ฟังก์ชั่นใหม่
ฟังก์ชั่นใหม่ 1
AI ในตัวสำหรับ SEM
ตัวกรองสด-AI (ตัวปรับภาพสด – AI: LIVE-AI）※ ตัวเลือก
JEOL ได้รวมตัวกรอง LIVE-AI （Artificial Intelligence） เพื่อให้ได้ภาพสดคุณภาพสูงขึ้น ตัวกรอง LIVE-AI ไม่เหมือนกับการประมวลผลการรวมภาพ สามารถแสดงภาพสดที่เคลื่อนไหวได้อย่างราบรื่นโดยไม่มีภาพตกค้าง คุณลักษณะเฉพาะนี้มีประสิทธิภาพมากในการค้นหาพื้นที่สังเกตการณ์และสำหรับการแก้ไขโฟกัสและสายตาเอียง
การเปรียบเทียบโหมดปกติและฟิลเตอร์ LIVE-AI
-
โหมดปกติ
-
ด้วยตัวกรอง LIVE-AI
ตัวอย่าง: Ant exoskeleton แรงดันเร่ง:0.5kV, เครื่องตรวจจับ:SED
ตัวอย่าง: สนิมเหล็ก แรงดันเร่ง:1kV, ตัวตรวจจับ:SED
ฟังก์ชั่นใหม่ 2
การได้มาซึ่งพื้นที่ขนาดใหญ่โดยอัตโนมัติ
การตัดต่อ
ภาพตัดต่อซึ่งครอบคลุมพื้นที่ขนาดใหญ่พร้อมการได้มาซึ่งแต่ละพื้นที่โดยอัตโนมัติและการแก้ไขการเลื่อนพื้นที่ตำแหน่ง สามารถรับได้ง่ายๆ โดยการระบุพื้นที่และเงื่อนไขการได้มา การใช้การซูมแบบดิจิตอลกับภาพตัดต่อที่ได้มาจะแสดงข้อมูลโดยละเอียดเกี่ยวกับชิ้นงาน นอกจากนี้ยังสามารถรับแผนที่องค์ประกอบแบบตัดต่อโดยใช้ EDS ได้พร้อมกัน ทำให้สามารถรับข้อมูลจำนวนมากโดยอัตโนมัติโดยไม่ต้องใช้ความช่วยเหลือจากผู้ปฏิบัติงาน
ฟังก์ชั่นใหม่ 3
ระบบแลกเปลี่ยนตัวอย่าง
ใช้ได้กับชิ้นงานทุกขนาด ตลอดจนการถ่ายภาพด้วยแสง
ใช้ระบบดึงออกที่เหมาะสำหรับการแลกเปลี่ยนชิ้นงานขนาดใหญ่เป็นมาตรฐาน นอกจากนี้ยังสามารถรับภาพออพติคัล การค้นหาพื้นที่สังเกตการณ์และการจัดการข้อมูลทำได้เร็วและง่ายขึ้น การใช้ระบบแลกเปลี่ยนตัวอย่างที่เป็นอุปกรณ์เสริมทำให้สามารถโหลด/เอาตัวอย่างออกได้อย่างรวดเร็วและสะอาด
