【เลิกผลิตแล้ว】กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด Schottky Field Emission รุ่น JSM-F100

JSM-F100 ไม่เพียงแต่รวมเอาปืนอิเล็กตรอนในเลนส์ Schottky Plus ที่ได้รับการยกย่องอย่างสูง และ "Neo Engine" (ระบบควบคุมออปติคอลอิเล็กตรอน) เข้าไว้ด้วยกัน แต่ยังรวมถึง GUI "SEM Center" ใหม่และ "LIVE-AI (Live Image) ที่เป็นนวัตกรรมใหม่ ตัวกรอง Visual Enhancer – ปัญญาประดิษฐ์)" ซึ่งช่วยให้สามารถผสมผสานภาพที่มีความละเอียดเชิงพื้นที่สูงและความสามารถในการใช้งานสูงได้อย่างเหมาะสม นอกจากนี้ JSM-F100 ยังมาพร้อมกับเอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายพลังงาน (EDS) ของ JEOL ซึ่งผสานรวมอย่างสมบูรณ์ภายใน "SEM Center" เพื่อการรับข้อมูลภาพที่ราบรื่นจากผลการวิเคราะห์องค์ประกอบ ด้วยแรงบันดาลใจจากผู้ใช้ในการไล่ตามวิวัฒนาการและการผสานรวมของประสิทธิภาพและความสามารถในการทำงานที่สูง JSM-F100 จึงบรรลุประสิทธิภาพการทำงานที่ยอดเยี่ยม 50% หรือสูงกว่าซีรีย์ JSM-7000 รุ่นก่อนของเรา ส่งผลให้มีปริมาณงานเพิ่มขึ้นอย่างมาก

คุณสมบัติ

ฟังก์ชันใหม่ของ "SEM Center" สำหรับการบูรณาการ EDS

GUI การดำเนินการที่พัฒนาขึ้นใหม่ "SEM Center" รวมภาพ SEM และการวิเคราะห์ EDS ไว้อย่างสมบูรณ์ ฟังก์ชันอันทรงพลังนี้ให้ความสามารถในการทำงานในยุคถัดไปและภาพความละเอียดสูงที่ได้รับจาก FE-SEM

ฟังก์ชันใหม่ "Zeromag"

"Zeromag" ซึ่งรวมอยู่ในการเปลี่ยนจากการถ่ายภาพออปติคอลเป็น SEM ทำให้ง่ายต่อการค้นหาพื้นที่ตัวอย่างเป้าหมาย

ตัวกรอง LIVE-AI ใหม่ _{*ตัวเลือก}

การใช้ความสามารถของ AI (ปัญญาประดิษฐ์) ตัวกรอง LIVE-AI ถูกรวมเข้าด้วยกันเพื่อคุณภาพของภาพสดที่สูงขึ้น ต่างจากการประมวลผลการรวมรูปภาพ ฟิลเตอร์ใหม่นี้สามารถแสดงภาพเคลื่อนไหวที่เคลื่อนไหวได้อย่างราบรื่นโดยไม่มีภาพตกค้าง คุณลักษณะเฉพาะนี้มีประสิทธิภาพมากสำหรับการค้นหาพื้นที่การสังเกต การโฟกัส และการปรับสติกมาเตอร์อย่างรวดเร็ว

การเปรียบเทียบโหมดปกติและฟิลเตอร์ LIVE-AI

ปืนยิงอิเล็กตรอนในสนาม Schottky Plus ในเลนส์ (FEG)

การผสานรวมที่ดีขึ้นของปืนอิเล็กตรอนและเลนส์คอนเดนเซอร์ที่มีความคลาดเคลื่อนต่ำทำให้มีความสว่างสูงขึ้น กระแสโพรบที่เพียงพอมีให้ที่แรงดันเร่งต่ำ รองรับความสามารถที่หลากหลาย ตั้งแต่การสร้างภาพความละเอียดสูงไปจนถึงการแมปองค์ประกอบด้วยความเร็วสูง

เลนส์ไฮบริด (HL)

เลนส์ไฮบริด (HL) ซึ่งเป็นการผสมผสานระหว่างเลนส์สนามไฟฟ้าสถิตและสนามแม่เหล็กไฟฟ้า รองรับการถ่ายภาพที่มีความละเอียดสูงและการวิเคราะห์ชิ้นงานต่างๆ ตั้งแต่วัสดุแม่เหล็กไปจนถึงฉนวน

NeoEngine (เครื่องยนต์ออปติคอลอิเล็กตรอนใหม่)

Neo Engine ซึ่งเป็นระบบควบคุมออปติคอลอิเล็กตรอนที่ล้ำหน้า ได้รับการปรับปรุงความแม่นยำของฟังก์ชั่นอัตโนมัติอย่างมีนัยสำคัญ รวมถึงความสามารถในการทำงานที่สูงขึ้นอย่างยอดเยี่ยม

เอเอฟเอส・เอซีบี

ก่อนปรับโฟกัสอัตโนมัติ

หลังการปรับโฟกัสอัตโนมัติ

ตัวอย่าง: Sn อนุภาคนาโนบนคาร์บอน
แรงดันเร่ง: 15 kV, WD: 2 มม., โหมดสังเกตการณ์: BD, ตัวตรวจจับ: UED, กำลังขยาย: x200,000

ACL (เลนส์ควบคุมมุมรูรับแสง)

JSM-F100 รวมเลนส์ควบคุมมุมรูรับแสง (ACL) ACL ยับยั้งการแพร่กระจายของอิเล็กตรอนที่ตกกระทบเพื่อรักษาโพรบที่เล็กที่สุดไว้เสมอ สิ่งนี้ทำได้โดยการควบคุมมุมรับแสงที่เหมาะสมที่สุดสำหรับการเปลี่ยนแปลงของกระแสโพรบจำนวนมาก ทำให้สามารถดำเนินการ SEM ได้อย่างราบรื่น รวมถึงการถ่ายภาพความละเอียดสูงและการวิเคราะห์เอ็กซ์เรย์ เมื่อใช้ร่วมกับปืนอิเล็กตรอน Schottky ในเลนส์ ACL จึงมีความสำคัญอย่างยิ่งในการสนับสนุน SEM อเนกประสงค์นี้

ระบบตรวจจับ

JSM-F100 สามารถรองรับเครื่องตรวจจับได้สี่ตัว เพื่อให้คุณสังเกตภาพ SEM ต่างๆ ที่สร้างจากเครื่องตรวจจับแต่ละตัวได้พร้อมกัน เช่นเดียวกับ SEM แบบนอกเลนส์ทั่วไป LED (ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนตัวล่าง) และ RBED ที่เป็นอุปกรณ์เสริม (ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนที่กระเจิงกลับแบบหดได้) มีจำหน่าย นอกจากนี้ JSM-F100 ยังกำหนดค่าตัวตรวจจับในเลนส์สองตัวของ UED มาตรฐาน (ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนบน) และ USD เสริม (ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิบน) UED สร้างภาพ SEM ที่ผสมอิเล็กตรอนทุติยภูมิและอิเล็กตรอนที่กระจัดกระจายในมุมสูง USD ตรวจพบอิเล็กตรอนทุติยภูมิพลังงานต่ำดักจับโดยตัวกรองพลังงานใต้ UED เพื่อสร้างภาพ SEM

■UED: อิเล็กตรอนที่กระจายกลับมุมสูง
(ข้อมูลองค์ประกอบและผลึก)

■RBED: อิเล็กตรอนที่กระจายกลับ
(ข้อมูลองค์ประกอบ ผลึก และภูมิประเทศ)

■USD: อิเล็กตรอนทุติยภูมิ
(ข้อมูลทางสัณฐานวิทยาของพื้นผิว)

■SED: อิเล็กตรอนทุติยภูมิและกระจายกลับ
(ข้อมูลภูมิประเทศ)

ห้องแล็บสไมล์วิว™

สไมล์เลนาวี _{*ตัวเลือก}

SMILENAVI เป็นเครื่องมือผู้ช่วยที่ออกแบบมาสำหรับผู้เริ่มต้นเพื่อให้การดำเนินการ SEM พื้นฐานราบรื่น เมื่อผู้ปฏิบัติงานคลิกปุ่มที่เหมาะสมตามที่ระบุในผังงาน SMILENAVI SEM GUI จะเชื่อมโยงกับการดำเนินการคลิกสำหรับคำแนะนำของผู้ปฏิบัติงาน เนื่องจาก GUI แสดงขั้นตอนการทำงานและตำแหน่งของปุ่ม ผู้ปฏิบัติงานจะสามารถใช้งาน SEM ได้โดยไม่ต้องใช้ SMILENAVI

ลิงค์

ข่าวประชาสัมพันธ์
การเปิดตัวกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดสนาม Schottky ใหม่ JSM-F100 ― ระดับต่อไปของการวิเคราะห์อัจฉริยะใน FE-SEM สำหรับการรวมความละเอียดสูงและความสามารถในการทำงาน ―

JSM-F100 เนื้อหาพิเศษ　

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

คุณสมบัติ

รายละเอียดเครื่องตรวจจับ DrySDTM 60 มม² 133 eV หรือน้อยกว่า B ถึง U

ตัวเลือกหลัก

• ฟังก์ชั่นสูญญากาศต่ำ

• เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบสะท้อนกลับแบบยืดหดได้ (RBED)

• เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิตอนบน (USD)

• เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิต่ำ (LVSED)

• การสแกนเครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบส่งกำลัง (STEM)

• ระบบการเลี้ยวเบนกลับของอิเล็กตรอน (EBSD)

• เอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายความยาวคลื่น (WDS)

• สเปกโตรมิเตอร์เอ็กซ์เรย์แบบอ่อน (SXES)

• เครื่องตรวจจับ Cathodoluminescence (CL)

• ห้องแลกเปลี่ยนตัวอย่าง

• ระบบนำทางบนเวที (SNS)

• กล้องแชมเบอร์

• ตารางการทำงาน

• แผงควบคุมการทำงาน

• แทร็กบอล

• สไมล์เลนาวี

• ตัวกรอง LIVE-AI

• แผนที่สไมล์วิว™

ดาวน์โหลดแคตตาล็อก

JSM-F100 กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดสนาม Schottky

การใช้งาน

ใบสมัคร JSM-F100

เคล็มโน้ต

ข้อมูลเพิ่มเติม