การถ่ายโอนการแยกอากาศ

ตัวจับยึดที่แสดงในรูปด้านล่างสามารถรองรับปลายตัวจับยึด TEM ช่วยให้สามารถตัดขวางพื้นที่กว้างโดยใช้ CP และการกัดฟิล์มบางโดยใช้ FIB-SEM ได้ภายในตัวจับยึดเดียวกัน
ข้อดีอีกประการหนึ่งของที่ยึดนี้คือไม่จำเป็นต้องใช้แหนบจับกริด FIB โดยตรงหลังจากการตัดแบบบาง แต่สามารถใส่ปลาย TEM พร้อมกริด FIB ที่ติดตั้งไว้ในที่ยึดได้ ระบบนี้ช่วยลดความเสี่ยงที่จะเกิดความเสียหายเมื่อจับชิ้นงาน TEM ขนาดเล็กได้อย่างมาก การออกแบบที่แยกอากาศยังทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการจับชิ้นงาน TEM ในกล่องใส่ถุงมือ โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับวัสดุที่ไวต่ออากาศ เช่น ชิ้นส่วนแบตเตอรี่

ขั้นตอนมีดังนี้: ในระหว่างการตัดขวาง แบตเตอรี่จะถูกหนีบเข้ากับตัวยึดแบบคลิป และใช้ CP ในการเตรียมหน้าตัด เมื่อตัดขวางเสร็จแล้ว ตัวยึดจะถูกปิดและถ่ายโอนไปยัง FIB-SEM ในสภาพแวดล้อมที่แยกอากาศเพื่อสังเกตการณ์และวิเคราะห์ เมื่อระบุพื้นที่ที่ต้องการสำหรับการสังเกตการณ์ TEM แล้ว FIB จะประมวลผลบล็อกและถ่ายโอนไปยังปลายตัวยึด TEM โดยใช้หัววัด จากนั้น FIB จะทำการทำให้บางลงแบบ Lamella เพื่อให้ได้ความหนาที่เหมาะสมสำหรับการสังเกตการณ์ TEM บล็อกจะถูกปิดอีกครั้งและถ่ายโอนไปยังกล่องเก็บของโดยไม่ให้อากาศเข้าไป โดยติดตั้งปลาย TEM ไว้บนตัวยึด TEM ที่แยกอากาศและนำออกจากกล่องเก็บของ
เครื่องมือนี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อให้สามารถสังเกตการณ์ TEM ในพื้นที่ที่เลือกจากภูมิภาคหน้าตัดกว้างได้อย่างมีประสิทธิภาพและปลอดภัย