การวิเคราะห์โครงสร้างนาโนของพื้นผิวใน Auger-XPS ที่แก้ไขด้วยมุม การวิเคราะห์พื้นผิวที่มีความไวสูงโดยใช้ ARXPS

โฟโตอิเลคตรอนสเปกโทรสโกปีของรังสีเอกซ์แบบปรับมุม (ARXPS) เป็นเทคนิคในการควบคุมความลึกในการตรวจจับของตัวอย่างโดยการเปลี่ยนมุมเอียงของตัวอย่างโดยอ้างอิงกับเครื่องวิเคราะห์ ซึ่งแตกต่างจากการทำโปรไฟล์เชิงลึกด้วยไอออนสปัตเตอร์ ARXPS มีความสามารถในการวิเคราะห์แบบไม่ทำลายพื้นที่ที่อยู่ลึกลงไปถึงความลึกของการหลบหนีของโฟโตอิเล็กตรอน ข้อมูลที่ได้รับใน ARXPS กำหนดสิ่งต่อไปนี้: