SB-89010EUVC
เครื่องทำความสะอาด UV เอ็กไซเมอร์ (สำหรับเวเฟอร์)

คุณสมบัติ

• เวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วแบบโหลดได้

• การทำความสะอาดพื้นผิวเวเฟอร์ก่อนการเคลือบสารกันซึม

• การกำจัดสารอินทรีย์ออกจากพื้นผิวเวเฟอร์

• ปรับปรุงการยึดเกาะระหว่างสารเคลือบและเวเฟอร์ (*ขึ้นอยู่กับชนิดของสารเคลือบหรือน้ำยาเร่งปฏิกิริยา การยึดเกาะอาจไม่ดีขึ้น)

• ลดการเกิดโอโซนให้น้อยที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ เนื่องจากเกิดขึ้นในสภาวะสุญญากาศ
  ปริมาณการสร้างโอโซน: 0.0012 มิลลิกรัม/นาที
  น้อยกว่า 0.01 ppm บริเวณรอบๆ อุปกรณ์

เครื่องทำความสะอาดเอ็กไซเมอร์ยูวีสามารถกำจัดสิ่งปนเปื้อนที่เกิดจากสารอินทรีย์บนพื้นผิวเวเฟอร์ได้ โดยใช้แสงยูวีที่มีความยาวคลื่น 172 นาโนเมตร ซึ่งปล่อยออกมาจากเอ็กไซเมอร์ซีนอน (Xe)

การกำจัดคราบตกค้าง

การทำความสะอาดก่อนกระบวนการกัดกรดจะช่วยขจัดคราบเรซินที่หลงเหลืออยู่บนพื้นผิวเวเฟอร์ได้

โปรดดูที่ ส่วนนี้ สำหรับกลไกการทำความสะอาดตัวอย่างและการปรับสภาพให้มีคุณสมบัติชอบน้ำโดยใช้เครื่องทำความสะอาด UV แบบเอ็กไซเมอร์

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

※ หมายเหตุ: ข้อมูลจำเพาะเป็นไปตามที่รับประกันเมื่อไม่มีการดัดแปลงหรือเพิ่มเติม และอาจมีการเปลี่ยนแปลงโดยไม่ต้องแจ้งให้ทราบล่วงหน้า

ดาวน์โหลดแคตตาล็อก

SB-89010EUVC เครื่องทำความสะอาด UV แบบเอ็กไซเมอร์ (สำหรับเวเฟอร์)

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

อิเล็กตรอนบีมลิโทกราฟีซิสเทม

กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEM)