JEM-3200FS Field Emission Energy Filter กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน
ยกเลิก
JEM-3200FS Field Emission Electron Microscope ติดตั้งปืนอิเล็กตรอนแบบปล่อยประจุภาคสนามที่มีแรงดันไฟฟ้าเร่ง 300 kV และตัวกรองพลังงานในคอลัมน์ซึ่งแสดงประสิทธิภาพสูง กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนนี้นำเสนอโซลูชั่นสำหรับการวิจัยทางชีววิทยาและวัสดุต่างๆ
คุณสมบัติ
ตัวกรองพลังงานในคอลัมน์ (ตัวกรองโอเมก้า)
ตัวกรองพลังงานในคอลัมน์ซึ่งติดตั้งอยู่ในระบบเลนส์แสดงภาพ ทำให้ช่วงการขยายภาพเทียบเท่ากับที่ได้จากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบเดิม และทำให้ภาพที่กรองด้วยพลังงานและสเปกตรัมการสูญเสียพลังงานหาได้ง่าย ระบบออปติคัลอิเล็กตรอนของฟิลเตอร์พลังงาน (ฟิลเตอร์โอเมก้า) ได้รับการออกแบบมาเพื่อลดความผิดเพี้ยนของภาพ และในที่สุด การบิดเบือนที่เหลือก็ถูกกำจัดในโรงงานก่อนจัดส่ง
ระบบกล้องที่มีความไวแสงสูงที่เป็นตัวเลือกและระบบประมวลผลภาพเสริมทำให้สามารถสร้างระบบแมปองค์ประกอบและระบบสเปกโตรสโกปีการสูญเสียพลังงานได้
ระบบควบคุมใหม่
การจัดระบบฟังก์ชันพื้นฐานของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน เช่น ปืนอิเล็กตรอน ระบบออปติคัลอิเล็กตรอน โกนิโอมิเตอร์ และระบบการอพยพ ทำให้เกิดระบบควบคุมที่มีประสิทธิภาพสูงและมีความเสถียรสูง
การใช้วินโดวส์®*1 สำหรับหน้าจอรูปภาพและส่วนต่อประสานผู้ใช้ทำให้สามารถตั้งโปรแกรมการทำงานและการควบคุมส่วนกลางของสิ่งที่แนบมาได้
โกนิโอมิเตอร์ใหม่
โกนิโอมิเตอร์ที่เป็นระบบใหม่พร้อมองค์ประกอบการขับเคลื่อนแบบเพียโซอิเล็กทริกแสดงให้เห็นการปรับปรุงอย่างมากในการเปลี่ยนชิ้นงานด้วยกำลังขยายสูง*2.
ประกาศ: Windows เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Microsoft Corporation ในสหรัฐอเมริกาและประเทศอื่นๆ
เฉพาะองค์ประกอบเพียโซอิเล็กทริกเท่านั้นที่รวมอยู่ในหน่วยพื้นฐาน แหล่งจ่ายไฟสำหรับองค์ประกอบเพียโซอิเล็กทริกเป็นทางเลือก
ข้อบ่งชี้จำเพาะ
| องค์ประกอบ※ 1 | ความละเอียดสูงพิเศษ (UHR) |
ความละเอียดสูง (ทรัพยากรบุคคล) |
ความเอียงของชิ้นงานสูง (HT) |
ความคมชัดสูง (เอชซี) |
|---|---|---|---|---|
| ความละเอียด (นาโนเมตร) | ||||
| จุด ขัดแตะ |
0.17 0.1 |
0.19 0.1 |
0.21 0.1 |
0.26 0.14 |
| ความละเอียดพลังงาน | 0.9 eV (ศูนย์การสูญเสีย FWHM) | |||
| แรงดันไฟเร่ง | 300kV,200kV,100kV※ 2 | |||
| ขนาดขั้น กะพลังงาน |
ขั้นต่ำ 100V สูงสุด 3,000 V (ขั้นละ 0.2 V) |
|||
| แหล่งกำเนิดอิเล็กตรอน | ||||
| Emitter | ZrO/W(100) ชอตต์กี อิมิตเตอร์ | |||
| ความสว่าง | ≧7×108 A／ซม2・อาวุโส | |||
| สูญญากาศ | เกี่ยวกับ 3×10-8Pa | |||
| โพรบปัจจุบัน | 0.5nA สำหรับโพรบ 1nm | |||
| เสถียรภาพของพลังงาน | ||||
| บัญชี แรงดันไฟฟ้า | 2 × 10-6/นาที | |||
| OL ปัจจุบัน | 1 × 10-6/นาที | |||
| กรองเลนส์ปัจจุบัน | 1 × 10-6/นาที | |||
| เลนส์ใกล้วัตถุ | ||||
| ความยาวโฟกัส | 2.7 มม | 3.0 มม | 3.5 มม | 3.9 มม |
| ความคลาดทรงกลม | 0.6 มม | 1.1 มม | 1.4 มม | 3.2 มม |
| ความผิดปกติของสี | 1.5 มม | 1.8 มม | 2.2 มม | 3.0 มม |
| ขั้นตอนขั้นต่ำ | นาโนเมตร 1.0 | นาโนเมตร 1.4 | นาโนเมตร 1.5 | นาโนเมตร 4.1 |
| ขนาดสปอต (เส้นผ่านศูนย์กลาง nm φ) | ||||
| โหมด TEM | เพื่อ 2 5 | เพื่อ 2 5 | เพื่อ 7 30 | |
| โหมด EDS | เพื่อ 0.4 1.6 | เพื่อ 0.5 2.4 | เพื่อ 4 20 | |
| โหมด NBD | เพื่อ 0.4 1.6 | เพื่อ 0.5 2.4 | - | |
| โหมด CBD | เพื่อ 0.4 1.6 | เพื่อ 0.5 2.4 | - | |
| พารามิเตอร์สำหรับการเลี้ยวเบนของลำแสงคอนเวอร์เจนซ์ | ||||
| มุมบรรจบกัน(2α) | 1.5 ถึง 20 mrad | - | ||
| มุมรับ | ± 10 ° | - | ||
| การอวดอ้าง | ||||
| โหมด MAG | ×2,500 ถึง 1,500,000 | ×2,000 ถึง 1,200,000 | ×1,500 ถึง 1,200,000 | |
| โหมด LOW MAG | ×100 ถึง 3,000 | |||
| โหมด SA MAG | ×8,000 ถึง 600,000 | ×6,000 ถึง 500,000 | ×5,000 ถึง 500,000 | |
| สาขาดู | ความกว้างของร่องที่ 10 eV 60 มม. (บนพื้นผิวฟิล์ม) ความกว้างของร่องที่ 2 eV 25 มม. (บนพื้นผิวฟิล์ม) |
|||
| ความยาวกล้อง | ||||
| การเลี้ยวเบน SA | เพื่อ 200 2,000 มม | เพื่อ 250 2,500 มม | เพื่อ 400 3,000 มม | |
| การกระจายตัวของ EELS | ||||
| บนร่องเลือกพลังงาน | 0.85 μm/eV ที่ 300 kV | |||
| บนพื้นผิวฟิล์ม | 100 ถึง 220 μm/eV ที่ 300kV | |||
| ห้องตัวอย่าง | ||||
| ช่วงการเดินทางของชิ้นงานทดสอบ (X,Y;Z)(มม.) | เอ็กซ์, ย : 2 ซี : 0.2 |
เอ็กซ์, ย : 2 ซี : 0.4 |
||
| ตัวอย่างเอียง (X/Y) | ±25°／±25°※ 3 | ±35°／±30°※ 3 | ±42°／±30°※ 3 | ±38°／±30°※ 3 |
| EDS※ 4 | ||||
| มุมทึบ | 0.13 วิ | 0.09 วิ | ||
| มุมบินขึ้น | ° 25 | ° 20 | ||
ระบุการกำหนดค่าอย่างใดอย่างหนึ่ง (UHR, HR, HT หรือ HC) เมื่อสั่งซื้อ JEM-3200FS
100 kV และ 200 kV เป็นไปได้เมื่อใช้สวิตช์ไฟฟ้าลัดวงจรที่เป็นอุปกรณ์เสริมสำหรับท่อเร่งความเร็ว
เมื่อใช้ตัวจับยึดชิ้นงานแบบเอียง (EM-31630)
จำเป็นต้องมี EDS เสริม ข้อมูลจำเพาะใช้กับ 30 mm2 เครื่องตรวจจับ
การใช้งาน
แอปพลิเคชัน JEM-3200FS
รูปภาพ
ข้อมูลเพิ่มเติม
คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?
ไม่
โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป