JSPM-4500A/S กล้องจุลทรรศน์โพรบสแกน UHV

UHV-SPM จาก JEOL ซึ่งแสวงหาโลกปรมาณูอย่างต่อเนื่อง

คุณสมบัติ

เทคโนโลยีที่รองรับ SPM

สแกนเนอร์ที่ทำร่วมกันแบบเรียงซ้อน

เนื่องจากสแกนเนอร์ซึ่งเป็นหัวใจของ SPM จึงมีการใช้งานสแกนเนอร์โหมดการแชร์แบบเรียงซ้อนที่พัฒนาโดย aJEOL มันกำจัดความผิดเพี้ยนของภาพที่เกิดจากการรบกวนระหว่างองค์ประกอบเพียโซและตอบสนองความต้องการสามประการเพื่อให้ได้ความถี่เสียงสูง - "พกพาสะดวก" "เล็ก" และ "น้ำหนักเบา"

ขั้นตอนตัวอย่าง

ขั้นตอนของชิ้นงานขึ้นอยู่กับเทคนิคที่เกี่ยวข้องกับ EM ที่มีความแม่นยำสูงที่สุดของ JEOL เป็นโครงสร้างด้านบน โครงสร้างนี้ไม่เพียงแต่ประกอบด้วยแนวคิดของการควบคุมนาโนเมตรของชิ้นงานเท่านั้น แต่ยังรวมถึงแนวคิดเรื่อง ด้วยการกระจายความร้อนจากจุดศูนย์กลาง สเตจช่วยให้สังเกต SPM ได้อย่างเสถียร จึงแสดงประสิทธิภาพสำหรับการสังเกตไซต์ นอกจากนี้ พื้นผิวของชิ้นงานทดสอบยังถูกเปิดออกอย่างมาก ทำให้สามารถเพิ่มฟังก์ชันใหม่ๆ ได้มากมาย

กลไกการเคลื่อนไหวหยาบ

กลไกเหล่านี้ต้องการการเคลื่อนไหวที่ดีที่สุดใน SPM ช่วยให้ทิปเข้าใกล้บริเวณนาโนเมตรได้อย่างปลอดภัยโดยไม่ทำให้ทิปกระทบกับชิ้นงานทดสอบ ทิปสามารถเคลื่อนไปทางขวาได้โดยอัตโนมัติด้วยมอเตอร์ขับเคลื่อนจากด้านนอกของสุญญากาศ

วงจรควบคุม

กระแสในอุโมงค์ที่ตรวจพบโดย SPM เป็นกระแสที่อ่อนของคำสั่งนาโนแอมแปร์ ทำให้จำเป็นต้องศึกษาปัญหาสัญญาณรบกวนอย่างต่อเนื่อง นอกจากนี้ วงจรป้อนกลับจะต้องมีความทนทานต่อการแกว่งอย่างเพียงพอ เทคนิคเหล่านี้เสร็จสมบูรณ์แล้วผ่านการพัฒนากล้องจุลทรรศน์แบบส่องกราด ซึ่งมีผลกับ SPM ด้วย วงจรควบคุมนี้สามารถใช้ได้ทั่วไปสำหรับ AFM

ระบบ WINSPM

ระบบ WINSPM เป็นระบบการควบคุมและเก็บข้อมูลแบบบูรณาการที่พัฒนาขึ้นสำหรับกล้องจุลทรรศน์โพรบสแกน ไม่เพียงแต่ช่วยให้สังเกต SPM, lV, STS, AFM, Force-Curve และ LFM ได้เท่านั้น แต่ยังสามารถป้อนข้อมูลพร้อมกันและแสดงผลพร้อมกันได้ถึง 4 ช่องสัญญาณ นอกจากนี้ยังมีฟังก์ชั่นการประมวลผลภาพมากกว่า 100 รายการและฟังก์ชั่นการประมวลผลกราฟิกมากกว่า 30 รายการ การใช้ MS-win-dows ช่วยให้สามารถเปลี่ยนเป็นแอปพลิเคชันอื่น (TIFFtype) และการเชื่อมต่อเครือข่ายได้อย่างง่ายดาย

ระบบ Window ที่ใช้งานง่าย

ซอฟต์แวร์ WINSPM ซึ่งทำงานบน MS-Win-dows มีสภาพแวดล้อมการทำงานของเมาส์เต็มรูปแบบ รองรับ GUI เช่น ระบบเมนูและไดอะล็อกบ็อกซ์ ใครก็ควบคุมได้ง่ายๆ นอกจากนี้ยังมาพร้อมกับหน่วยความจำความจุสูง จึงสามารถทำงานได้อย่างราบรื่นแม้ว่าจะเปิดหน้าต่างหลายบานพร้อมกันก็ตาม

แผงควบคุมเพื่อประสิทธิภาพการทำงานสูงสุด

ความสะดวกในการใช้งานของแผงควบคุมมีความสำคัญมากสำหรับการสแกน AFM และ SPM ระบบ WINSPM มีพารามิเตอร์ที่ใช้บ่อยซึ่งได้รับการคัดเลือกมาอย่างดีจากผลลัพธ์ที่ผ่านมา การตั้งค่าพารามิเตอร์ปลีกย่อยสามารถทำได้อย่างอิสระโดยใช้กล่องโต้ตอบ ฟังก์ชันต่างๆ เช่น STS, CITS และ LITHOGRAPHY มีให้เป็นมาตรฐานทั้งหมด

ฟังก์ชั่นการประมวลผลภาพมากมาย

ระบบ WINSPM มีฟังก์ชันการประมวลผลภาพมากกว่า 100 ชนิดที่พัฒนาขึ้นโดยเฉพาะสำหรับ SPM ซึ่งรวมถึงการแสดงผล 3 มิติ การทำโปรไฟล์ FFT การขยาย และการวิเคราะห์อนุภาค ระบบ WINSPM มีจานแม่เหล็กเป็นมาตรฐาน ช่วยให้สามารถสำรองข้อมูลสำคัญที่ส่งออกข้อมูลไปยังเครื่องพิมพ์เลเซอร์หรือเครื่องถ่ายเอกสารสีได้เต็มรูปแบบ ฟังก์ชันเสริมประกอบด้วยการเชื่อมต่อจอภาพที่สอง ซึ่งใช้เฉพาะสำหรับการแสดงภาพ เอาต์พุตแบบเรียลไทม์ไปยัง VTR และอินพุตและการประมวลผลภาพจาก VTR

ระบบอพยพแยกอิสระ 3 ห้อง

ระบบการอพยพด้วยสุญญากาศสูงพิเศษประกอบด้วยสามห้อง ซึ่งสามารถอพยพแยกออกจากกันได้ ดังนั้น ระบบจึงถูกสร้างขึ้นเป็นห้องมัลติทาสก์ซึ่งให้แต่ละห้องมีบทบาทตามลำดับ ในขณะเดียวกัน ระบบการอพยพนี้มีความสมดุลโดยรวมเป็นอย่างดี เพื่อให้มีสุญญากาศสูงเป็นพิเศษ

ระบบแยกการสั่นสะเทือน

ระบบแยกการสั่นสะเทือนเป็นปัจจัยสำคัญสำหรับ SPM ซึ่งมีความละเอียดระดับอะตอมหรือโมเลกุล การสั่นสะเทือนเชิงกลถูกแยกออกอย่างสมบูรณ์โดยการเชื่อมต่อโดยตรงกับห้องสุญญากาศและ SPM เข้ากับระบบแยกการสั่นสะเทือนแบบแขวนลอยด้วยอากาศแบบ gimbal-piston ซึ่งมีลักษณะการแยกการสั่นสะเทือนในแนวตั้งและแนวนอนที่ยอดเยี่ยม และยังใช้ SPM พื้นฐานเป็นการสั่นสะเทือนประเภทหมวกด้านบน กลไกซึ่งแยกการสั่นสะเทือนทั้งแนวนอนและแนวตั้ง

ฟังก์ชั่นเพิ่มเติมมากมาย

สิ่งที่ทำให้ระเหิด

สิ่งนี้ใช้เพื่อดูดระเหยตัวอย่างที่มีอะตอมแตกต่างจากอะตอมของตัวอย่าง มีเส้นผ่านศูนย์กลาง 70 มม. สองตัว พอร์ตที่หันเข้าหาชิ้นงานทดสอบ มีการเตรียมการสำหรับการระเหยจากด้านล่างที่มุม 40° และการระเหยสามารถทำได้โดยไม่ทำให้ส่วนอื่นปนเปื้อนนอกเหนือจากชิ้นงานเนื่องจากแหล่งกำเนิดไอออนเป็นแบบ collimat-ed

อุปกรณ์ทำความร้อน

การให้ความร้อนแก่ชิ้นงานทดสอบเป็นฟังก์ชันที่ขาดไม่ได้สำหรับการทำความสะอาดชิ้นงานทดสอบและสำหรับการวิจัยการเปลี่ยนเฟสที่อุณหภูมิสูงและโครงสร้างพื้นผิว นอกจากนี้ MBE ยังต้องการฟังก์ชันเพื่อให้ความร้อนแก่ชิ้นงานทางอ้อม อุปกรณ์ทำความร้อนได้รับการพัฒนาเพื่อตอบสนองความต้องการเหล่านี้ ไม่เพียงช่วยให้ชิ้นงานกระพริบเท่านั้น แต่ยังช่วยให้สังเกตชิ้นงานได้ในขณะที่ให้ความร้อนด้วย

อุปกรณ์ระบายความร้อน

เช่นเดียวกับการให้ความร้อนกับชิ้นงาน การทำให้ชิ้นงานเย็นลงก็จำเป็นเช่นกันสำหรับการวิจัยการเปลี่ยนเฟสของสาร...ในกรณีนี้ภายใต้อุณหภูมิต่ำ มีประสิทธิภาพอย่างยิ่งสำหรับการสังเกตวัสดุตัวนำยิ่งยวดที่อุณหภูมิต่ำ

กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดสุญญากาศสูงพิเศษ (UHV-SEM)

SPM ซึ่งเหมาะสำหรับการสังเกตการณ์ด้วยภาพระดับอะตอมและโมเลกุล ไม่เหมาะสำหรับการสังเกตการณ์ในบริเวณกว้าง อย่างไรก็ตาม เป็นเรื่องปกติที่ผู้ใช้ SPM จะต้องการสังเกตภาพที่ขยายในขอบเขตการมองเห็นที่ต้องการ การเพิ่มฟังก์ชัน SEM ไม่เพียงรับประกันการระบุพื้นที่การรับชมด้วย SPM แต่ยังให้การสังเกตที่หลากหลายจากกำลังขยายต่ำ การสังเกตการสังเกต SPM นอกจากนี้ ความสามารถในการสังเกตความสัมพันธ์ระหว่างชิ้นงานกับส่วนปลายและสถานะส่วนปลายนั้นมีประสิทธิภาพมากในการเพิ่มประสิทธิภาพการวิจัย คอลัมน์ที่พัฒนาขึ้นใหม่สำหรับ UHV-SEM นี้ไม่ใช้น้ำหล่อเย็นเพื่อแยกการสั่นสะเทือน และถูกสร้างขึ้นเพื่อไม่ให้สูญเสียสุญญากาศสูงพิเศษ สิ่งนี้ได้กำจัดอิทธิพลของการสั่นสะเทือนต่อการสังเกตภาพและความกลัวการปนเปื้อนของชิ้นงาน การพัฒนา SPM-SEM สุญญากาศสูงพิเศษทำให้ความสามารถในการขยายของ SPM โดยการเสริมข้อบกพร่องที่เกี่ยวข้อง

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

ข้อมูลเพิ่มเติม