SM-92100EUVC
EXCIMER ยูวี คลีนเนอร์

คุณสมบัติ

• ลดการปนเปื้อนระหว่างการสังเกตการณ์ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน

• ทำความสะอาดชิ้นงานและเครื่องมือ

• Hydrophilizes พื้นผิวของชิ้นงานทดสอบ

พื้นที่ปนเปื้อนสีเข้มจะค่อยๆ ก่อตัวขึ้นบนพื้นผิวของชิ้นงานทดสอบระหว่างการสังเกตด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน
การปนเปื้อนที่พื้นผิวนี้สามารถปกปิดโครงสร้างพื้นผิวที่แท้จริงของชิ้นงานทดสอบหรือทำให้ความละเอียดของชิ้นงานลดลงในพื้นที่ที่ปนเปื้อน
เคยเห็น 'Dark Square' ไหม? สิ่งนี้เกิดขึ้นเมื่อสารปนเปื้อนที่มีส่วนประกอบของไฮโดรคาร์บอนบนพื้นผิวของชิ้นงานถูกฉายรังสีโดยลำแสงอิเล็กตรอน ส่งผลให้เกิดการสะสมของคาร์บอน
Excimer UV Cleaner ใช้แสง UV (การกระตุ้น Xe ที่ 172 นาโนเมตร) เพื่อกำจัดการปนเปื้อนบนพื้นผิวชิ้นงานทดสอบ ระบบนี้ยังสามารถใช้เพื่อไฮโดรฟิลไลซ์พื้นผิวของชิ้นงานทดสอบได้อีกด้วย

ลดการปนเปื้อนระหว่างการสังเกตการณ์

การสังเกตโครงสร้างพื้นผิวที่ละเอียดใน SEM ต้องใช้การถ่ายภาพที่แรงดันไฟฟ้าต่ำ ภายใต้เงื่อนไขเหล่านี้
การปนเปื้อนบนพื้นผิวสามารถปกปิดการสังเกตของโครงสร้างที่ละเอียดนี้ได้

การสังเกตดำเนินการด้วยกำลังขยาย 100,000 เท่า (รูปซ้าย) จากนั้นด้วยกำลังขยายต่ำกว่า 30,000 เท่า (รูปขวา) เมื่อชิ้นงานไม่ได้รับการประมวลผล (แถวบนสุด) ส่วนที่สังเกตได้ 100,000 ครั้งจะเปลี่ยนเป็นสีเข้มขึ้นและไม่ชัดเจน อย่างไรก็ตาม หลังจากทำความสะอาดโดยใช้ Excimer UV Cleaner (แถวล่าง) การปนเปื้อนที่เกิดจากการฉายรังสีของลำแสงอิเล็กตรอนจะน้อยลง เนื่องจากมีสารประกอบไฮโดรคาร์บอนบนพื้นผิวชิ้นงานทดสอบน้อยลง

การทำความสะอาดสิ่งปนเปื้อนที่เกาะติดกับพื้นผิวชิ้นงานทดสอบ

หากใช้หรือเก็บตัวอย่างไว้เป็นเวลานาน การปนเปื้อนจะสะสมเนื่องจากสารประกอบอินทรีย์ในสิ่งแวดล้อม

Excimer UV Cleaner สามารถกำจัดการปนเปื้อนที่เกิดจากสารอินทรีย์ในสภาพแวดล้อมที่แห้ง

ไฮโดรฟิไลเซชัน

เมื่อ Excimer UV Cleaner ฉายแสง UV ออกซิเจนที่เกิดปฏิกิริยาจะถูกสร้างขึ้นและสามารถสร้างกลุ่มฟังก์ชันที่มีขั้วบนพื้นผิวได้
ซึ่งช่วยเพิ่มความชอบน้ำ กระบวนการปรับสภาพเบื้องต้นนี้สามารถนำไปใช้เพื่อปรับปรุงการยึดเกาะเมื่อประมวลผลชิ้นงานสำหรับการสังเกต EM

กลไกการทำความสะอาดชิ้นงานทดสอบ
/ ไฮโดรฟิลไลเซชันโดยใช้ Excimer UV Cleaner

กระบวนการปนเปื้อนที่เกิดจากลำอิเล็กตรอน

กระบวนการทำความสะอาด

ความสูงของถาดใส่ตัวอย่างสามารถปรับให้พอดีกับชิ้นงานขนาดใหญ่ได้

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

* หมายเหตุ: ข้อมูลจำเพาะรับประกันเมื่อไม่มีการแก้ไขหรือเพิ่มเติมและอาจเปลี่ยนแปลงได้โดยไม่ต้องแจ้งให้ทราบล่วงหน้า

ดาวน์โหลดแคตตาล็อก

SM-92100EUVC เอ็กซ์ไซเมอร์ ยูวี คลีนเนอร์

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEM)