การปล่อยรังสีเอกซ์แบบนุ่มนวล
สเปกโตรมิเตอร์ (SXES)
Soft X-Ray Emission Spectrometer (SXES) เป็นสเปกโตรมิเตอร์ความละเอียดสูงพิเศษที่ประกอบด้วยตะแกรงเลี้ยวเบนแสงที่พัฒนาขึ้นใหม่และกล้อง X-ray CCD ความไวสูง
เช่นเดียวกับ EDS การตรวจจับแบบขนานสามารถทำได้ และการวิเคราะห์ความละเอียดพลังงานสูงพิเศษ 0.3 eV (มาตรฐาน Fermi-edge, Al-L) สามารถทำได้ ซึ่งเหนือกว่าความละเอียดด้านพลังงานของ WDS
คุณสมบัติ
Youtube
คลิกปุ่ม "เล่นซ้ำ" ในช่องด้านบน และภาพยนตร์จะเริ่มขึ้น (เป็นเวลา 4 นาที)
โครงร่างระบบ
การออกแบบระบบออปติคัลสเปกโตรมิเตอร์ที่พัฒนาขึ้นใหม่ช่วยให้สามารถตรวจวัดสเปกตรัมพร้อมกันด้วยพลังงานที่แตกต่างกัน โดยไม่ต้องเคลื่อนย้ายตะแกรงหรือเครื่องตรวจจับการเลี้ยวเบน (CCD) ด้วยความละเอียดพลังงานสูง การทำแผนที่การวิเคราะห์สถานะทางเคมีสามารถทำได้
การเปรียบเทียบ SXES, WDS และ EDS
สเปกตรัมสำหรับไททาเนียมไนไตรด์ด้วยวิธีการสเปกโตรมิเตอร์แบบต่างๆ
สำหรับไทเทเนียมไนไตรด์ พีคของ N-Kα และ Ti-Ll จะทับซ้อนกัน แม้แต่กับ WDS และการแปลงรูปคลื่นโดยใช้วิธีการทางคณิตศาสตร์ก็เป็นสิ่งจำเป็น ดังที่แสดงในภาพด้านล่าง มีความละเอียดด้านพลังงานสูงด้วย SXES ทำให้สามารถสังเกต TiLl ได้
ตารางเปรียบเทียบ
| ลักษณะ | SXES | EPMA (WDS) | EDS |
|---|---|---|---|
| ความละเอียด | 0.3 eV
(Fermi ขอบ Al-L) |
8 eV (FWHM@Fe-K) | 120-130 อีวี
(FWHM@Mn-K) |
| การวิเคราะห์สถานะพันธะเคมี | ใช่ | ใช่ (ส่วนใหญ่เป็นองค์ประกอบแสง) | ไม่ |
| การตรวจจับแบบขนาน | ใช่ | ไม่
(แต่เป็นไปได้หลายสเปกโตรมิเตอร์) |
ใช่ |
| องค์ประกอบสเปกตรัมและเครื่องตรวจจับ | ตะแกรงเลี้ยวเบน＋CCD | วิเคราะห์คริสตัล + ตัวนับสัดส่วน | SDD |
| เครื่องตรวจจับความเย็น | เพลเทียร์คูลลิ่ง | ไม่ต้องการ | เพลเทียร์คูลลิ่ง |
| ขีด จำกัด การตรวจจับ
(ค่าอ้างอิงด้วย B) |
20ppm | 100ppm | 5000ppm |
ตัวอย่างการวิเคราะห์แบตเตอรี่ Li-ion (LIB)
ตัวอย่างด้านล่างแสดงแผนที่พื้นที่ขนาดใหญ่ของตัวอย่าง LIB ที่มีสถานะการชาร์จต่างกัน SXES สามารถจับคู่จุดสูงสุดของ Li-K ได้ทั้งที่สถานะแถบเวเลนซ์ (ซ้าย) และสถานะกราวด์ (ตรงกลาง) แผนที่การกระจายคาร์บอน (ขวา) ยังสามารถเห็นฟังก์ชันบน LIB ที่คายประจุจนหมด
สเปกตรัมของตัวอย่าง Li-K ที่ชาร์จเต็มแล้ว
หมายเหตุ: ใน Li-oxide ตรวจพบการปล่อย Li-K ได้ยาก
ตัวอย่างการวัดองค์ประกอบแสง
การวัดสารประกอบคาร์บอนโดยใช้ SXES
สามารถวัดความแตกต่างระหว่างเพชร กราไฟต์ และพอลิเมอร์ได้ สามารถสังเกตความแตกต่างได้ด้วยพีคเพิ่มเติมจากการประสาน π และ σ เนื่องจากการทำแผนที่ใช้สเปกตรัมจากแต่ละพิกเซล สามารถสร้างแผนที่เพิ่มเติมสำหรับการเปลี่ยนแปลงสูงสุด 1 eV และจุดสูงสุดไหล่
การวัดสารประกอบไนโตรเจนต่างๆ
สำหรับไนโตรเจนเช่นกัน สามารถวิเคราะห์สถานะพันธะเคมีได้จากรูปร่างสูงสุดของสเปกตรัม รูปร่างพีคของไนเตรตและไนไตรด์แตกต่างกันโดยสิ้นเชิง และยังสามารถสังเกตรูปร่างยอดเฉพาะของเกลือแอมโมเนียมได้ ซึ่งไวต่อลำแสงมาก
ข้อบ่งชี้จำเพาะ
ความละเอียดพลังงาน 0.3eV (สเปกตรัม Al-L วัดได้ ＠73eV)
ช่วงพลังงานที่ได้มา: Diffraction grating JS50XL ภูมิภาคพลังงาน 50-170eV
ช่วงพลังงานที่ได้มา: Diffraction grating JS200N ภูมิภาคพลังงาน 70-210eV
จุดติดตั้งห้องสเปกโตรมิเตอร์:
EPMA WDSport: พอร์ต No.2 (ด้านขวาจากด้านหน้า)
พอร์ต FE-SEM WDS (ด้านหลังซ้ายจากด้านหน้า)
ขนาดสเปกโตรมิเตอร์: กว้าง 168 มม. ×ลึก 348 มม. ×สูง 683 มม
ระยะทางรวมทั้ง CCD จากอินเทอร์เฟซ
มวลสเปกโตรมิเตอร์ 25kg
รูปแบบที่ใช้งานได้
EPMA：JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 ไพรม์, JSM-7100F
การใช้งาน
ใบสมัคร SXES
คู่มือ Soft X-ray Emission Spectra เวอร์ชัน 7.0 (ธ.ค. 2021)
คู่มือ SXES
กรุณาตรวจสอบที่นี่สำหรับรายละเอียด
สินค้าที่เกี่ยวข้อง
สินค้าที่เกี่ยวข้อง
JSM-7900F กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดสนาม Schottky
JSM-7900F เป็น FE-SEM รุ่นเรือธงใหม่ของ JEOL ซึ่งรวมเอาภาพที่มีความละเอียดสูง ความเสถียรที่เพิ่มขึ้น และความสะดวกในการใช้งานที่ยอดเยี่ยมสำหรับผู้ปฏิบัติงานทุกระดับในสภาพแวดล้อมอเนกประสงค์
รุ่น JSM-IT800 Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope
JSM-IT800 รวมเอา "ปืนอิเล็กตรอนในเลนส์ Schottky Plus field emission" ของเราสำหรับการถ่ายภาพความละเอียดสูงเพื่อทำแผนที่องค์ประกอบอย่างรวดเร็ว และระบบควบคุมอิเล็กตรอนแบบออปติคอล "Neo Engine" ที่เป็นนวัตกรรมใหม่ และระบบของ GUI "SEM Center" ที่ไร้รอยต่อ สำหรับการทำแผนที่องค์ประกอบอย่างรวดเร็วด้วยเอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายพลังงาน (EDS) ของ JEOL ที่ฝังตัวอย่างสมบูรณ์เป็นแพลตฟอร์มทั่วไป
JSM-IT800 ช่วยให้สามารถเปลี่ยนเลนส์ใกล้วัตถุของ SEM เป็นโมดูลได้ โดยนำเสนอเวอร์ชันต่างๆ เพื่อตอบสนองความต้องการของผู้ใช้ที่หลากหลาย JSM-IT800 มีให้เลือก XNUMX รุ่นสำหรับเลนส์ใกล้วัตถุที่แตกต่างกัน: รุ่นเลนส์ไฮบริด (HL) ซึ่งเป็น FE-SEM สำหรับการใช้งานทั่วไป รุ่นเลนส์ซูเปอร์ไฮบริด (SHL/SHL สองเวอร์ชันที่มีฟังก์ชันต่างกัน) ซึ่งช่วยให้สามารถสังเกตและวิเคราะห์ความละเอียดสูงขึ้น และรุ่นกึ่งเลนส์ที่พัฒนาขึ้นใหม่ (i/is สองรุ่นที่มีฟังก์ชันต่างกัน) ซึ่งเหมาะสำหรับการสังเกตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
นอกจากนี้ JSM-IT800 ยังสามารถติดตั้งอุปกรณ์ตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจายรังสีสะท้อนกลับ (SBED) แบบใหม่และเครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระเจิงกลับเอนกประสงค์ (VBED) ได้อีกด้วย SBED ช่วยให้ได้ภาพที่มีการตอบสนองสูง และสร้างคอนทราสต์ของวัสดุที่คมชัดแม้ใช้แรงดันไฟฟ้าที่เร่งความเร็วต่ำ ในขณะที่ VBED สามารถช่วยได้ภาพ 3 มิติ ภูมิประเทศ และคอนทราสต์ของวัสดุ ดังนั้น JSM-IT800 สามารถช่วยให้ผู้ใช้ได้รับข้อมูลที่ไม่สามารถหาได้และเพื่อแก้ปัญหาในการวัด
JSM-F100 กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดสนาม Schottky
JSM-F100 ไม่เพียงแต่รวมเอาปืนอิเล็กตรอนในเลนส์ Schottky Plus ที่ได้รับการยกย่องอย่างสูง และ "Neo Engine" (ระบบควบคุมออปติคอลอิเล็กตรอน) เข้าไว้ด้วยกัน แต่ยังรวมถึง GUI "SEM Center" ใหม่และ "LIVE-AI (Live Image) ที่เป็นนวัตกรรมใหม่ ตัวกรอง Visual Enhancer – ปัญญาประดิษฐ์)" ซึ่งช่วยให้สามารถผสมผสานภาพที่มีความละเอียดเชิงพื้นที่สูงและความสามารถในการใช้งานสูงได้อย่างเหมาะสม นอกจากนี้ JSM-F100 ยังมาพร้อมกับเอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายพลังงาน (EDS) ของ JEOL ซึ่งผสานรวมอย่างสมบูรณ์ภายใน "SEM Center" เพื่อการรับข้อมูลภาพที่ราบรื่นจากผลการวิเคราะห์องค์ประกอบ ด้วยแรงบันดาลใจจากผู้ใช้ในการไล่ตามวิวัฒนาการและการผสานรวมของประสิทธิภาพและความสามารถในการทำงานที่สูง JSM-F100 จึงบรรลุประสิทธิภาพการทำงานที่ยอดเยี่ยม 50% หรือสูงกว่าซีรีย์ JSM-7000 รุ่นก่อนของเรา ส่งผลให้มีปริมาณงานเพิ่มขึ้นอย่างมาก
JSM-7200F กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดสนาม Schottky
JSM-7200F มีความละเอียดเชิงพื้นที่สูงกว่ารุ่นทั่วไปมากที่แรงดันไฟฟ้าเร่งสูงและต่ำโดยใช้เทคโนโลยีที่ใช้สำหรับ "In-Lens SchottkyPlus" ซึ่งเป็นเลนส์อิเล็กตรอนที่ติดตั้งในรุ่นเรือธงของเรา JSM-7800FPRIME และโดยการผสมผสาน TTLS (ระบบผ่านเลนส์). กระแสโพรบสูงสุด 300 nA ยังรับประกันเนื่องจากคุณสมบัติดังกล่าวข้างต้น ดังนั้น JSM-7200F จึงเป็น FE-SEM อเนกประสงค์รุ่นใหม่ที่มีความสามารถในการสังเกตการณ์ที่มีความละเอียดสูง การวิเคราะห์ปริมาณงานสูง ใช้งานง่าย และขยายได้
ข้อมูลเพิ่มเติม
คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?
ไม่
โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป