JEOL JSM-IT800 Schottky Field Emission Scanning กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน

JSM-IT800, Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope พร้อม JEOL Energy Dispersive X-ray Spectrometer (EDS) เป็นมาตรฐาน ผสานรวมอย่างสมบูรณ์กับ GUI ใหม่ "SEM Center" ทำให้ได้รับข้อมูลที่ไม่หยุดนิ่งตั้งแต่การสังเกตไปจนถึงการวิเคราะห์องค์ประกอบ
ประสิทธิภาพสูงขั้นสูงและบูรณาการและใช้งานง่ายได้ปรับปรุงประสิทธิภาพการทำงานมากกว่า 50% ทำให้การวัดรายวันมีปริมาณงานสูง

คุณสมบัติ1

คุณสมบัติ 1
เวอร์ชันเลนส์ไฮบริด (HL)／เวอร์ชันเลนส์ซูเปอร์ไฮบริด (SHL)

จากการผสมผสานระหว่างเลนส์สนามไฟฟ้าสถิตและสนามแม่เหล็กไฟฟ้า ทำให้มีรุ่นเลนส์ใกล้วัตถุสองประเภทให้เลือก การกำหนดค่าที่แตกต่างกันทำให้สามารถตอบสนองความต้องการที่หลากหลายของผู้ใช้ได้มากขึ้น ทำให้ได้ภาพที่มีความละเอียดเชิงพื้นที่สูงและวิเคราะห์ตัวอย่างได้หลากหลาย ตั้งแต่วัสดุแม่เหล็กไปจนถึงฉนวน ในขณะที่ยังคงคุณสมบัติเดิมของ JSM-IT800

คุณสมบัติ2

คุณสมบัติ 2
ระบบตรวจจับใน JSM-IT800〈SHL〉

ชิ้นงานทดสอบ: ส่วนของชิป IC (การเคลือบพื้นผิว, การเคลือบออสเมียม), แรงดันเร่ง: 5.0 kV (ไม่มีโหมด BD), โหมดสังเกตการณ์: SHL, ตัวตรวจจับ: UHD， UED (โหมด BSE)
สามารถรับภาพ SE ได้โดยใช้ UHD; และสามารถรับภาพ BSE ได้โดยใช้ UED

ชิ้นงาน: Cellulose Nanofiber (CNF), แรงดันเร่ง: 0.2 kV, โหมดสังเกตการณ์: BD, ตัวตรวจจับ: UHD+UED (การเพิ่มสัญญาณ)
เอื้อเฟื้อตัวอย่าง: อาจารย์ฮิโรยูกิ ยาโนะ (Research Institute fro Sustainable Humanosphere, Kyoto University, Japan)
แม้ชิ้นงานทดสอบจะเป็นเส้นใยอินทรีย์ การสังเกตก็เป็นไปได้ด้วยการควบคุมความเสียหายของลำแสงบนเส้นใยอินทรีย์

คุณสมบัติ3

คุณสมบัติ 3
การทำแผนที่ EDS ด้วย JSM-IT800

นอกจาก BED (ตัวตรวจจับ BSE ปกติ) แล้ว SBED (ตัวตรวจจับ BSE ชนิดเรืองแสงวาบ) และ VBED (ตัวตรวจจับ BSE อเนกประสงค์) ก็มีให้ติดตั้งด้วยเช่นกัน  

SBED (ตัวตรวจจับซินทิลเลเตอร์ BSE)

ความรับผิดชอบและความไวของอุปกรณ์ตรวจจับจะเพิ่มขึ้นเมื่อเปลี่ยนชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ด้วยประกายไฟในอุปกรณ์ตรวจจับ

  • ตัวอย่าง: ส่วนไตของหนูที่บางเป็นพิเศษ (การย้อนกลับของความคมชัด)
    แรงดันไฟเร่ง: 5.0 kV
    ความเร็วในการสแกน: 0.04 μsec/pixel (5120×3840 )

    สังเกตความบางพิเศษทางชีวภาพ
    ผ่านการสแกนด้วยความเร็วสูง

  • ตัวอย่าง: โทนเนอร์
    แรงดันไฟเร่ง: 1.5 kV

    รับภาพองค์ประกอบ
    ที่แรงดันเร่งต่ำ

  • ชิ้นงาน: แผ่นเหล็ก (สำหรับสังเกตการเคลื่อนที่)
    แรงดันไฟเร่ง: 25.0 kV

    รับภาพความคลาดเคลื่อนที่สูง
    แรงดันไฟเร่ง

VBED (เครื่องตรวจจับ BSE อเนกประสงค์)

องค์ประกอบการตรวจจับสารกึ่งตัวนำแบ่งออกเป็น 5 ส่วน ตามวัตถุประสงค์ของการสังเกต สัญญาณจะได้รับการคัดเลือกจากพื้นที่ตรวจจับที่แตกต่างกันของ 5 ส่วนเหล่านี้

การเลือกมุม

  • ชิ้นงาน: ฟอสเฟอร์, แรงดันเร่ง: 3.0 kV

ตามมุมการตรวจจับที่แตกต่างกันของ BSE ข้อมูลองค์ประกอบจะได้รับผ่านการตรวจจับภายในเป็นหลัก
ส่วนประกอบของ VBED และข้อมูลภูมิประเทศส่วนใหญ่ได้มาจากการตรวจจับภายนอก นอกจากนี้ก็คือ
น่าทึ่งที่สารเรืองแสงใต้ฟิล์ม Al นั้นสว่างเมื่อใช้องค์ประกอบภายในของเครื่องตรวจจับเพื่อสังเกต

ภาพ 3 มิติสามารถสร้างขึ้นใหม่ได้โดยใช้ภาพ 2 มิติที่ได้จาก 4 ทิศทาง

แผนที่ EDS เชิงพื้นที่ที่มีความละเอียดสูง

แม้ขนาดของอนุภาคนาโน Ag จะเล็กถึงหลายสิบนาโนเมตร การทำแผนที่ธาตุก็สามารถทำให้มองเห็นได้

ระบบแลกเปลี่ยนตัวอย่าง

ระบบดึงออกเหมาะสำหรับการแลกเปลี่ยนตัวอย่างขนาดใหญ่

การรับภาพด้วยแสงรองรับทั้งระบบแลกเปลี่ยนชิ้นงานทดสอบ

ห้องแลกเปลี่ยนตัวอย่างช่วยให้การโหลด/ขนตัวอย่างรวดเร็วและสะอาด