JSM-7700F กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดภาคสนาม

คุณสมบัติ

JSM-7700F เป็น SEM ที่แก้ไขความคลาดเคลื่อน (Cs และ Cc) เพียงตัวเดียวในตลาด JSM-7700F ยังมีความละเอียดที่ไม่เคยมีมาก่อนที่ 0.6 นาโนเมตรที่ 5kV และขยายความละเอียดที่มีประโยชน์อย่างมากของเทคโนโลยี SEM สำหรับการพัฒนาอุปกรณ์ในระดับนาโนเมตร ได้รับการปรับให้เหมาะสมสำหรับการทำงานที่มี kV ต่ำ ซึ่งมีความสำคัญในการวิเคราะห์ภาคตัดขวางของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เมื่อใช้ JSM-7700F ผู้ปฏิบัติงาน SEM สามารถถ่ายภาพการสะสมตัวของออกไซด์และไนไตรด์ได้อย่างชัดเจน และตรวจสอบลักษณะเฉพาะของอุปกรณ์ที่ซับซ้อนด้วยมาตรวิทยา SEM นำเสนอเทคโนโลยีเครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจายแสงสะท้อนกลับแบบ “ในเลนส์” ที่ได้รับการจดสิทธิบัตรของ JEOL และสเตจโกนิโอมิเตอร์แบบหลายตัวอย่างที่ควบคุมด้วย Piezo เพื่อการเคลื่อนที่ของสเตจที่แม่นยำและเสถียรในระดับนาโนเมตร"