ปิด Btn

เลือกไซต์ภูมิภาคของคุณ

ปิดหน้านี้

【เลิกผลิตแล้ว】กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด Schottky Field Emission รุ่น JSM-7200F

ยกเลิก

JSM-7200F กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดสนาม Schottky

สินค้านี้ไม่มีจำหน่ายอีกต่อไปแล้ว

หากคุณต้องการทราบข้อมูลล่าสุดเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์ที่คุณต้องการหรือต้องการทราบข้อมูลเพิ่มเติมเกี่ยวกับทางเลือกอื่นๆ โปรดคลิกที่ลิงก์ด้านล่าง เราหวังว่าคุณจะใช้ผลิตภัณฑ์ของเราต่อไป

JSM-7200F มีความละเอียดเชิงพื้นที่สูงกว่ารุ่นทั่วไปมากที่แรงดันไฟฟ้าเร่งสูงและต่ำโดยใช้เทคโนโลยีที่ใช้สำหรับ "In-Lens SchottkyPlus" ซึ่งเป็นเลนส์อิเล็กตรอนที่ติดตั้งในรุ่นเรือธงของเรา JSM-7800FPRIME และโดยการผสมผสาน TTLS (ระบบผ่านเลนส์). กระแสโพรบสูงสุด 300 nA ยังรับประกันเนื่องจากคุณสมบัติดังกล่าวข้างต้น ดังนั้น JSM-7200F จึงเป็น FE-SEM อเนกประสงค์รุ่นใหม่ที่มีความสามารถในการสังเกตการณ์ที่มีความละเอียดสูง การวิเคราะห์ปริมาณงานสูง ใช้งานง่าย และขยายได้

คุณสมบัติ

 

คุณสมบัติหลักของ JSM-7200F คือออปติกอิเล็กตรอนที่ใช้เทคโนโลยี "In-Lens SchottkyPlus", GB (โหมด Gentle Beam), TTLS (Through-The-Lens System) ที่ช่วยให้การสังเกตความละเอียดสูงที่แรงดันไฟฟ้าเร่งต่ำและควบคุมปริมาณของ ตัวตรวจจับด้านบนจะตรวจจับสัญญาณพลังงานต่ำ และเลนส์ใกล้วัตถุแบบไฮบริดที่รวมเลนส์แม่เหล็กและเลนส์ไฟฟ้าสถิตเข้าด้วยกัน

ปืน Schottky Electron ในเลนส์

ปืนอิเล็กตรอน Schottky ในเลนส์ (จดสิทธิบัตร JEOL) ได้รับการพัฒนาโดยการปรับรูปทรงเรขาคณิตของปืนอิเล็กตรอนและเลนส์คอนเดนเซอร์ที่มีความคลาดต่ำให้เหมาะสม ด้วยเทคโนโลยีเฉพาะนี้ อิเล็กตรอนที่ปล่อยออกมาจากปืนอิเล็กตรอนจะสามารถนำมาใช้ได้อย่างมีประสิทธิภาพกว่าแบบเดิม ดังนั้นหัววัดอิเล็กตรอนที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางเล็กลงแม้จะมีกระแสมากก็เป็นไปได้ ดังนั้น JSM-7200F จึงมีความสามารถในการวิเคราะห์ปริมาณงานสูง (EDS, WDS, EBSD เป็นต้น)

TTLS (ระบบผ่านเลนส์)

TTLS (ระบบผ่านเลนส์) เป็นระบบที่ช่วยให้การสังเกตมีความละเอียดสูงที่แรงดันความเร่งต่ำ และยังสามารถเลือกสัญญาณต่างๆ ที่สร้างจากชิ้นงานโดยใช้ GB (โหมดลำแสงอ่อนโยน)
ด้วยการใช้แรงดันไบอัสกับชิ้นงานทดสอบด้วย GB (โหมดลำแสงอ่อนโยน) อิเล็กตรอนที่ตกกระทบจะถูกลดความเร็วลงและอิเล็กตรอนที่ปล่อยออกมาจากชิ้นงานจะถูกเร่งขึ้น ดังนั้นจึงเป็นไปได้ที่จะได้ภาพที่มีความละเอียดสูงพร้อมอัตราส่วนสัญญาณต่อสัญญาณรบกวนที่ดีขึ้นแม้ในระดับต่ำ แรงดันเร่ง / แรงดันลงจอด
แรงดันการกรองของตัวกรองพลังงานที่ติดตั้งบน TTLS ช่วยให้คุณควบคุมปริมาณของอิเล็กตรอนทุติยภูมิที่เครื่องตรวจจับด้านบนจะตรวจจับได้ ดังนั้น ภาพของพื้นผิวด้านบนของชิ้นงานที่สร้างโดยอิเล็กตรอนที่กระจายกลับมุมสูงเท่านั้นจึงสามารถสังเกตได้ที่แรงดันเร่งต่ำด้วยตัวตรวจจับอิเล็กตรอนส่วนบน (UED)
อิเล็กตรอนพลังงานต่ำซึ่งตรวจไม่พบด้วย UED และผลักออกไปด้วยแรงดันการกรอง สามารถตรวจจับได้ด้วยตัวตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิบน (USD) ซึ่งเป็นอุปกรณ์เสริม ดังนั้น JSM-7200F จึงสามารถตรวจจับทั้งภาพอิเล็กตรอนทุติยภูมิและภาพอิเล็กตรอนที่กระจายกลับได้พร้อมกัน

เลนส์ใกล้วัตถุแบบไฮบริด (การรวมกันของเลนส์แม่เหล็กและเลนส์ไฟฟ้าสถิต)

JSM-7200F ใช้เลนส์ใกล้วัตถุที่ออกแบบใหม่ที่เรียกว่า “เลนส์ไฮบริด”
เลนส์ไฮบริดผสมผสานระหว่างเลนส์แม่เหล็กและเลนส์ไฟฟ้าสถิตเพื่อลดความคลาดเคลื่อน ดังนั้นจึงเป็นไปได้ที่จะได้ความละเอียดเชิงพื้นที่ที่สูงขึ้นเมื่อเทียบกับเลนส์เอาท์ทั่วไป JSM-7200F ยังรักษาความสามารถในการใช้งานของเลนส์ออกแบบเดิม ดังนั้นจึงไม่มีปัญหาในการสังเกตและวิเคราะห์ตัวอย่างแม่เหล็ก

การใช้งาน

ข้อมูลที่ถ่ายโดยใช้เลนส์ไฮบริดและ GB (โหมด Gentle Beam)

เลนส์ไฮบริดที่มีความคลาดเคลื่อนต่ำและ GB (โหมดลำแสงอ่อนโยน) ช่วยให้สามารถสังเกตวัสดุฉนวนที่มีความละเอียดสูงที่แรงดันไฟฟ้าเร่งต่ำมาก

×ฮิต

×ฮิต

แรงดันลงจอด: 0.5 kV
ตัวอย่าง: Mesoporous silica (ได้รับความอนุเคราะห์จากศาสตราจารย์ Shunai Che มหาวิทยาลัย Shanghai Jiao Tong ประเทศจีน)

ข้อมูลที่นำมาโดยตัวตรวจจับอิเล็กตรอนส่วนบน (UED) พร้อมตัวกรองพลังงาน

ภาพเหล่านี้ถ่ายโดย UED ที่แรงดันไฟฟ้าที่มีอัตราเร่งต่ำ ภาพเหล่านี้เป็นภาพอิเล็กตรอนที่มีการกระเจิงกลับจากมุมสูงพร้อมข้อมูลที่มีองค์ประกอบครบถ้วน แต่ภาพที่ถ่ายที่ 0.8 kV แสดงโครงสร้างที่ละเอียดกว่าของพื้นผิวด้านบนมากเมื่อเทียบกับภาพที่ถ่ายที่ 5 kV จำเป็นต้องมีไม่เพียงแค่ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนส่วนบน (UED) เท่านั้น แต่ยังต้องมีตัวกรองพลังงานเพื่อให้ได้ภาพอิเล็กตรอนที่กระจายกลับของพื้นผิวด้านบนเพื่อตัดอิเล็กตรอนทุติยภูมิออก

แรงดันเร่ง: 0.8 kV (ไปทางซ้าย), 5kV (ไปทางขวา)
กรองพลังงาน : -250 V
ตัวอย่าง: พื้นผิวของแผ่น Au

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

เจเอสเอ็ม-7200F JSM-7200F พร้อมโหมดสุญญากาศต่ำ (LV) * ตัวเลือก
ความละเอียด (1 กิโลโวลต์) นาโนเมตร 1.6
ความละเอียด (20 กิโลโวลต์) 1.0 นาโนเมตร
ความละเอียด (การวิเคราะห์) นาโนเมตร 3.0
(15 kV, WD:10 มม., กระแสโพรบ:5 nA)
การอวดอ้าง x10 ถึง x1,000,000
แรงดันไฟฟ้าเร่ง 0.01 ถึง 30 kV
โพรบปัจจุบัน 1 pA ถึง 300 nA
เครื่องตรวจจับ (มาตรฐาน) ยูอีดี, แอลอีดี
เครื่องตรวจจับ (ไม่จำเป็น) ดอลลาร์สหรัฐฯ, เรดเบด
ปืนอิเล็กตรอน ปืนอิเล็กตรอนปล่อยสนามชอตต์กี้ในเลนส์
เลนส์ควบคุมมุมรูรับแสง สร้างขึ้นใน
เลนส์ใกล้วัตถุ เลนส์ทรงกรวย
ขั้นตอนตัวอย่าง ระยะโกนิโอมิเตอร์แบบยูเซนตริกอย่างเต็มที่
การเคลื่อนไหวบนเวที X: 70 มม. Y: 50 มม. Z: 2 ถึง 41 มม.
เอียง: -5 ถึง 70°, การหมุน: 360°
การควบคุมมอเตอร์ ควบคุมมอเตอร์ 5 แกน
ห้องแลกเปลี่ยนตัวอย่าง เส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด : 100 มม
ความสูงสูงสุด : 40 มม
(ระบายด้วยไนโตรเจนแห้ง)
ความชัดลึกขนาดใหญ่ (LDF) สร้างขึ้นใน
โหมด LV - สร้างขึ้นใน
เครื่องตรวจจับ LV - LV-เบด, LV-SED
(ถ้ามี)
ความละเอียด LV - 1.8 นาโนเมตร (30 กิโลโวลต์)
ความดันในโหมด LV - 10 ป่าถึง 300 ป่า
การควบคุมปาก - บน GUI การทำงาน
นำก๊าซ ก๊าซไนโตรเจน
ระบบการอพยพ (SIP, TMP) จิบ x 2, TMP
ระบบการอพยพ (RP) RP x 1 RP x 2

ตัวเลือกหลัก

  • เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจายกลับแบบยืดหดได้ (RBED)

  • เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิตอนบน (USD)

  • เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิสูญญากาศต่ำ (LV-SED)

  • เอ็กซ์เรย์สเปกโตรเมทรีแบบกระจายพลังงาน (EDS)

  • การเลี้ยวเบนของการกระจายอิเล็กตรอนกลับ (EBSD)

  • เอ็กซ์เรย์สเปกโทรเมทรีแบบกระจายความยาวคลื่น (WDS)

  • แท่นวางชิ้นงานขนาดใหญ่ (SS100S)

  • ห้องแลกเปลี่ยนสิ่งส่งตรวจ (Type1)

  • ระบบนำทางบนเวที (SNS)

  • กล้องแชมเบอร์

  • ตารางการทำงาน

  • สมายล์วิว

  • สเปกโตรมิเตอร์เอ็กซ์เรย์แบบอ่อน (SXES)

การใช้งาน

แอปพลิเคชัน JSM-7200F

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

ข้อมูลเพิ่มเติม

พื้นฐานวิทยาศาสตร์

คำอธิบายง่ายๆ เกี่ยวกับกลไกและ
การใช้งานผลิตภัณฑ์ JEOL

ปิดหน้านี้
แจ้งให้ทราบ

คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?

ไม่

โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป

ติดต่อ

เจอีโอแอล ให้บริการสนับสนุนที่หลากหลายเพื่อให้แน่ใจว่าลูกค้าของเราสามารถใช้ผลิตภัณฑ์ของเราได้อย่างสบายใจ
โปรดติดต่อเรา