สถานีวิเคราะห์ JED-2300 Plus

JED-2300 Analysis Station Plus ซึ่งเป็นระบบ EDS เพื่อทำการวิเคราะห์ธาตุโดยการตรวจจับลักษณะเฉพาะของรังสีเอกซ์ที่สร้างขึ้นจากตัวอย่าง ได้รับการพัฒนาตามแนวคิดการออกแบบ "ไร้รอยต่อจากการสังเกตถึงการวิเคราะห์" โดยใช้ประสบการณ์หลายปีของ JEOL ในอิเล็กตรอน เลนส์และ EDS
ระบบ EDS นี้ผสานรวมกับ SEM, FIB-SEM และ TEM ของเราอย่างสมบูรณ์เพื่อการจัดการข้อมูลที่ครอบคลุม (ภาพกล้องจุลทรรศน์และข้อมูลเอ็กซ์เรย์) ด้วยอินเทอร์เฟซผู้ใช้ที่เข้าใจง่าย
สำหรับระบบ FIB-SEM ที่ติดตั้งสเตจของมอเตอร์ การจัดการข้อมูลบนพื้นที่ขนาดใหญ่จะอำนวยความสะดวกด้วยการแสดงภาพ เช่น ภาพจากกล้องจุลทรรศน์ที่มีกำลังขยายต่างกันหรือตำแหน่งบนเวทีต่างกัน และตำแหน่งของแผนที่องค์ประกอบ

คุณสมบัติ

นวัตกรรมการออกแบบ

ไอคอนการทำงาน

ไอคอนถูกจัดเรียงจากซ้ายไปขวาซึ่งจะแนะนำผู้ใช้ในการรวบรวมข้อมูลแต่ละขั้นตอน นอกจากนี้ ฟังก์ชันของแต่ละไอคอนจะแสดงขึ้นเพื่อความเข้าใจด้วยภาพ

การแสดงภาพที่จัดทำดัชนี

ผู้ปฏิบัติงานสามารถเข้าถึงข้อมูลที่ได้รับอย่างรวดเร็วจากการแสดงภาพที่จัดทำดัชนี

รายการข้อมูลการวิเคราะห์

รูปภาพและผลการวิเคราะห์จะถูกบันทึกโดยอัตโนมัติในโฟลเดอร์เดียวกันเพื่อการเข้าถึงอย่างรวดเร็ว เมื่อผู้ปฏิบัติงานเลือกพื้นที่ใดๆ บนการแสดงภาพที่จัดทำดัชนี ข้อมูลสำหรับพื้นที่ที่เกี่ยวข้องจะแสดงในรายการข้อมูลการวิเคราะห์ ซึ่งจะทำให้การจัดการข้อมูลง่ายขึ้น

รหัส Visual Peak

ฟังก์ชันนี้ช่วยให้คุณยืนยันได้ว่าองค์ประกอบที่เป็นส่วนประกอบได้รับการระบุอย่างถูกต้องในผลการวิเคราะห์เชิงคุณภาพหรือไม่ สเปกตรัมถูกสร้างขึ้นใหม่โดยการคำนวณตามความเข้มของรังสีเอกซ์ขององค์ประกอบที่ระบุในการวิเคราะห์เชิงคุณภาพ

รูปร่างสูงสุดของเส้น Bi X-ray พบว่ามีความแตกต่างกันระหว่างสเปกตรัมที่ได้มา (สีชมพู) และสเปกตรัมที่คำนวณได้ (สีน้ำเงิน)
การตรวจสอบตำแหน่ง Bi peak อีกครั้งบ่งชี้ว่ามี Pb เมื่อเพิ่ม Pb ลงในผลการวิเคราะห์ รูปร่างยอดทั้งสองจะตรงกัน จากผลลัพธ์นี้ Pb ได้รับการยืนยันว่ามีอยู่ในตัวอย่าง

เล่นฟังก์ชันการวิเคราะห์

การทำแผนที่องค์ประกอบแบบธรรมดาจะได้รับจนกว่าจะมีการนับ X-ray เพียงพอและบันทึกสเปกตรัมที่จำนวนเฟรมทั้งหมดที่สะสมสำหรับสเปกตรัมจะถูกเก็บไว้ที่แต่ละพิกเซล ฟังก์ชัน Play Back Analysis สำหรับ JED-2300 Analysis Station Plus สามารถเล่นข้อมูลนี้ซ้ำได้ เช่น แอนิเมชัน หลังจากได้รับแผนที่องค์ประกอบ ดังนั้น ฟังก์ชันนี้สามารถช่วยในการวิเคราะห์ได้หลากหลาย ตัวอย่างเช่น คุณสามารถยืนยันการมีอยู่หรือไม่มีการเสียรูปของชิ้นงานทดสอบในระหว่างการรับแผนที่หรือการเปลี่ยนแปลงองค์ประกอบในชิ้นงานทดสอบระหว่างการวิเคราะห์ในแหล่งกำเนิด เช่น การให้ความร้อน

สไมล์ สเตชั่น™ 2

แผนที่องค์ประกอบจะได้รับโดยอัตโนมัติ ทำให้ผู้ใช้สามารถเลือกเฉพาะพื้นที่ที่จำเป็นจากภาพที่ตัดต่อหรือภาพด้วยกล้องจุลทรรศน์หลายภาพ ซึ่งช่วยให้สามารถวิเคราะห์พื้นที่ที่ซับซ้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ 

ซอฟต์แวร์วิเคราะห์อนุภาค2

ฟังก์ชันวิเคราะห์อนุภาค

การได้มาซึ่งข้อมูลทางสัณฐานวิทยาของวัตถุเด่นที่ตรวจพบ (อนุภาคเฉพาะ ฯลฯ) นั้นเปิดใช้งานโดยพิจารณาจากความแตกต่างของความเข้มของภาพด้วยกล้องจุลทรรศน์ (ภาพองค์ประกอบอิเล็กตรอนที่กระจัดกระจายกลับ ฯลฯ) วัตถุเด่นเหล่านี้สามารถอยู่ภายใต้การวิเคราะห์ EDS อัตโนมัติ วัตถุเด่นต่างๆ จะถูกวิเคราะห์โดยการตั้งค่าเงื่อนไขการวิเคราะห์ รวมถึงความแตกต่างของความเข้มของภาพ ตลอดจนขนาดและรูปร่าง การใช้งานร่วมกับ Smile Station™ 2 ช่วยให้วิเคราะห์อนุภาคอัตโนมัติในพื้นที่กว้างได้ ฟังก์ชันนี้ยังขยายขอบเขตการใช้งานเพื่อรวม: การรวมในเมล็ดพืชแร่ การแยกวัตถุเด่นที่มีรูปร่างเฉพาะ และอนุภาคที่เก็บรวบรวมบนตัวกรอง

การประมวลผลทางสถิติ

สำหรับแต่ละอนุภาค ผลการวิเคราะห์ EDS และข้อมูลรูปร่างอนุภาค (เส้นผ่านศูนย์กลางอนุภาค พื้นที่ ฯลฯ) จะถูกบันทึกไว้ คุณสามารถสร้างกราฟหรือตารางจากข้อมูลสำหรับการประมวลผลทางสถิติ

ตัวอย่างการวิเคราะห์อัตโนมัติ (แร่ใยหิน)

แร่ใยหินมีรูปทรงที่มีอัตราส่วนกว้างยาว ซอฟต์แวร์วิเคราะห์อนุภาค 2 สามารถเลือกอัตราส่วนกว้างยาวต่อใยหิน (เส้นใย) สำหรับการวิเคราะห์ EDS ดังนั้นจะแยกความแตกต่างและวัดเฉพาะอนุภาคขนาดและรูปร่างที่เหมาะสมเท่านั้น จากผลการวิเคราะห์ EDS คุณสามารถระบุได้ว่าอนุภาครูปเข็มที่วิเคราะห์แล้วเป็นแร่ใยหินหรือไม่ และสามารถจำแนกประเภทของแร่ใยหินได้ คุณยังสามารถยืนยันผลการวิเคราะห์ของแต่ละอนุภาคอีกครั้งได้หลังจากการวิเคราะห์เสร็จสิ้น

แร่ใยหินจำแนก

ใยหินสกัดโดยซอฟต์แวร์วิเคราะห์อนุภาค

ไครโซไทล์

อะโมไซต์

crocidolite

เครื่องตรวจจับดริฟท์ซิลิคอนแบบแห้ง

ต่างจากเครื่องตรวจจับ EDS ประเภท Si (Li) ทั่วไป เครื่องตรวจจับดริฟท์ซิลิคอนแบบแห้งไม่ต้องการไนโตรเจนเหลว การบำรุงรักษาทำได้ง่ายขึ้นและ SDD ช่วยให้สามารถตรวจนับ X-ray ได้มากขึ้น การใช้เครื่องตรวจจับดริฟท์ซิลิคอนแบบแห้งในพื้นที่ขนาดใหญ่ช่วยให้สามารถวิเคราะห์องค์ประกอบได้แม้จะมีกระแสโพรบขนาดเล็ก

เครื่องตรวจจับดริฟท์ซิลิคอนแบบแห้ง

รายชื่อเครื่องตรวจจับดริฟท์ซิลิคอนแบบแห้ง

• สำหรับ JSM-IT100 Series ฟังก์ชันที่แสดงในหน้าเว็บนี้จะใช้ได้เฉพาะเมื่อติดตั้ง JED-2300 Analysis Station Plus บน JSM-IT100 หรือ JSM-IT100LV ซอฟต์แวร์การวิเคราะห์ต่างๆ ใช้สำหรับ JSM-IT100A และ JSM-IT100LA

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

● สร้างขึ้นใน ○ ตัวเลือก

• ใช้ได้กับ JSM-IT300HR LA เท่านั้น

• ใช้ได้กับ SEM ที่มีสเตจขับมอเตอร์ ไม่สามารถใช้ได้กับ JSM-6000Plus

• ใช้ได้กับ SEM ที่มีสเตจการขับมอเตอร์ของ XYZ 3 แกนขึ้นไป

• ในการดำเนินการสอบเทียบ จำเป็นต้องมีหน่วย GSR ที่เป็นอุปกรณ์เสริม

• จำเป็นต้องมีหน่วยชดเชยกระแสไฟของโพรบที่เป็นอุปกรณ์เสริม การตรวจสอบกระแสโพรบอัตโนมัติจะทำได้เมื่อ EDS เชื่อมต่อกับไมโครสโคป PC เท่านั้น FE-SEM ที่มี PCD และ AEI ไม่ต้องการหน่วยนี้

• สำหรับ JSM-IT300HR LA และ JCM-6000 ซีรีส์ ซอฟต์แวร์ EDS ได้รับการติดตั้งลงในพีซีสำหรับยูนิตพื้นฐานของกล้องจุลทรรศน์ ดังนั้นในกรณีนี้ ไม่จำเป็นต้องใช้พีซีสำหรับ EDS โดยเฉพาะ

ข้อมูลจำเพาะอาจมีการเปลี่ยนแปลงโดยไม่ต้องแจ้งให้ทราบล่วงหน้า
Microsoft, Windows และ PowerPoint เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Microsoft Corporation ในสหรัฐอเมริกาและประเทศอื่นๆ

ข้อมูลเพิ่มเติม