IB-07080ATLPS, IB-77080ATLPS
ตัวอย่าง TEM อัตโนมัติ
ระบบเตรียมการ STEMPLING
ระบบเตรียมตัวอย่าง TEM อัตโนมัติ STEMPLING เป็นซอฟต์แวร์สำหรับการเตรียมตัวอย่าง TEM อัตโนมัติโดยใช้ FIB ระบบนี้ได้รับการพัฒนาเพื่อตอบสนองความต้องการในการเตรียมชิ้นงานทดสอบโดยใช้ FIB เช่น การใช้งานง่ายที่ทุกคนสามารถทำได้ และเทคโนโลยีที่ช่วยให้สามารถสร้างชิ้นงานทดสอบจำนวนมากได้ เนื่องจาก STEMPLING จึงไม่จำเป็นต้องมีผู้เชี่ยวชาญระดับสูงในการเตรียมสิ่งส่งตรวจ ทำให้ทุกคนสามารถเตรียมสิ่งส่งตรวจได้อย่างง่ายดาย นอกจากนี้ เนื่องจากระบบอนุญาตให้เตรียมตัวอย่างหลายชิ้นโดยไม่ต้องดูแล ประสิทธิภาพการทำงานจึงสามารถเพิ่มประสิทธิภาพได้ผ่านการทำงานข้ามคืนเพื่อสร้างตัวอย่างจำนวนมาก
STEMPLING สามารถใช้กับ Multi Beam System JIB-4700F และระบบ Focused Ion Beam Milling & Imaging JIB-4000PLUS
คุณสมบัติ
สามารถจัดเตรียมตัวอย่างต่างๆ ได้โดยการตั้งค่าที่ง่าย
มีสูตรมาตรฐานสำหรับเตรียมตัวอย่าง 5 ชนิด เช่น ตัวอย่าง TEM และตัวอย่างหน้าตัด
สามารถใช้ในฉากต่างๆ ของการเตรียมตัวอย่างโดยใช้ FIB
รูปที่ 1 ตัวอย่างที่สามารถเตรียมได้โดยใช้สูตรมาตรฐาน ตัวอย่าง: เวเฟอร์ซิลิคอน
สามารถเตรียมตัวอย่างได้หลายชิ้นโดยการประมวลผลอัตโนมัติ
ฟังก์ชันการปรับอัตโนมัติของลำแสงไอออนช่วยให้สามารถเตรียมตัวอย่างหลายชิ้นได้โดยอัตโนมัติในระยะเวลานาน
สิ่งนี้ทำให้การเตรียมตัวอย่างโดยไม่ต้องดูแลในชั่วข้ามคืน รูปที่ 2 แสดงผลการเตรียมตัวอย่าง TEM อย่างต่อเนื่องเป็นเวลาประมาณ 8 ชั่วโมง
เตรียมตัวอย่าง 10 ชิ้น โดยทั้งหมดจัดทำในลักษณะเดียวกัน ซึ่งบ่งชี้ว่าการเตรียมตัวอย่างอัตโนมัติมีความเสถียร
รูปที่ 2 ตัวอย่างการเตรียมชิ้นงานทดสอบ TEM แบบต่อเนื่องเป็นเวลานาน (8 ชั่วโมง) ตัวอย่าง: ซิลิคอนเวเฟอร์
ขนาดฟิล์มบาง:10µm(W) x 7µm(H)
ความหนาของฟิล์มบาง: 100nm
การเตรียมชิ้นงานทดสอบ TEM ที่เชื่อถือได้ของชิ้นงานทดสอบที่ไม่แบนราบ
ด้วยการปรับค่ายูเซนตริกอัตโนมัติ ทำให้สามารถเตรียมชิ้นงานทดสอบได้อย่างมีเสถียรภาพโดยอัตโนมัติ แม้กระทั่งจากวัสดุที่มีพื้นผิวไม่เรียบหรือมีความสูงต่างกัน
รูปที่ 3 แสดงตัวอย่างฟิล์มบางที่เตรียมโดยใช้ชิ้นงานทดสอบที่มีพื้นผิวไม่เรียบซึ่งมีขั้นตอนประมาณ 70µm
ตัวอย่างฟิล์มบางถูกสร้างขึ้นอย่างถูกต้องที่ส่วนบนและส่วนล่างของขั้นบันได
รูปที่ 3 ตัวอย่างการเตรียมชิ้นงานทดสอบ TEM ที่มีความสูงพื้นผิวต่างๆ (ตัวอย่าง: ตารางชิ้นงานทดสอบ TEM (Cu) บนแผ่นเวเฟอร์ Si)
เครื่องมือที่ใช้บังคับ
| ชื่อผลิตภัณฑ์ | รุ่น | เครื่องมือที่ใช้บังคับ |
|---|---|---|
| ระบบเตรียมตัวอย่าง TEM อัตโนมัติ | IB-07080ATLPS | JIB-4000PLUS |
| IB-77080ATLPS | JIB-4700F |
ลิงค์
JIB-4000PLUS Focused Ion Beam Milling & Imaging System
JIB-4700F Multi Beam System ไซต์พิเศษ
ดาวน์โหลดแคตตาล็อก
IB-07080ATLPS, IB-77080ATLPS ระบบการเตรียมตัวอย่าง TEM อัตโนมัติ STEMPLING
ข้อมูลเพิ่มเติม
คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?
ไม่
โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป