ปิด Btn

เลือกไซต์ภูมิภาคของคุณ

ปิดหน้านี้

JIB-4610F เป็นกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดชนิดเลนส์นอก (SEM) ที่ใช้งานง่าย ติดตั้งปืนอิเล็กตรอน Schottky รวมถึงคอลัมน์ FIB ใหม่ที่สามารถประมวลผลกระแสไฟฟ้าขนาดใหญ่ (กระแสไอออนสูงสุด 90nA) ติดตั้งในห้องเดียว . JIB-4610F เปิดใช้งานการสังเกต SEM ความละเอียดสูงหลังจากการกัดแบบภาคตัดขวางความเร็วสูงด้วย FIB และการวิเคราะห์ความเร็วสูงด้วยเครื่องมือวิเคราะห์ที่หลากหลาย เช่น เอ็กซ์เรย์สเปกโทรสโกปีแบบกระจายพลังงาน (EDS) ที่ใช้ประโยชน์จากอิเล็กตรอนชอตต์กี้ ปืนส่งกระแสโพรบขนาดใหญ่ (200nA) การเลี้ยวเบนแบบกระจายกลับของอิเล็กตรอน (EBSD) เพื่อทำการแสดงลักษณะทางผลึกศาสตร์ และแคโทโดลูมิเนสเซนซ์ (CLD) นอกจากนี้ ฟังก์ชันการวิเคราะห์ 3D Cut & See ยังรวมอยู่ในการกำหนดค่ามาตรฐาน ช่วยให้การกัดแบบภาคตัดขวางสามารถดำเนินการได้โดยอัตโนมัติตามช่วงเวลาที่กำหนด ในขณะที่รับภาพ SEM สำหรับภาพตัดขวางแต่ละภาพ

คุณสมบัติ

การประมวลผลพื้นที่ที่กว้างขึ้นและเร็วขึ้น

การใช้คอลัมน์ FIB ใหม่ให้กระแสไอออนสูงสุด 90nA ที่แรงดันเร่ง 30kV ทำให้ได้ความละเอียด 4nm
เป็นผลให้สามารถประมวลผลได้เร็วกว่าที่มีในเครื่องมือทั่วไป (การประมวลผลเร็วกว่าเครื่องมือที่มีอยู่มากกว่า 1.5 เท่า (การเปรียบเทียบภายในองค์กร)) ซึ่งมีประโยชน์อย่างยิ่งสำหรับการประมวลผลพื้นที่ขนาดใหญ่ (วอลุ่ม)
นอกจากนี้ยังสามารถขจัดชั้นที่เสียหายเนื่องจากการประมวลผลโดยใช้ลำแสงไอออนที่มีแรงดันไฟฟ้าต่ำ ทำให้ได้พื้นผิวที่สะอาดและเงางาม

การวิเคราะห์ที่แม่นยำยิ่งขึ้น

คอลัมน์ปืนอิเล็กตรอนที่มีกระแสโพรบสูงสุด 200nA รองรับการวิเคราะห์ความเร็วสูงและความละเอียดสูงโดยใช้เทคนิคต่างๆ เช่น EDS, EBSD และ CLD (ตัวเลือก) การวิเคราะห์ความเร็วสูงยังช่วยลดการเลื่อนลอยและความเสียหายที่เกิดจากลำแสงอิเล็กตรอน คอลัมน์ปืนอิเล็กตรอน Schottky ที่ได้รับการพิสูจน์โดย JEOL นี้ช่วยให้ได้รับข้อมูลที่มีความน่าเชื่อถือสูงเนื่องจากความเสถียรของลำแสงอิเล็กตรอนและความเสถียรเชิงกลที่ดีขึ้น

การสังเกต 3 มิติ การวิเคราะห์ 3 มิติ

ด้วยการรวมหน่วยวิเคราะห์ประเภทต่างๆ (ตัวเลือก) เข้ากับ FIB กระแสขนาดใหญ่และ SEM ความละเอียดสูงที่รวมปืนอิเล็กตรอน Schottky เข้าด้วยกัน ฟังก์ชันต่อไปนี้จึงสำเร็จได้:

การประมวลผลและการสังเกตภาพ SEM โดยอัตโนมัติโดยใช้ Cut & See

การเก็บข้อมูลโดยอัตโนมัติและต่อเนื่องของการแมป EDS และ EBSD

การซ้อนและการซ้อนภาพที่ได้มาอย่างต่อเนื่องทำให้สามารถทำการสังเกตและวิเคราะห์สามมิติประเภทต่างๆ (ตัวเลือก) นอกจากนี้ยังสามารถรับข้อมูลสำหรับการวิเคราะห์ประเภทใดก็ได้โดยไม่ต้องเอียงหรือหมุนพื้นที่งาน

การใช้งานที่หลากหลายมากยิ่งขึ้น

การติดตั้งขั้นตอนการทำความเย็นและหน่วย Cryo (ตัวเลือก) ทำให้สามารถลดความเสียหายจากความร้อนเนื่องจากการฉายรังสีของลำแสงไอออนระหว่างการประมวลผล FIB หน่วย Cryo ยังมีประสิทธิภาพสำหรับการประมวลผลและการสังเกตชิ้นงานที่มีน้ำ

เข้ากันได้กับผลิตภัณฑ์ JEOL อื่น ๆ

เนื่องจากตัวจับชิ้นงานสำหรับ JIB-4610F สามารถใช้กับเครื่องมือ JEOL FE-SEM ได้ด้วย จึงสามารถโหลดชิ้นงานระหว่างเครื่องมือโดยไม่ต้องย้ายไปยังตัวยึดอื่น สิ่งนี้ช่วยให้การสังเกตและการประมวลผลมีประสิทธิภาพมากขึ้น ด้วยการใช้ฟังก์ชันการนำทางเพื่อตั้งค่าและค้นหาตำแหน่งที่ต้องการสำหรับการสังเกตและการประมวลผล (ตัวเลือก)
นอกจากนี้ เป็นตัวเลือก การใช้ตัวยึดกระสวยเพื่อให้แน่ใจว่าเข้ากันได้ระหว่างส่วนปลายของตัวจับยึด TEM และสเตจซีรีส์ JIB ช่วยให้ติดตั้งตัวอย่างได้ง่ายขึ้น ปรับปรุงปริมาณงานให้ดียิ่งขึ้น

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

SEM (Search Engine Marketing)
ปืนอิเล็กตรอน ประเภทการปล่อย Schottky Field
เลนส์ใกล้วัตถุ เลนส์ใกล้วัตถุทรงกรวยพิเศษ
ความละเอียด 1.2nm (@ Vacc: 30kV), 3.0nm (@ Vacc: 1kV)
แรงดันไฟฟ้าเร่ง 0.1 ถึง 30kV
โพรบปัจจุบัน 1pA~200nA
เลนส์ปรับมุมรูรับแสง Built-in
การอวดอ้าง x20~x1,000,000
IBF
ปืนไอออน แหล่งกำเนิดไอออนของโลหะเหลว Ga (LMIS)
ความละเอียด 4 นาโนเมตร (@ Vacc: 30kV)
การอวดอ้าง ×100~300,000 (กำลังดำเนินการ) / ×50~300,000 (สังเกตการณ์)
แรงดันไฟฟ้าเร่ง 1~30 กิโลโวลต์
โพรบปัจจุบัน 1 pA~90 nA (@ Vacc: 30kV)
เครื่องตรวจจับ เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนที่ต่ำกว่า
R-BEI (ตัวเลือก)
ต้นกำเนิด (ตัวเลือก)
Gentle Beam (แรงดันไบแอสของชิ้นงานทดสอบ) ในตัว (แรงดันไฟฟ้าที่ใช้กับชิ้นงาน: 0 ถึง -2,000V)
ห้องแลกเปลี่ยนตัวอย่าง Built-in
ขั้นตอนตัวอย่าง แท่นขับมอเตอร์ 6 แกน
ช่วงการเดินทางของตัวอย่าง X;50mm、Y;50mm、Z;1.5~41mm、T(เอียง);-5~70°, R (การหมุน);360°endless, Fz;-3 ถึง +3mm
วิธีการแลกเปลี่ยนสิ่งส่งตรวจ การเชยด้วยสัมผัสเดียว
ผู้ถือตัวอย่าง ด้ามมาตรฐาน φ12.5mm、φ32mm
ตัวยึดเสริม φ76.2 ตัวยึดเวเฟอร์
โฮลเดอร์เวเฟอร์ φ100มม
โฮลเดอร์เวเฟอร์ φ125มม
โฮลเดอร์เวเฟอร์ φ150มม
2, 4, 6 นิ้วผู้ถือจำนวนมาก,
ที่จับชิ้นงานหลายชิ้นบนพื้นผิว,
ที่ยึด STEM,
ที่ยึดกระสวย,
ที่จับแบบสัมผัสเดียว
ขอบเขตหอการค้า กล้องห้องเก็บตัวอย่าง (ตัวเลือก)
ฟังก์ชั่นอัตโนมัติ ระบบออโต้โฟกัส
ควบคุมความสว่างอัตโนมัติ
ระบบควบคุม พีซีระบบควบคุม SEM
- รองรับ IBM PC/AT
-RAM 4GB ขึ้นไป
-ระบบปฏิบัติการ Windows®7 Professional
การตรวจสอบ 24 นิ้ว
การแสดงรูปภาพ พื้นที่แสดงภาพ 1,280×980 พิกเซล หรือ 640×480พิกเซล
(ขนาด GUI: 1,600×1,200)
โหมดการแสดงผล มาตรฐาน; SEM_SEI、FIB_SEI、SEM_MIX
ตัวเลือก; SEM_COMPO, SEM_TOPO, SEM_TED, AUX
โหมดสแกน/แสดงผล สแกนพื้นที่จำกัด, เพิ่มรูปภาพ, Scaler,
การแสดงผลหน้าจอ 1 หน้าจอ 2 หน้าจอ (มาตรฐาน) 4 หน้าจอ
สูญญากาศที่ดีที่สุด HV;2.0×10E-4Pa (เมื่อใช้ GIS;<3.0E-3Pa)
ระบบอพยพ SIP×2 (SEM) ,
SIP×1 (FIB)
ทีเอ็มพี×1,
อาร์พี×1
การใช้พลังงาน ระหว่างการทำงานปกติประมาณ 2.0kVA
CO2 เทียบเท่าการปล่อย ประจำปี CO2 การปล่อยไอเสียระหว่างการใช้งานปกติ 4,967 กก
อุปกรณ์ความปลอดภัย ป้องกันการสูญเสียของสูญญากาศ ไฟดับ น้ำรั่ว การสูญเสียแรงดันก๊าซ N2 และกระแสไฟฟ้ารั่ว
รอยพระบาท 3,200 มม. ขึ้นไป × 3,000 มม. ขึ้นไป
ข้อกำหนดการติดตั้ง พาวเวอร์ซัพพลาย
เฟสเดียว 200 V, 50/60 Hz, สูงสุด 6kVA ใช้งานปกติประมาณ 2.0kVA
ความผันผวนของแหล่งจ่ายไฟอินพุตที่อนุญาตภายใน ±10%
ขั้วต่อสายดิน 100Ω หรือน้อยกว่า x 1
น้ำเย็น
ท่อจ่ายออก.dia. 14 มม. x 1 หรือ JIS B 0203 Rc 1/4 x 1
อัตราการไหล 0.5 ลิตร/นาที
แรงดันน้ำ 0.1 ถึง 0.25 MPa (เกจวัดแรงดัน)
อุณหภูมิของน้ำ 20℃±5℃
ท่อระบายน้ำใน.dia. 25 มม. ขึ้นไป x1 หรือ JIS B 0203 Rc 1/4 x 1
ก๊าซไนโตรเจนแห้ง
JIS B 0203 Rc 1/4 (จัดทำโดยผู้ใช้)
แรงดัน 0.45 ถึง 0.55 MPa (เกจวัดแรงดัน)
ห้องติดตั้ง
อุณหภูมิห้อง 20℃±5℃
ความชื้น 60% หรือต่ำกว่า
สนามแม่เหล็กจรจัด 0.3μT (PP) หรือน้อยกว่า (คลื่นไซน์ 50/60 Hz)*1
การสั่นสะเทือนของพื้น 2μm (PP) หรือต่ำกว่า*1 ที่ความถี่ของคลื่นไซน์มากกว่า 5Hz *1
เสียงรบกวน 70 dB หรือต่ำกว่า *1 สำหรับคุณสมบัติ FLAT
ขนาดห้องติดตั้ง 3,000 มม. x 3,000 มม. ขึ้นไป
ความสูง 2,300 มม. ขึ้นไป
ขนาดประตู 1,000 มม. *2 (ก) x 2,000 มม. (ส) ขึ้นไป
  • เงื่อนไขนี้อาจใช้ไม่ได้กับเงื่อนไขอื่นนอกเหนือจากนี้ มีการสำรวจห้องติดตั้งก่อนส่งมอบ และผู้ใช้จะได้รับคำปรึกษาเกี่ยวกับกำลังขยายสูงสุดของการสังเกต

  • กรุณาสอบถามความกว้างประตู 900 มม.

ตัวเลือกหลัก GIS (C, W, Pt), EDS, WDS, EBSD, CL, Cryo, Chamber Camera, SNS เป็นต้น
  • Windows เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Microsoft Corporation ในสหรัฐอเมริกาและประเทศอื่น ๆ

การใช้งาน

แอปพลิเคชัน JIB-4610F

รูปภาพ

ข้อมูลเพิ่มเติม

พื้นฐานวิทยาศาสตร์

คำอธิบายง่ายๆ เกี่ยวกับกลไกและ
การใช้งานผลิตภัณฑ์ JEOL

ปิดหน้านี้
แจ้งให้ทราบ

คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?

ไม่

โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป

ติดต่อ

เจอีโอแอล ให้บริการสนับสนุนที่หลากหลายเพื่อให้แน่ใจว่าลูกค้าของเราสามารถใช้ผลิตภัณฑ์ของเราได้อย่างสบายใจ
โปรดติดต่อเรา