JIB-4610F เป็นกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดชนิดเลนส์นอก (SEM) ที่ใช้งานง่าย ติดตั้งปืนอิเล็กตรอน Schottky รวมถึงคอลัมน์ FIB ใหม่ที่สามารถประมวลผลกระแสไฟฟ้าขนาดใหญ่ (กระแสไอออนสูงสุด 90nA) ติดตั้งในห้องเดียว . JIB-4610F เปิดใช้งานการสังเกต SEM ความละเอียดสูงหลังจากการกัดแบบภาคตัดขวางความเร็วสูงด้วย FIB และการวิเคราะห์ความเร็วสูงด้วยเครื่องมือวิเคราะห์ที่หลากหลาย เช่น เอ็กซ์เรย์สเปกโทรสโกปีแบบกระจายพลังงาน (EDS) ที่ใช้ประโยชน์จากอิเล็กตรอนชอตต์กี้ ปืนส่งกระแสโพรบขนาดใหญ่ (200nA) การเลี้ยวเบนแบบกระจายกลับของอิเล็กตรอน (EBSD) เพื่อทำการแสดงลักษณะทางผลึกศาสตร์ และแคโทโดลูมิเนสเซนซ์ (CLD) นอกจากนี้ ฟังก์ชันการวิเคราะห์ 3D Cut & See ยังรวมอยู่ในการกำหนดค่ามาตรฐาน ช่วยให้การกัดแบบภาคตัดขวางสามารถดำเนินการได้โดยอัตโนมัติตามช่วงเวลาที่กำหนด ในขณะที่รับภาพ SEM สำหรับภาพตัดขวางแต่ละภาพ
คุณสมบัติ
การประมวลผลพื้นที่ที่กว้างขึ้นและเร็วขึ้น
การใช้คอลัมน์ FIB ใหม่ให้กระแสไอออนสูงสุด 90nA ที่แรงดันเร่ง 30kV ทำให้ได้ความละเอียด 4nm
เป็นผลให้สามารถประมวลผลได้เร็วกว่าที่มีในเครื่องมือทั่วไป (การประมวลผลเร็วกว่าเครื่องมือที่มีอยู่มากกว่า 1.5 เท่า (การเปรียบเทียบภายในองค์กร)) ซึ่งมีประโยชน์อย่างยิ่งสำหรับการประมวลผลพื้นที่ขนาดใหญ่ (วอลุ่ม)
นอกจากนี้ยังสามารถขจัดชั้นที่เสียหายเนื่องจากการประมวลผลโดยใช้ลำแสงไอออนที่มีแรงดันไฟฟ้าต่ำ ทำให้ได้พื้นผิวที่สะอาดและเงางาม
การวิเคราะห์ที่แม่นยำยิ่งขึ้น
คอลัมน์ปืนอิเล็กตรอนที่มีกระแสโพรบสูงสุด 200nA รองรับการวิเคราะห์ความเร็วสูงและความละเอียดสูงโดยใช้เทคนิคต่างๆ เช่น EDS, EBSD และ CLD (ตัวเลือก) การวิเคราะห์ความเร็วสูงยังช่วยลดการเลื่อนลอยและความเสียหายที่เกิดจากลำแสงอิเล็กตรอน คอลัมน์ปืนอิเล็กตรอน Schottky ที่ได้รับการพิสูจน์โดย JEOL นี้ช่วยให้ได้รับข้อมูลที่มีความน่าเชื่อถือสูงเนื่องจากความเสถียรของลำแสงอิเล็กตรอนและความเสถียรเชิงกลที่ดีขึ้น
การสังเกต 3 มิติ การวิเคราะห์ 3 มิติ
ด้วยการรวมหน่วยวิเคราะห์ประเภทต่างๆ (ตัวเลือก) เข้ากับ FIB กระแสขนาดใหญ่และ SEM ความละเอียดสูงที่รวมปืนอิเล็กตรอน Schottky เข้าด้วยกัน ฟังก์ชันต่อไปนี้จึงสำเร็จได้:
การประมวลผลและการสังเกตภาพ SEM โดยอัตโนมัติโดยใช้ Cut & See
การเก็บข้อมูลโดยอัตโนมัติและต่อเนื่องของการแมป EDS และ EBSD
การซ้อนและการซ้อนภาพที่ได้มาอย่างต่อเนื่องทำให้สามารถทำการสังเกตและวิเคราะห์สามมิติประเภทต่างๆ (ตัวเลือก) นอกจากนี้ยังสามารถรับข้อมูลสำหรับการวิเคราะห์ประเภทใดก็ได้โดยไม่ต้องเอียงหรือหมุนพื้นที่งาน
การใช้งานที่หลากหลายมากยิ่งขึ้น
การติดตั้งขั้นตอนการทำความเย็นและหน่วย Cryo (ตัวเลือก) ทำให้สามารถลดความเสียหายจากความร้อนเนื่องจากการฉายรังสีของลำแสงไอออนระหว่างการประมวลผล FIB หน่วย Cryo ยังมีประสิทธิภาพสำหรับการประมวลผลและการสังเกตชิ้นงานที่มีน้ำ
เข้ากันได้กับผลิตภัณฑ์ JEOL อื่น ๆ
เนื่องจากตัวจับชิ้นงานสำหรับ JIB-4610F สามารถใช้กับเครื่องมือ JEOL FE-SEM ได้ด้วย จึงสามารถโหลดชิ้นงานระหว่างเครื่องมือโดยไม่ต้องย้ายไปยังตัวยึดอื่น สิ่งนี้ช่วยให้การสังเกตและการประมวลผลมีประสิทธิภาพมากขึ้น ด้วยการใช้ฟังก์ชันการนำทางเพื่อตั้งค่าและค้นหาตำแหน่งที่ต้องการสำหรับการสังเกตและการประมวลผล (ตัวเลือก)
นอกจากนี้ เป็นตัวเลือก การใช้ตัวยึดกระสวยเพื่อให้แน่ใจว่าเข้ากันได้ระหว่างส่วนปลายของตัวจับยึด TEM และสเตจซีรีส์ JIB ช่วยให้ติดตั้งตัวอย่างได้ง่ายขึ้น ปรับปรุงปริมาณงานให้ดียิ่งขึ้น
ข้อบ่งชี้จำเพาะ
| SEM | |
|---|---|
| ปืนอิเล็กตรอน | ประเภทการปล่อย Schottky Field |
| เลนส์ใกล้วัตถุ | เลนส์ใกล้วัตถุทรงกรวยพิเศษ |
| ความละเอียด | 1.2nm (@ Vacc: 30kV), 3.0nm (@ Vacc: 1kV) |
| แรงดันไฟฟ้าเร่ง | 0.1 ถึง 30kV |
| โพรบปัจจุบัน | 1pA~200nA |
| เลนส์ปรับมุมรูรับแสง | Built-in |
| การอวดอ้าง | x20~x1,000,000 |
| IBF | |
| ปืนไอออน | แหล่งกำเนิดไอออนของโลหะเหลว Ga (LMIS) |
| ความละเอียด | 4 นาโนเมตร (@ Vacc: 30kV) |
| การอวดอ้าง | ×100～300,000 (กำลังดำเนินการ) / ×50～300,000 (สังเกตการณ์) |
| แรงดันไฟฟ้าเร่ง | 1~30 กิโลโวลต์ |
| โพรบปัจจุบัน | 1 pA~90 nA (@ Vacc: 30kV) |
| เครื่องตรวจจับ | เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนที่ต่ำกว่า
R-BEI (ตัวเลือก) ต้นกำเนิด (ตัวเลือก) |
| Gentle Beam (แรงดันไบแอสของชิ้นงานทดสอบ) | ในตัว (แรงดันไฟฟ้าที่ใช้กับชิ้นงาน: 0 ถึง -2,000V) |
| ห้องแลกเปลี่ยนตัวอย่าง | Built-in |
| ขั้นตอนตัวอย่าง | แท่นขับมอเตอร์ 6 แกน |
| ช่วงการเดินทางของตัวอย่าง | X；50mm、Y；50mm、Z；1.5～41mm、T(เอียง)；-5～70°, R (การหมุน)；360°endless, Fz；-3 ถึง +3mm |
| วิธีการแลกเปลี่ยนสิ่งส่งตรวจ | การเชยด้วยสัมผัสเดียว |
| ผู้ถือตัวอย่าง | ด้ามมาตรฐาน φ12.5mm、φ32mm
ตัวยึดเสริม φ76.2 ตัวยึดเวเฟอร์ โฮลเดอร์เวเฟอร์ φ100มม โฮลเดอร์เวเฟอร์ φ125มม โฮลเดอร์เวเฟอร์ φ150มม 2, 4, 6 นิ้วผู้ถือจำนวนมาก, ที่จับชิ้นงานหลายชิ้นบนพื้นผิว, ที่ยึด STEM, ที่ยึดกระสวย, ที่จับแบบสัมผัสเดียว |
| ขอบเขตหอการค้า | กล้องห้องเก็บตัวอย่าง (ตัวเลือก) |
| ฟังก์ชั่นอัตโนมัติ | ระบบออโต้โฟกัส
ควบคุมความสว่างอัตโนมัติ |
| ระบบควบคุม | พีซีระบบควบคุม SEM
- รองรับ IBM PC/AT -RAM 4GB ขึ้นไป -ระบบปฏิบัติการ Windows®7 Professional |
| การตรวจสอบ | 24 นิ้ว |
| การแสดงรูปภาพ | พื้นที่แสดงภาพ 1,280×980 พิกเซล หรือ 640×480พิกเซล
(ขนาด GUI: 1,600×1,200) |
| โหมดการแสดงผล | มาตรฐาน； SEM_SEI、FIB_SEI、SEM_MIX
ตัวเลือก； SEM_COMPO, SEM_TOPO, SEM_TED, AUX |
| โหมดสแกน/แสดงผล | สแกนพื้นที่จำกัด, เพิ่มรูปภาพ, Scaler,
การแสดงผลหน้าจอ 1 หน้าจอ 2 หน้าจอ (มาตรฐาน) 4 หน้าจอ |
| สูญญากาศที่ดีที่สุด | HV；2.0×10E-4Pa (เมื่อใช้ GIS；＜3.0E－3Pa) |
| ระบบอพยพ | SIP×2 (SEM) ,
SIP×1 (FIB) ทีเอ็มพี×1, อาร์พี×1 |
| การใช้พลังงาน | ระหว่างการทำงานปกติประมาณ 2.0kVA |
| CO2 เทียบเท่าการปล่อย | ประจำปี CO2 การปล่อยไอเสียระหว่างการใช้งานปกติ 4,967 กก |
| อุปกรณ์ความปลอดภัย | ป้องกันการสูญเสียของสูญญากาศ ไฟดับ น้ำรั่ว การสูญเสียแรงดันก๊าซ N2 และกระแสไฟฟ้ารั่ว |
| รอยพระบาท | 3,200 มม. ขึ้นไป × 3,000 มม. ขึ้นไป |
| ข้อกำหนดการติดตั้ง | พาวเวอร์ซัพพลาย
เฟสเดียว 200 V, 50/60 Hz, สูงสุด 6kVA ใช้งานปกติประมาณ 2.0kVA ความผันผวนของแหล่งจ่ายไฟอินพุตที่อนุญาตภายใน ±10％ ขั้วต่อสายดิน 100Ω หรือน้อยกว่า x 1 น้ำเย็น ท่อจ่ายออก.dia. 14 มม. x 1 หรือ JIS B 0203 Rc 1/4 x 1 อัตราการไหล 0.5 ลิตร/นาที แรงดันน้ำ 0.1 ถึง 0.25 MPa (เกจวัดแรงดัน) อุณหภูมิของน้ำ 20℃±5℃ ท่อระบายน้ำใน.dia. 25 มม. ขึ้นไป x1 หรือ JIS B 0203 Rc 1/4 x 1 ก๊าซไนโตรเจนแห้ง JIS B 0203 Rc 1/4 (จัดทำโดยผู้ใช้) แรงดัน 0.45 ถึง 0.55 MPa (เกจวัดแรงดัน) ห้องติดตั้ง อุณหภูมิห้อง 20℃±5℃ ความชื้น 60％ หรือต่ำกว่า สนามแม่เหล็กจรจัด 0.3μT (PP) หรือน้อยกว่า (คลื่นไซน์ 50/60 Hz)*1 การสั่นสะเทือนของพื้น 2μm (PP) หรือต่ำกว่า*1 ที่ความถี่ของคลื่นไซน์มากกว่า 5Hz *1 เสียงรบกวน 70 dB หรือต่ำกว่า *1 สำหรับคุณสมบัติ FLAT ขนาดห้องติดตั้ง 3,000 มม. x 3,000 มม. ขึ้นไป ความสูง 2,300 มม. ขึ้นไป ขนาดประตู 1,000 มม. *2 (ก) x 2,000 มม. (ส) ขึ้นไป
|
| ตัวเลือกหลัก | GIS (C, W, Pt), EDS, WDS, EBSD, CL, Cryo, Chamber Camera, SNS เป็นต้น |
Windows เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Microsoft Corporation ในสหรัฐอเมริกาและประเทศอื่น ๆ
การใช้งาน
แอปพลิเคชัน JIB-4610F
การเปรียบเทียบวิธีการสร้างภาพ 3 มิติในกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนสำหรับวัสดุชีวภาพ
รูปภาพ
ข้อมูลเพิ่มเติม
คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?
ไม่
โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป