JIB-4501 ระบบ MultiBeam SEM-FIB

JIB-4601F เป็นระบบการประมวลผลแบบ MultiBeam ที่รวม SEM ความร้อนและคอลัมน์ไอออนประสิทธิภาพสูง สามารถใช้เครื่องมือนี้เป็นระบบ SEM เพื่อสังเกตพื้นผิวชิ้นงาน หรือการกัดส่วนของการกัดพื้นที่โดยใช้ FIB สามารถทำได้ ตามด้วยการวิเคราะห์องค์ประกอบและการสังเกตส่วนภายในโดยใช้ SEM FIB สามารถใช้สำหรับการกัดละเอียดและการเตรียมตัวอย่างฟิล์มบาง TEM ห้องขนาดใหญ่ขยายขอบเขตการใช้งานที่เป็นไปได้ โหมดสุญญากาศต่ำช่วยให้สามารถสังเกต SEM ได้โดยไม่ต้องเคลือบวัสดุฉนวนใดๆ ดังนั้นจึงสามารถใช้งานได้ในเกือบทุกด้าน

คุณสมบัติ

การวิเคราะห์โดยรวมโดยใช้ SEM การปล่อยอิเล็กตรอนแบบเทอร์ไมโอนิกและคอลัมน์ FIB ประสิทธิภาพสูง

JIB-4501 รวมเอาคอลัมน์ FIB กำลังสูงที่มีกระแสโพรบสูงสุด 60 nA เพื่อให้สามารถกัดได้อย่างรวดเร็ว เป็นไปได้ที่จะทำการกัดแบบภาคตัดขวางของพื้นที่ขนาดใหญ่ขึ้น และยังสามารถทำการสังเกต SEM, EDS* หรือ EBSD* ของไซต์ได้อีกด้วย เนื่องจากลำดับของงานสามารถดำเนินการได้ภายในพื้นที่สุญญากาศเดียวกัน การวิเคราะห์จึงสามารถทำได้โดยที่พื้นผิวของตัวอย่างไม่เสื่อมสภาพเนื่องจากการออกซิไดซ์ แท่นวางขนาดใหญ่สามารถรองรับชิ้นงานที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 75 มม. และสูง 30 มม.
(*) ไฟล์แนบเพิ่มเติม

ฟังก์ชันการแบ่งส่วนและการสุ่มตัวอย่างแบบอนุกรม

การจัดเรียงคอลัมน์ JIB-4501 ได้รับการออกแบบมาเพื่อให้สามารถสังเกตส่วนตัดขวางที่ได้รับการกัดโดยใช้ FIB ด้วย SEM โดยไม่ต้องเปลี่ยนมุมเอียงของสเตจ ซึ่งช่วยให้ผู้ใช้สามารถดำเนินการตามลำดับอัตโนมัติอย่างต่อเนื่องของการกัดส่วน FIB และการรับอิมเมจ SEM หากใช้แอปพลิเคชันซอฟต์แวร์เสริม Stack-N-Viz สามารถสร้างภาพ 3 มิติขึ้นใหม่เพื่อให้เข้าใจโครงสร้างภายในของชิ้นงานทดสอบได้ดียิ่งขึ้น

เข้ากันได้กับผลิตภัณฑ์ JEOL อื่น ๆ

ซีรีส์ JIB ใช้ตัวเลือกที่เข้ากันได้กับอุปกรณ์ซีรีส์ JEM และซีรีส์ JSM ชิ้นงานที่ประดิษฐ์ขึ้นโดยใช้ซีรีส์ JIB สามารถถ่ายโอนระหว่างระบบ JEOL อื่นๆ ได้อย่างมีประสิทธิภาพ เพื่อให้ได้การวิเคราะห์ที่ละเอียดยิ่งขึ้นพร้อมปริมาณงานที่ยอดเยี่ยม ตัวอย่างเช่น หากใช้ตัวยึดกระสวยระหว่าง JEM ซีรีส์ (เช่น JEM-ARM200F) หัวจับ TEM กับแท่น JIB-4501 (รูปที่ 1) ก็ไม่มีความจำเป็นในการจัดการตัวอย่าง TEM ที่ติดตั้งเข้ากับตาข่ายให้ยุ่งยาก กริดช่วยให้สามารถรับส่งข้อมูลได้ดีขึ้น

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

IBF

ขั้นตอนตัวอย่าง

ไฟล์แนบเสริม

ระบบหัวฉีดแก๊ส 2 (IB-02100GIS2)
คาร์ทริดสะสมคาร์บอน (IB-52110CDC2)
ตลับทังสเตนสะสม (IB-52120WDC2)
คาร์ทริดจ์การสะสมทองคำขาว (IB-52130WDC2)
สเตจ Goniometer ทางเข้าด้านข้าง (IB-01040SEG)
หัววัดกระแสไฟฟ้า (IB-04010PCD)
แผงการทำงาน (IB-05010OP)
ระบบนำทางบนเวที (IB-01200SNS)
FIB หัวจับ (EM-02210)
ตัวยึดตัวอย่างปริมาณมาก FIB (EM-02220)
ตัวยึดตัวอย่างจำนวนมาก FIB 1 (EM-02560FBSH1)
ตัวยึดตัวอย่างจำนวนมาก FIB 2 (EM-02570FBSH2)
อแดปเตอร์ตัวยึดชิ้นงานทดสอบ FE-SEM (EM-02580FSHA)
ตัวยึดกระสวย (EM-02280)
ระบบดูดบรรยากาศ (EM-02230)

การใช้งาน

แอพพลิเคชั่น JIB-4501

LIBnote

ข้อมูลเพิ่มเติม