JIB-4000PLUS
ลำแสงไอออนแบบโฟกัส
ระบบมิลลิ่งและการถ่ายภาพ

JIB-4000PLUS เป็นระบบการกัดและการสร้างภาพด้วยลำแสงไอออนแบบโฟกัส (ระบบ FIB ลำแสงเดียว) ที่มีคอลัมน์ออปติคัลไอออนประสิทธิภาพสูง ลำแสงไอออน Ga (แกลเลียม) แบบเร่งจะถูกโฟกัสไปที่ชิ้นงานทดสอบเพื่อให้สามารถสังเกตภาพ SIM ของพื้นผิวชิ้นงานทดสอบ การกัด และการสะสมของวัสดุ เช่น คาร์บอนหรือทังสเตน ระบบยังช่วยให้สามารถเตรียมชิ้นงานทดสอบฟิล์มบางสำหรับการถ่ายภาพ TEM และชิ้นงานตัดขวางสำหรับการสังเกตภายในของชิ้นงานทดสอบ
นอกจากนี้ JIB-4000PLUS ยังสามารถติดตั้งฟังก์ชันการสังเกตการณ์ 3 มิติและฟังก์ชันการเตรียมตัวอย่าง TEM อัตโนมัติ ดังนั้นระบบจึงตอบสนองความต้องการที่หลากหลายสำหรับการเตรียมตัวอย่าง

คุณสมบัติ

คอลัมน์ FIB กำลังสูง

JIB-4000PLUS ประกอบด้วยคอลัมน์ FIB กำลังสูงที่มีกระแสลำแสงไอออนสูงสุด 60 nA นอกจากนี้ ระบบยังสามารถเพิ่มกระแสลำแสงได้สูงถึง 90 nA (ทางเลือก) เพื่อลดระยะเวลาในการเตรียมชิ้นงานทดสอบและขยายพื้นที่การเตรียมชิ้นงานทดสอบ JIB-4000PLUS ช่วยให้เตรียมหน้าตัดที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางเกิน 100 μm ได้ในระยะเวลาสั้นๆ

รูปที่ 1 การเตรียมและการสังเกตตัวอย่างหน้าตัดของรอยประสาน (เส้นผ่านศูนย์กลาง 100 ไมโครเมตร)

FIB . ที่ใช้งานง่าย

JIB-4000PLUS ให้การทำงานที่ยอดเยี่ยมของคอลัมน์ FIB กำลังสูง แนวคิดการออกแบบระบบนั้นเป็นมิตรกับผู้ใช้ ด้วยรูปลักษณ์ภายนอกและ GUI ที่ออกแบบมาเพื่อการใช้งานที่เรียบง่ายของระบบแม้สำหรับผู้ใช้มือใหม่ ความกะทัดรัดของระบบ ซึ่งเป็นระดับที่เล็กที่สุดในอุตสาหกรรม ทำให้เกิดพื้นที่ขนาดเล็กสำหรับตัวเลือกที่หลากหลายสำหรับไซต์การติดตั้ง

เวทีคู่

โครงแบบมาตรฐานของ JIB-4000PLUS รวมถึงสเตจมอเตอร์ของชิ้นงานทดสอบจำนวนมาก นอกจากนี้ยังสามารถเพิ่มสเตจโกนิโอมิเตอร์แบบเข้าด้านข้าง ซึ่งช่วยให้สอดตัวจับยึดแบบชิพบน TEM ได้โดยตรง ระยะโกนิโอมิเตอร์ด้านข้างเป็นขั้นตอนเดียวกับที่ใช้สำหรับ JEOL TEM ซึ่งอำนวยความสะดวกในการสลับระหว่างการกัด FIB และการสังเกต TEM

ฟังก์ชั่นการสังเกต 3 มิติ

JIB-4000PLUS มาพร้อมกับฟังก์ชันการสร้างภาพตัดขวางแบบอนุกรมสำหรับการสังเกตการณ์ 3 มิติ
แม้ว่า JIB-4000PLUS จะเป็นระบบ FIB แบบลำแสงเดียว แต่การสังเกตการณ์ 3 มิติสามารถทำได้โดยใช้ภาพซิม ซอฟต์แวร์เสริมการสร้าง 3D ช่วยให้สามารถสร้างภาพ 3D ของภาพตัดขวางหลายภาพที่ได้รับ เพื่อให้สามารถแสดงภาพ 3D ในมุมต่างๆ ได้

รูปที่ 2 ภาพการสร้างใหม่ 3 มิติของเซนเซอร์ภาพ CCD

ฟังก์ชันการเตรียมตัวอย่าง TEM อัตโนมัติ

JIB-4000PLUS สามารถใช้ "STEMPLING" ซึ่งเป็นฟังก์ชันการเตรียมตัวอย่าง TEM อัตโนมัติ (อุปกรณ์เสริม)
ด้วยฟังก์ชันนี้ จึงไม่จำเป็นต้องมีผู้เชี่ยวชาญระดับสูงในการเตรียมสิ่งส่งตรวจ ทำให้ทุกคนสามารถเตรียมตัวอย่างได้อย่างง่ายดาย เนื่องจากฟังก์ชันนี้ยังช่วยให้สามารถเตรียมตัวอย่างหลายชิ้นได้โดยอัตโนมัติ การทำงานแบบไม่ต้องดูแลข้ามคืนจึงสามารถเตรียมตัวอย่างจำนวนมากได้

รูปที่ 3 ตัวอย่างการใช้งานฟังก์ชันการเตรียมตัวอย่าง TEM อัตโนมัติ (STEMPLING) ตัวอย่าง: Si wafer

ความมั่งคั่งของสิ่งที่แนบมา

JIB-4000PLUS รองรับเอกสารแนบที่หลากหลายเพื่อรองรับการทำงานของระบบ ซึ่งรวมถึงระบบนำทาง CAD ที่มีประโยชน์สำหรับการปรับเปลี่ยนวงจร และระบบสแกนเวกเตอร์ที่มีประสิทธิภาพในการกัดชิ้นงานทดสอบที่มีรูปร่างเฉพาะตัว โดยการเพิ่มสิ่งที่แนบมาที่เหมาะสมกับ JIB-4000PLUS ระบบสามารถรองรับการใช้งานนอกเหนือจากการเตรียมตัวอย่าง

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

IBF

ขั้นตอนตัวอย่าง

ดาวน์โหลดแคตตาล็อก

JIB-4000PLUS Focused Ion Beam Milling & Imaging System

การใช้งาน

แอปพลิเคชัน JIB-4000PLUS

ไครโอโน้ต

หมายเหตุแบตเตอรี่

LIBnote

รูปภาพ

• 
• 
• 

MOVIE

• คลิกปุ่ม "เล่นซ้ำ" ในช่องด้านบน และภาพยนตร์จะเริ่มขึ้น (เป็นเวลา 6 วินาที)

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

IB-07080ATLPS, IB-77080ATLPS ระบบการเตรียมตัวอย่าง TEM อัตโนมัติ STEMPLING

ระบบเตรียมตัวอย่าง TEM อัตโนมัติ STEMPLING เป็นซอฟต์แวร์สำหรับการเตรียมตัวอย่าง TEM อัตโนมัติโดยใช้ FIB ระบบนี้ได้รับการพัฒนาเพื่อตอบสนองความต้องการในการเตรียมชิ้นงานทดสอบโดยใช้ FIB เช่น การใช้งานง่ายที่ทุกคนสามารถทำได้ และเทคโนโลยีที่ช่วยให้สามารถสร้างชิ้นงานทดสอบจำนวนมากได้ เนื่องจาก STEMPLING จึงไม่จำเป็นต้องมีผู้เชี่ยวชาญระดับสูงในการเตรียมสิ่งส่งตรวจ ทำให้ทุกคนสามารถเตรียมสิ่งส่งตรวจได้อย่างง่ายดาย นอกจากนี้ เนื่องจากระบบอนุญาตให้เตรียมตัวอย่างหลายชิ้นโดยไม่ต้องดูแล ประสิทธิภาพการทำงานจึงสามารถเพิ่มประสิทธิภาพได้ผ่านการทำงานข้ามคืนเพื่อสร้างตัวอย่างจำนวนมาก
STEMPLING สามารถใช้กับ Multi Beam System JIB-4700F และระบบ Focused Ion Beam Milling & Imaging JIB-4000PLUS

ข้อมูลเพิ่มเติม